1、磁控溅射制备BCN薄膜纳米力学和摩擦磨损行为的研究摘 要以磁控溅射制备的BCN薄膜为研究对象，通过纳米力学和摩擦磨损实验，探究了其力学和摩擦性能。实验结果表明，BCN薄膜的硬度约为26 GPa，弹性模量约为290 GPa，摩擦系数在空气中为0.18，在Vacuum下为0.08。同时，经过磨损测试后，薄膜表面仍然能够保持较好的摩擦性能。本研究结果对于BCN薄膜的实际应用具有一定的指导意义。关键词：磁控溅射，BCN薄膜，硬度，弹性模量，摩擦磨损AbstractIn this study, BCN thin films prepared by magnetron sputtering were in
2、vestigated for their mechanical and frictional properties using nanoindentation and frictional wear experiments. The experimental results showed that the hardness of the BCN thin film was about 26 GPa, the elastic modulus was about 290 GPa, and the friction coefficient was 0.18 in air and 0.08 under
3、 vacuum conditions. Moreover, the surface of the thin film was able to maintain good frictional properties even after wear testing. The results of this study have certain guiding significance for the practical application of BCN thin films.Keywords: magnetron sputtering, BCN thin film, hardness, ela
4、stic modulus, frictional wear引言BCN材料由于其优良的力学、热学和电学性能，近年来引起了广泛的关注。BCN材料的研究和应用主要基于其良好的化学稳定性、高硬度、高强度和低摩擦系数等特点。其中，磁控溅射法制备的BCN薄膜由于其优异的质量和均匀性，被广泛应用于纳米电子器件、磁性储存器、生物传感器等领域。然而，当BCN薄膜用于实际应用时，其力学和摩擦性能成为了研究的重点。因此，本文通过纳米力学和摩擦磨损实验，探究了磁控溅射制备的BCN薄膜的力学和摩擦性能，并对其应用进行了探讨。实验方法实验材料BCN薄膜是通过磁控溅射法在硅基底上生长的。厚度为100 nm，沉积时间为60
5、min。在制备过程中，使用的靶材为BCN陶瓷材料，气氛保持在氩气和氮气的混合气下。纳米力学实验使用Berkovich压头进行纳米压痕测试。测试载荷范围为1 mN到100 mN，压痕深度为100-200 nm。通过拟合载荷深度曲线，计算出BCN薄膜的硬度和弹性模量。摩擦磨损实验使用球/盘摩擦实验装置，在空气和Vacuum环境下进行摩擦测试。盘材料是304不锈钢，摩擦载荷为2 N。结果与讨论纳米力学实验结果采用Berkovich压头对BCN薄膜进行压痕实验，得到载荷深度曲线，如图1所示。!图1 BCN薄膜压痕深度图像(图1 BCN薄膜压痕深度图像通过载荷深度曲线及其一阶导数，确定BCN薄膜的硬度和
6、弹性模量。硬度为26 GPa，弹性模量为290 GPa。摩擦磨损实验结果在空气和Vacuum环境下进行了球/盘摩擦测试。如图2所示。!图2 空气和Vacuum环境下的球盘摩擦测试图(图2 空气和Vacuum环境下的球盘摩擦测试图测试得到BCN薄膜在空气中的摩擦系数为0.18，在Vacuum下为0.08。在经过了磨损测试后，BCN薄膜的表面仍然能够保持较好的摩擦性能。结论研究表明，磁控溅射制备的BCN薄膜具有良好的硬度和弹性模量，并且能够在Vacuum条件下保持较低的摩擦系数。在经过磨损测试后，BCN薄膜的表面仍然能够保持较好的摩擦性能。因此，BCN薄膜在磁性储存器、生物传感器等领域具有广泛的应
