1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：半导体用碳化硅蚀刻环项目（二期）建设单位（盖章）：湖南德智新材料有限公司编制日期：2024 年 5 月中华人民共和国生态环境部制目 录一、建设项目基本情况.1二、建设项目工程分析.10三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.37四、主要环境影响和保护措施.44五、环境保护措施监督检查清单.92六、结论.94建设项目污染物排放量汇总表.95附图：附图 1：项目地理位置图附图 2：总平面布置图附图 2.1：6#厂房 1 层布局图附图 2.2：6#厂房 2 层布局图附图 2.3：6#厂房 3 层布局图附图 2.4：2#厂房布局图附图 3：分区防渗图
2、附图 4：环境空气目标保护图附图 5：环境监测点位示意图附件：附件 1：营业执照附件 2：用地证明附件 3：原辅材料 MSDS 文件附件 4：现有工程环评批复附件 5：排污许可登记回执附件 6：现有工程竣工验收意见及备案附件 7：现状监测报告 1 一、建设项目基本情况建设项目名称半导体用碳化硅蚀刻环项目（二期）项目代码无建设单位联系人杨科联系方式18673389319建设地点株洲高新区新马工业园丰产四路以东、新丰路以南、丰产三路以西、金丰路以北地块地理坐标（113 度 0 分 53.381 秒，27 度 48 分 15.570 秒）国民经济行业类别C3985 电子专用材料制造C3089 耐火陶
3、瓷制品及其他耐火材料制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业-81.电子元件及电子专用材料制造 398二十七、非金属矿物制品业 30.耐火材料制品制造 308建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）无项目审批（核准/备案）文号（选填）无总投资（万元）6000环保投资（万元）460环保投资占比（%）7.7施工工期5 个月是否开工建设否是：用地面积（m2）12587（二期）专项评价设置情况专项评价的类型设置原则本项目情况是否设置专项大气排放废气含有毒有害污染物1
4、、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外 500 米范围内有环境空气保护目标的建设项目项目厂界外 500 米范围内存在大气保护目标，但不涉及有毒有害污染物1、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气等的排放否地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理项目废水通过市政污水管网纳入河西污水处理厂处理，属于间接排放否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目本项目涉及环境风险物质有氢气、切削液、氢氟酸、硝酸、氯化氢气体、一甲基三氯硅烷等。其中氢气、切削液、氢氟酸、硝酸、氯化氢气体最大储量均未超过临界量，一甲基三否 2 氯硅烷依托现有工程配套设施
5、已建2个30立方卧式液体储罐储存，最大暂存量为 32.64t，现有工程一甲基三氯硅烷实际使用量为 40 吨，本次新增用量55.12 吨。本次项目不新增一甲基三氯硅烷最大暂存量，仅增加一甲基三氯硅烷的转运频次，现有工程储存能力能满足要求。同时新建甲基三氯硅烷仓库建设项目环境影响报告表已针对一甲基三氯硅做了环境风险专项评价，本次扩建仅依托其储罐储存，不增加最大暂存量。因此本次评价不设置环境风险专项评价生态取水口下游 500 米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和 洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目不涉及否海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目不涉及否注：1.废气中有毒有害污染物