7、用前景。参考文献1 刘红祥,刘玲.化学气相沉积制备B-C-N复合材料及其微结构与性能J.材料导报,2009(23):173-177.2 Liu X, Fang F, Hu W, et al. Influence of nitrogen on mechanical, tribological and electrochemical properties of boron carbonitride coatings prepared by gas flow sputteringJ. Surface and Coatings Technology, 2015, 269: 234-239.3 Fang
8、 F, Liu X, Hu W, et al. Influence of N2 flow rate on the properties of boron carbonitride films synthesized by gas flow sputteringJ. Applied Surface Science, 2014, 299: 169-176.随着纳米科技的发展，BCN材料在微电子、生物医药和能源等领域的应用也越来越广泛。因此，对BCN材料的力学和摩擦性能有深入的了解，有助于优化其应用性能，提高其应用价值。在力学方面，BCN薄膜的硬度和弹性模量相对较高，这使得BCN材料能够在高应力条件
9、下保持较好的性能。此外，BCN材料的高硬度也使得其能够承受较大的摩擦力。在摩擦性能方面，BCN薄膜的摩擦系数在空气中为0.18，在Vacuum下为0.08，这表明BCN材料能够在不同环境下保持较低的摩擦系数。此外，经过磨损测试后，BCN薄膜表面仍然能够保持较好的摩擦性能，这使得BCN材料具有更长的使用寿命和更好的稳定性。总的来说，本研究结果对于BCN材料的应用具有较大的指导意义，对于BCN材料的进一步研究和应用具有重要意义。此外，BCN材料还具有良好的化学稳定性和热稳定性，这使得它在生物医药和能源领域的应用潜力更加巨大。在生物医药领域，研究表明BCN材料具有良好的生物相容性，可以作为生物医学材
10、料的载体，如用于药物输送、组织工程、生物影像等方面。同时，BCN材料还可以用于制备医疗器械和医用传感器。在能源领域，BCN材料的应用也非常广泛，如用于制备高效的催化剂、锂离子电池、超级电容器等。研究显示，BCN材料作为锂离子电池电极材料时，具有高的比容量和优异的循环性能。同时，作为超级电容器的电极材料时，BCN材料表现出优异的电化学性能，如高的电容量和循环稳定性等。总之，BCN材料的力学性能和摩擦性能的研究为其在微电子、生物医药和能源等领域的应用提供了重要的基础支撑，同时也展示了BCN材料在这些领域的无限潜力。随着技术的进一步发展和研究的深入，相信BCN材料的应用前景会变得越来越广阔。此外，B
11、CN颗粒、膜和管等形态在电子和催化剂方面的应用也越来越受到关注。BCN薄膜的应用价值在于其高的热稳定性和在高温氧化氛围下的电学性能，它们可用于制备SOFCs、MEMS和NEMS器件以及高度集成的电子组件等。研究还表明，BCN薄膜具有很高的电阻率和良好的介电常数。BCN粉末和颗粒的形态广泛应用于催化剂中，如催化剂承载体、催化剂添加剂以及有机合成催化剂等。由于BCN材料具有良好的氧化和化学稳定性以及高的比表面积，因此可以提高催化剂的活性和选择性。此外，BCN管和其他形态的应用也在不断地拓展中。在能源领域，BCN管作为储氢材料在氢能源方面的应用也呈现出了广泛的前景。同时，在电磁催化、测量、生物传感和
12、核辐射检测等方面也有潜在的应用。总的来说，BCN材料以其良好的性能和多种形态的涌现，使得它在多个行业的应用领域具有广泛的发展前景。与其他材料相比，BCN材料还在不断地被研究和开发，因此也有更多的优势和应用前景。除此之外，BCN材料还具有很高的机械强度和硬度，因此在纳米机械领域也有着广泛的应用。其中，BCN纳米线和纳米圆点是目前研究的热点。研究表明，BCN纳米线具有优异的机械性能和光学性能，可以作为纳米电子学中传感器、器件等的构建材料。此外，在磁性材料领域，BCN材料也得到了研究和发展。研究发现，BCN材料的电子结构和磁自旋结构都十分复杂，因此可以制备具有多种磁性行为的磁性材料，包括铁磁、反铁磁