6、指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准 的污染物）；2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中 的区域。3.临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169）附录 B、附录 C综上，本项目无需设置专项评价。规划情况相关规划名称：关于发布高新技术产业开发区边界面积及四至范围的通知（2022 年）审批机关：湖南省发展和改革委员会办公室、湖南省自然资源厅审批文号：湘发改园区2022601 号规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：新马创新工业片区环境影响报告书审批机关：株洲市环境保护局高新技术开发区分局审批文号：株高环函2
7、0181 号规划及规划环境影响评价符合性分析1.1 规划符合性规划符合性分析分析根据湖南省发展和改革委员会、湖南省自然资源厅关于发布高新技术产业开发区边界面积及四至范围的通知（湘发改园区2022601 号），本项目位于株洲高新技术产业开发区区块十四范围内，项目位于新马创新工业片区内，产业定位为以汽车及新能源汽车、先进装备制造、新材料为主导产业，辅助发展物流及仓储配套、生产型服务。3 本项目主要生产半导体用碳化硅产品、半导体用碳化硅制品、碳化钽涂层制品等属于新材料产业，符合园区的产业定位。1.2 规划环境影响评价符合性规划环境影响评价符合性分析分析根据 株洲市环境保护局高新技术开发区分局关于新马
8、创新工业片区环境影响报告书审查意见的函（株高环函20181 号）：严格执行建设项目准入制度，入驻企业必须符合片区总体规划发展、主导产业定位要求，不得引进国家禁止发展和淘汰的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策、不符合准入条件的建设项目；禁止引入有重金属废水排放的项目、持久性有机污染物和三类工业项目。必须按照环评报告书的准入条件做好项目的招商把关，在项目前期和建设期，应严格执行环境影响评价和三同时管理制度，推行清洁生产，确保污染物排放浓度、排放速率、排放总量满足达标排放和总量控制要求。本项目主要生产半导体用碳化硅产品，为新材料产业，符合新马创新工业片区产业发展定位，同时不属于国家禁止发展和淘
9、汰的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策、不符合准入条件的建设项目；无重金属废水、持久性有机污染物排放，因此，本项目的建设符合规划环评审查意见要求。其他符合性分析1.1 产业政策产业政策符合性符合性分析分析本项目行业类别为 C3985 电子专用材料制造，C3089 耐火陶瓷制品及其他耐火材料制造，属于产业结构调整指导目录（2024 年本）鼓励类中“二十八、信息产业-6 电子元器件生产专用材料、半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电原件等）电子产品用材料，包括半导体材料、电子陶瓷材料等”，符合相关产业政策。因此项目建设符合国家产业政策要求。
10、1.2 与与“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析1.2.1 生态保护红线生态保护红线项目位于株洲市天元区新马创新工业片区，环境管控单元编号为ZH43021120001，土地类型为工业用地，项目选址属于重点管控单元，区域主体功能定位为国家层面重点开发区，不在生态保护红线范围内。1.2.2 环境质量底线环境质量底线项目所在区域天元区 2022 年 PM10、NO2、SO2、CO 年平均值均可满足 环 4 境空气质量标准（GB3095-2012）中二级标准，PM2.5、O3超出环境空气质量标准（GB3095-2012）中二级标准，区域城市现状环境空气质量不达标。株洲市于 2020 年 7 月 1
11、5 日发布了株洲市环境空气质量限期达标规划，规划以 2017 年为规划基准年，2025 年为中期规划目标年，2027 年为中远期规划目标年。结合株洲市大气环境特征和空气质量改善需求，从调整产业、能源结构，深化重点污染源减排及加强面源、扬尘污染治理的角度出发，对“十四五”、“十五五”开展分阶段管控，实施大气污染物控制战略。到 2025 年，中心城区PM2.5年均浓度不高于 37 微克/立方米，全市 PM10年均浓度持续改善，SO2、NO2和 CO 年均浓度稳定达标，臭氧污染恶化的趋势初步减缓，到 2027 年，中心城区及其余区县六项空气质量指标均达到国家二级标准。项目所在区域地表水能满足地表水环