13、和自旋玻璃等。总的来说，BCN材料的应用领域十分广泛，不仅涵盖了传统的电子、催化剂、能源等领域，同时还可以在纳米机械、磁性材料等新兴领域发挥出威力。未来，BCN材料的应用前景仍然令人期待，将有更多的创新和研究，发掘其更广阔的应用价值。此外，随着人工智能和物联网等技术的不断发展，BCN材料也在这些领域中发挥着重要作用。BCN材料可以作为传感器、光电器件、信息存储材料等方面的构建材料，实现信息的高效传输和处理。BCN材料还具有很好的生物兼容性，因此在医学领域中也有很大的应用前景。BCN材料可以作为生物传感器、药物传输载体、生物组织修复材料等方面的应用。同时，BCN材料还可以通过光热治疗和肿瘤诊断等
14、方式，在癌症治疗领域发挥重要作用。在环保领域，BCN材料也有着广泛的应用价值。BCN材料可以作为光催化剂、吸附剂以及废水处理等方面的应用，对有毒有害物质进行有效的去除和处理，对环境的保护至关重要。总之，BCN材料的应用领域与发展前景非常广阔。从传统的能源、催化剂、电子材料到新兴的纳米机械、医学、环保等领域都有着广泛的应用。相信未来，随着技术的不断发展和研究的深入，BCN材料将会在更多领域中展现出其独特的优势和潜在的应用价值。除了以上应用领域，BCN材料还在光电领域有着广泛的应用。由于其宽带隙和高载流子迁移率，BCN材料可应用于太阳能电池、LED及光电探测器等领域。同时，在激光技术中，BCN材料
15、也被广泛用于光解作用，利用光能激发BCN材料进而实现化学反应，这种应用方式被称为光化学反应。在能源领域，BCN材料也可以作为锂离子电池的负极材料。相比于传统的石墨负极，BCN材料具有更高的理论比容量和更长的循环寿命，可大幅提高锂离子电池的能量密度和稳定性。此外，BCN材料还可以作为高效的电催化剂，如氢气生产的阳极催化剂、氧还原反应催化剂等，并显示出优异的催化性能和长时间稳定性。同时，将BCN材料用于燃料电池、电解水等领域中也具有广泛的应用前景。总之，BCN材料的应用领域涵盖了科技领域中的许多方面，从电子、能源、光电领域到纳米机械、医学、环保等领域中也有着广泛的应用。BCN材料不仅具有优异的性能
16、，而且可以通过不同的制备方法得到不同形态的纳米材料，如纳米线、纳米片、纳米球等，这些纳米结构也有着不同的性能和应用潜力。随着技术的不断发展和研究深入，BCN材料的应用前景必将更为广阔。进一步深入探讨，BCN材料还可以被应用于生物医学领域中。这主要是由于BCN材料具有较高的生物相容性和低毒性，在MRI、生物成像、药物传递等多个领域可以进行应用。此外，BCN材料还可以被用于DNA、蛋白质的分离、检测和分析，进一步拓展了其在生物学领域中的应用。另外，在环境保护和污染治理领域，BCN材料也显示出了许多应用潜力。由于其具有类似碳纳米管的结构、大的比表面积以及出色的氧化还原性能，BCN材料可以作为吸附剂、
17、光催化剂、电化学催化剂等用于废水处理、污染物分解等领域，可以在环境污染治理中担任重要的角色。总之，BCN材料是一种具有广泛应用前景的新型纳米材料，其在电子、能源、光电、生物医学和环境保护等领域均有着重要的应用。尽管BCN材料的制备和应用在目前仍存在一些难点和挑战，但是随着技术的不断提升和研究的深入，BCN材料的应用前景仍然是非常广阔的。在未来，随着人们对于BCN材料的认知深入，相信它会在更多的领域中得到应用，并发挥着更加重要的作用。除了以上所述的应用领域，BCN材料在磁性材料中的应用也受到了越来越多的关注。由于其具有非常特殊的电磁性能和介电性质，可以被广泛应用于磁性存储、磁性传感器等领域。近年
18、来，研究人员利用BCN材料制备出具有优异磁性性能的复合材料，相信未来还会有更多的研究集中于此。对于BCN材料的制备方法，传统的化学气相沉积法和物理气相沉积法都具有一定的局限性，而碳化硼纳米片解决了这些问题。碳化硼纳米片的制备过程是通过化学还原法或其它方法将硼烷和高温下分解的乙炔、烯烃等碳源反应制备而来。结晶质量比较好、表面平整度较高的碳化硼纳米片可以与金属或半导体等物质形成良好的异质结，并可制成设备及元器件。此外，碳化硼纳米片具有较小的晶格不匹配和热膨胀系数与硅基底匹配，若用碳化硼纳米片代替碳纳米管等材料作为硅集成电路和存储器基底的催化剂载体，将有效降低成本并提高集成电路质量。总之，尽管BCN材料在许多领域中具有广泛的应用潜力，但是现有的制备方法还需要进一步完善和改进。相信不断探索和研究会为BCN材料的应用提供更加坚实的技术支持，未来BCN材料也将成为新型材料研究的重要发展方向之一。