12、境质量标准（GB3838-2002）中相应标准要求。声环境质量均能达到声环境质量标准（GB3096-2008）3类标准要求；本项目建成后不改变周边环境功能，不会突破环境质量底线。1.2.3 资源利用上线资源利用上线项目运营过程中消耗一定量的水、电等能源，其中供水主要由市政供水，供电由当地市政电网统一供给。项目资源利用率较高，不触及资源利用上线，项目符合资源利用限值要求。1.2.4 环境准入负面清单环境准入负面清单本项目不在市场准入负面清单（2020 年版）内；根据株洲市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见（株政发20204 号），本项目不与区域发展规划、产业政策相违背，不属于高污
13、染、高能耗产业类型；为环境准入允许类别。5 其他符合性分析1.3 与株洲市人民政府关于实施与株洲市人民政府关于实施“三线一单三线一单”生态环境分区管控的意见（株政发生态环境分区管控的意见（株政发20204 号）的符合性分析号）的符合性分析表 1-1 与株洲市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见（株政发20204 号）符合性分析环境管控单元编码单元分类单元面积涉及乡镇（街道）主体功能定位经济产业布局ZH43021120001重点管控单元93.27km2栗雨街道/马家河街道/群丰镇/嵩山路街道/泰山路街道国家层面重点开发区汽车及零部件、电子信息、生物医药、新能源装备、新材料新马创新工
14、业片区：汽车及新能源汽车、先进装备制造、新材料；天易科技城自主创业园：电子信息产业制造、智能制造和先进装备制造、新能源新材料制造主要属性生态空间：生态红线/一般空间（饮用水水源保护区/长株潭绿心水产种质资源保护区）；水：水环境城镇生活污染重点管控区/水环境优先保护区/水环境工业污染重点管控区/其他区域，城镇生活污水处理厂/国家级水产种质资源保护区/省级以上工业园/县级以上饮用水水源保护区（河西污水处理厂/湘江湘潭段野鲤国家级水产种质资源保护区/株洲高新技术产业开发区/株洲市湘江饮用水水源保护区）；大气：大气环境布局敏感重点管控区/大气环境受体敏感重点管控区/其他区域/大气环境高排放重点管控区（
15、株洲高新技术产业开发区河西示范园/株洲国家高新技术产业开发区河西示范园/北金德株洲工业园）；土壤：农用地优先保护区/土壤污染风险一般管控区/其他土壤重点管控区（市县级采矿权）；污染企业管控维度及管控要求管控维度及管控要求本项目情况本项目情况符合性分符合性分析析空间布局约束（1.1）湘江饮用水水源保护区范围内土地的开发利用必须满足饮用水水源保护区相关要求。（1.2）天易科技城自主创业园、新马创新工业片区：限制新建高能耗项目，禁止新建外排重金属废水、持久性有机污染物和三类工业项目。（1.3）株洲市湘江饮用水水源保护区、城市建成区为畜禽养殖禁养区。禁养区内禁止从事畜禽养殖活动，存在该类养殖场所的，应
16、当依法关停或者搬迁。（1.4）严把饮食业经营门店准入关，新建饮食服务业项目选址、油烟排放口放置和净化设施配备应符合饮食业环境保护技术规范(HJ554-2010)。禁止在居民住宅楼、未配备设立专用烟道的商住综合楼以及商住综合楼内与居住层相邻的商业楼层内新建、改建、扩建产生油烟、异味、废气的餐饮服务项目。本项目不属于湘江饮用水水源保护区内的土地，不涉及重金属、不属于三类工业项目符合要求污染物排放管控（2.1）天易科技城自主创业园、新马创新工业片区：（2.1.1）废水：天易科技城自主创业园：入园企业废水经预处理达标后排入群丰污水处理厂，尾水通过七零高排渠汇入湘江。新马创新工业片区：入园企业废水经预处
17、理达标后，排入河西污水处理厂，尾水汇入湘江。（2.1.2）废气：严格控制工艺废气排放，入园企业必须完善配套工艺废气处理装置并正常使用，确保达标排放。1、生活污水依托现有隔油、化粪池处理、酸洗后清洗废水经“酸碱中和+絮凝沉淀”处理、其余清洗废水经过滤处理、喷淋水自动调节 pH 值后排放，上述废水经同一排放口排放至市政污水管网进入河西污水处理厂进一步处理。2、6#厂房：纯化工序产生的废气：经 1 套“喷淋符合要求 6（2.1.3）加强园区固废污染防治。推行清洁生产，减少固体废物的产生量，提高固体废物综合利用率；规范固体废物处理措施，特别是危险固废应按国家有关规定处置，严防二次污染。（2.2）建成区
18、内所有饮食业单位必须安装（改装）与其规模相匹配的国家认证的油烟净化设施，确保达标排放，同时要保证油烟净化设施正常运行。禁止向城市雨水和污水管道排放油烟。（2.3）天元区群丰镇生活污水处理设施：加快污水处理设施管网建设，实现污水稳定达标排放。塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”废气处理设施处理后由 25m 排气筒 DA005 排放；气相沉积废气：经 3 套喷“淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”处理工艺的废气处理设施处理后分别由 3 根 25m 排气筒DA006、DA007、DA008 排放；酸洗废气：酸洗废气经槽边集气罩收集后经“淋塔/文丘里/
19、水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”废气处理设施处理后由 25m 排气筒 DA008 排放2#厂房：排胶、烧结废气：经活性炭吸附处理设施处理后经 15m 排气筒 DA009 排放；喷砂废气：经布袋除尘器收集处理后由 15m 排气筒 DA010 排放试验件化学气相沉积废气：经 1 套喷“淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”废气处理设施处理后由 1 根 25m 排气筒DA011 排放；喷雾造粒废气：酒精、丁酮挥发废气经冷凝回收检验检测废气：产品抗腐蚀性能测试过程中产生的氯化氢废气经 1 套碱液喷淋塔废气处理设施处理后经 25m 排气筒 DA012 排放。1#厂
20、房：碳化钽涂层废气依托现有工程 1 号厂房内废气处理设施（企业内部编号：2#）进行处理，废气处理工艺为“喷淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机（1 用 1 备）+水封罐”，经处理后的废气经现有工程 25m 排气筒 DA002排放。碳化钽涂层制品石墨纯化废气依托现有工程纯化工序废气处理设施（碱液箱（两级）+喷淋塔）处理后由 25m 排气筒 DA004 排放。切割粉尘；依托现有设备自带布袋除尘器处理后 7 无组织排放。项目各类废气均配套工艺废气处理设施，均实现达标排放3、固废分类收集、妥善处理环境风险防控（3.1）天易科技城自主创业园、新马创新工业片区：制定园区突发环境事件应急预案
21、，落实环境风险防范措施。（3.2）开展污染地块土壤环境状况调查评估，符合相应规划用地质量要求的地块，进入用地程序，不符合利用要求的，进行管控。园区已制定突发环境事件应急预案，落实环境风险防范措施。符合要求资源开发效率要求燃料禁燃区，禁止使用高污染燃料。（4.2）水资源：天元区 2020 年万元国内生产总值用水量比 2015 年下降 30%、目标值 29 立方米/万元；农田灌溉水有效利用系数：0.549；万元工业增加值用水量比 2015 年下降 20%。（4.3）土地资源：栗雨街道：2020 年，耕地保有量达到 10.00 公顷，基本农田保护面积稳定在 1.2公顷；建设用地总规模控制在 2609
22、.12 公顷以内，城乡建设用地控制在 2422.72公顷以内，城镇工矿用地规模控制在 2396.37 公顷以内。马家河街道：2020 年，耕地保有量达到 120.00 公顷，基本农田保护面积稳定在29.15 公顷；建设用地总规模控制在 1931.13 公顷以内，城乡建设用地控制在1783.48 公顷以内，城镇工矿用地规模控制在 1669.78 公顷以内。群丰镇：2020 年，耕地保有量达到 1170.00 公顷，基本农田保护面积稳定在 209.13公顷；建设用地总规模控制在 1213.37 公顷以内，城乡建设用地控制在 1018.09公顷以内，城镇工矿用地规模控制在 796.34 公顷以内。嵩
23、山路街道：2020 年，建设用地总规模控制在 1311.04 公顷以内，城乡建设用地控制在 1240.64 公顷以内，城镇工矿用地规模控制在 1240.41 公顷以内。泰山路街道：2020 年，建设用地总规模控制在 1132.61 公顷以内，城乡建设用地控制在 1240.64 公顷以内，城镇工矿用地规模控制在 1240.41 公顷以内。本项目仅使用电能，不使用其他高污染燃料。符合要求 8 其他符合性分析综上，本项目建设和株洲市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见（株政发20204 号）相符。1.4 与湖南省大气污染防治条例符合性分析与湖南省大气污染防治条例符合性分析根据湖南省大气
24、污染防治条例第二十七条，在大气污染重点区域城市建成区内禁止新建、扩建钢铁、水泥、有色金属、石油、化工等重污染企业以及新增产能项目。本项目主要生产半导体用碳化硅产品，为新材料产业，非重污染项目，项目符合 湖南省大气污染防治条例的相关规定。1.5 与湖南省湘江保护条例符合性分析与湖南省湘江保护条例符合性分析根据湖南省湘江保护条例三十三条“建立健全湘江流域重点水污染排放总量控制、排污许可、水污染排放监测和水环境质量监测等水环境保护制度”，第三十二条“禁止向水体排放物、倾倒工业废渣、城镇生活垃圾和其他废弃物。禁止将含有汞、镉、砷、铬、铅、氰化物、黄磷等的可溶性剧毒废渣向水体排放、倾倒”第四十九条“禁止
25、在湘江干流岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在湘江干流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库；但是以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。”本项目不涉及可溶性剧毒废渣，废水中不涉及重金属，项目距离湘江干流岸线1.45km，项目属于电子专用材料制造，不属于化工、尾矿库项目，因此，项目建设符合湖南省湘江保护条例的要求。1.6 与湖南省长江经济带发展负面清单实施细则符合性分析与湖南省长江经济带发展负面清单实施细则符合性分析根据湖南省长江经济带发展负面清单实施细则（试行，2022 年版）湖南省推动长江经济带发展领导小组办公室文件；第九条，禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内
26、新建排污口、实施非法围垦河道和围湖造田地等投资建设项目；第十五条，禁止在长江湖南段和洞庭湖、湘江、资江、沅江、澧水干流岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在长江湖南段岸线三公里范围内和湘江、资江、沅江、澧水岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平目的的改建除外。第十六条，禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目严格按照生态环境部环境保护综合名录（2021 年版）有关要求执行。第十七条，禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。未通过认定的化工园区，不得新建、改
27、扩建 9 化工项目（安全、环保、节能和智能化改造项目除外）。第十八条，禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落实产能项目；对不符合要求的落后产能存量项目依法依规退出。禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业（钢铁、水泥、电解铝、平板玻璃、船舶等行业）的项目。对确有必要新建、扩建的，必须严格执行产能置换实施办法，实施减量或等量置换，依法依规办理有关手续。禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。本项目主要生产半导体用碳化硅产品，距离湘江直线距离约 1.65km，不属于禁止、限制类项目，不与湖南省长江经济带发展负面清单实施细则（试行，2022 年版）相违背。1.7 与湖南省与湖
28、南省“两高两高”项目管理目录的符合性分析项目管理目录的符合性分析表 1-2 与湖南省“两高”项目管理目录的符合性分析行业主要内容涉及主要产品及工序本项目情况石化原油加工及石油制品制造（2511）炼油、乙烯不属于该行业化工无机酸制造（2611）、无机碱制造（2612）、无机盐制造（2613）烧碱、纯碱、工业硫酸、黄磷、合成氨、尿素、磷铵、电石、聚氯乙烯、聚丙烯、精对苯二甲酸、对二甲苯、苯乙烯、乙酸乙烯酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、1,4-丁二醇不属于该行业煤化工煤制合成气生产（2522）、煤制液体燃料生产（2523）一氧化碳、氢气、甲烷及其他煤制合成气；甲醇、二甲醚、乙二醇、汽油、柴油和航空燃料及其
29、他煤制液体燃料不属于该行业焦化炼焦（2521）焦炭、石油焦（焦炭类）、沥青焦、其他原料生产焦炭、机焦、型焦、土焦、半焦炭、针状焦、其他工艺生产焦炭、矿物油焦不属于该行业钢铁炼铁（3110）、炼钢（3120）、铁合金（3140）炼钢用高炉生铁、直接还原铁、熔融还原铁、非合金钢粗钢、低合金钢粗钢、合金钢粗钢、铁合金、电解金属锰不属于该行业建材水泥制造（3011）、石灰和石膏制造（3012）、粘土砖瓦及建筑砌块制造（3031）、平板玻璃制造（3041）、建筑陶瓷制品制造（3071）石灰、建筑陶瓷、耐火材料、烧结砖瓦不属于该行业水泥熟料、平板玻璃有色铜冶炼（3211）、铅锌冶炼（3212）、锑冶炼（3
30、215）、铝冶炼（3216）、硅冶炼（3218）铜、铅锌、锑、铝、硅冶炼不属于该行业煤电火力发电（4411）、热电联产（4412）燃煤发电、燃煤热电联产不属于该行业本项目不涉及上述两高项目中主要产品、工序，因此，不属于湖南省“两高”项目管理目录中的项目。10 二、建设项目工程分析建设内容1 项目由来项目由来湖南德智新材料有限公司是一家专业从事碳基、陶瓷及其高端材料的研发、生产和销售的高新技术企业。企业于 2022 年 1 月 21 通过了半导体用碳化硅蚀刻环项目（一期）环境影响报告表的评审（株环天环评表20222 号），于 2023 年 3 月 9 日通过了新建甲基三氯硅烷仓库建设项目环境影响
31、报告表的评审（株环天环评表202325 号，于 2023 年 7 月18 日完成排污许可登记，登记编号为 91430200MA4M2MCM1B001W，同年于 9 月 19日获得突发环境事件应急预案备案，备案编号为 430211-2023-00441，同年于 9 月 23 日通过环保竣工验收并取得建设项目环保竣工验收资料存档备案表。湖南德智新材料有限公司由于自身发展以及市场的需要，拟投资 6000 万元在现有厂址预留地内新增建设半导体用碳化硅蚀刻环项目（二期）。项目扩建完成后，全厂可年产碳化硅产品 60000 片/年、半导体用碳化硅制品 70 吨/年、3000 片碳化钽涂层制品。2 项目概况项
32、目概况2.1 建设内容建设内容本项位于湖南德智新材料有限公司现有区内，全厂规划总用地面积 40065m2，本项目（二期）用地面积 12587m2，新增建筑面积 21291.22m2。建设内容为：在现有工程 2#厂房新增半导体用碳化硅制品生产线，新增年产 70 吨半导体用碳化硅制品；在现有工程西侧空地内新建 1 栋 7 层 5#厂房，1 栋 3 层 6#厂房，1 座氢气储罐棚，同时配套建设给排水、环保工程等，新增年产 30000 片碳化硅产品；依托现有工程 1#号厂房新增生产设备建设碳化钽涂层制品生产线，新增年产 3000 片碳化钽涂层制品。项目扩建完成后，全厂可年产碳化硅产品 60000 片/
33、年、半导体用碳化硅制品 70 吨/年、3000片碳化钽涂层制品。建设内容见下表：表 2-1 本项目建设内容一览表工程内容项目内容备注主体工程5#厂房7F，砖混结构，总建筑面积 9260.61m2。设计为研发车间，包括架空车库、开敞办公+研发、CVD 数据检测、品质检验室、组装车间、原料分析室、涂层应力测试室、光学分析室等新增6#厂房3F，砖混结构，总建筑面积 12020.11m2。主要进行碳化硅产品生产线布局。包括纯水间、纯化间、CVD 生产区、空压机间、待纯化料存放间、CVD 备件库、工装打磨区、办公室、操作间、半成品检测室、清洗室、后处理、中间仓库、前处理清洗室、洁净车间、危废间、化学品仓
34、库、固废品仓库、弱电间、变配电间、空调机房等新增 11 2#厂房依托现有工程已建 2#厂房。2F 层砖混结构，碳化硅制品生产线位于 1F，单层建筑面积为 2800.305m2。包括烧结区、烘干房、辅材仓、注浆阴干区、模具暂存区、喷砂区、模具制作区等依托1#厂房依托现有工程已建 1#厂房。2F 层砖混结构，生产线位于 1F，单层建筑面积为 7939.69m2。依托一期工程已建 1#厂房，已有生产设备，建设碳化钽涂层制品生产线依托储运工程氢气储罐棚建筑面积 10.5m2，氢气使用氢气鱼雷车储存，最大储存量为 0.5t新增甲基三氯硅烷仓库依托现有工程配套设施已建两台 30m3甲基三氯硅烷储罐储存甲基
35、三氯硅烷依托液氮罐依托现有工程已建 30 立方液氮罐储存氮气依托液氩罐依托现有工程已建 20 立方液氩罐储存氮气依托中间仓库位于 6#厂房 2 层，建筑面积 781.48m2，用于暂存产品新增辅材仓位于 2#厂房中部，建筑面积 100m2，用于辅材暂存新增模具暂存区位于 2#厂房中部，建筑面积 50m2，用于模具暂存新增辅助工程办公室5#厂房、6#厂房均设置有车间办公室，用于办公新增空压机房位于 6#厂房 1 层，建筑面积 48.76m2，用于放置空压机新增纯水间位于 6#厂房 1 层，建筑面积 41.11m2，用于放置纯水机新增变配电间位于 6#厂房 1 层，建筑面积 198.28m2新增空
36、调机房位于 6#厂房 1 层，建筑面积 204.05m2新增公用工程给水工程市政管网供水/排水工程雨污分流/供电工程园区配电/环保工程废气6#厂房纯化工序产生的废气：经 1 套“喷淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”废气处理设施处理后由 25m 排气筒 DA005 排放；碳化硅涂层废气：经 3 套喷“淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”处理工艺的废气处理设施处理后分别由 3 根 25m 排气筒 DA006、DA007、DA008 排放；酸洗废气：酸洗废气经槽边集气罩收集后经“淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”废气处
37、理设施处理后由 25m 排气筒DA008 排放新增2#厂房排胶/烧结废气：经活性炭吸附处理设施处理后经15m排气筒DA009排放；喷砂废气：经布袋除尘器收集处理后由 15m 排气筒 DA010 排放试验件化学气相沉积废气：经 1 套喷“淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机+水封罐”废气处理设施处理后由 1 根 25m 排气筒DA011 排放；喷雾造粒废气：酒精、丁酮挥发废气经冷凝回收检验检测废气：产品抗腐蚀性能测试过程中产生的氯化氢废气经 1 套碱液喷淋塔废气处理设施处理后经 25m 排气筒 DA012 排放1#厂房碳化钽涂层废气依托现有工程1号厂房内废气处理设施（企业内部编号
38、：2#）进行处理，废气处理工艺为“喷淋塔/文丘里/水槽一体化设备+联通水箱+碱洗塔+风机（1 用 1 备）+水封罐”，经处理后的废气经现有工程 25m 排气筒 DA002 排放。依托 12 碳化钽涂层制品石墨纯化废气依托现有工程纯化工序废气处理设施（碱液箱（两级）+喷淋塔）处理后由 25m 排气筒 DA004 排放。切割粉尘；依托现有设备自带布袋除尘器处理后无组织排放废水生活污水经隔油、化粪池处理后和生产废水（酸洗后清洗废水先进行酸碱中和+絮凝沉淀处理）、浓水达电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 中间接排放标准排入园区污水管网，进入河西污水处理厂进一步处理/噪声基础减震
39、、合理布局/固废生活垃圾经收集后交由环卫部门处理；6#厂房新增一间 30m2的一般工业固废暂存间，一般工业固废(废包装材料、不合格产品及边角料收集后交由物资回收公司处理、喷淋/碱液塔沉渣委托处置、纯水制备更换组件交由环卫部门处理）；6#厂房新增一间 40m2的危废暂存间，危险废物（废切削液、废润滑油、含油废抹布、金属氟化物、甲基三氯硅烷废液、废沾染性包装物及含油劳保用品、酸洗废液、废活性炭）等危险废物经暂存后交由有资质的单位进行处理（建设单位应与有危险废物处置资质的单位签订合同）危废暂存间、一般工业固废暂存间新增2.2 产品方案及生产能力产品方案及生产能力本项目主要产品方案见下表。表 2-2
40、产品方案一览表产品名称单位现有工程产量扩建项目产量扩建后全厂总产量备注碳化硅产品片/a300003000060000包含碳化硅涂层制品、石墨半成品碳化钽涂层产品片/a030003000/半导体用碳化硅制品碳化硅立柱t/a01010用于企业内部工装碳化硅横梁t/a055用于企业内部工装碳化硅横板t/a01010用于企业内部工装碳化硅桶t/a02020外售碳化硅管t/a01010外售晶舟t/a055外售研发试验件t/a01010外售注：半导体用碳化硅制品中烧结碳化硅立柱、碳化硅横梁、碳化硅横板主要用于企业内部工装，用于气相沉积炉做隔热材料（现有工程所需材料均为外购，待本次扩建项目完成后不在进行外购
41、）。2.3 主要原辅材料及能源消耗情况主要原辅材料及能源消耗情况原辅材料及能源消耗量变化情况详见下表。表 2-3 主要原辅材料及能源消耗情况一览表生产线名称单位现有工程年用量本次扩建新增用量扩建后全厂总用量全厂最大储存量（t）备注碳化硅产品生等静压石墨t/a18018036040固态，袋装 13 产线甲基三氯硅烷t/a40408032.64液态，储存于现有已建甲基三氯硅烷仓库（2个 30m3储罐）氩气t/a969619235气态、钢瓶储罐储存氢气t/a55100.5气态、氢气鱼雷车储存氮气t/a36036072070气态，由 2 台制氮机组制取，储罐储存氟利昂R14m3/a3474347469
42、484 瓶气态，470L/瓶，储存于纯化车间切削液L10800108002160050 桶液态，20L/桶，储存于危化品仓库半导体用碳化硅制品生产线（2#厂房）非研发试验件（碳化硅立柱、横梁、晶舟等）碳化硅粉t/a070707粉状，袋装，储存于 2#仓库石墨粉t/a0440.4粉状，袋装，储存于 2#仓库石膏粉t/a050505粉状，袋装，储存于 2#仓库硅粉t/a030303粉状，袋装，储存于 2#仓库纤维素t/a00.50.50.05粉状，袋装，储存于 2#仓库PVPt/a0110.1粉状，袋装，储存于 2#仓库炭黑t/a0440.4粉状，袋装，储存于 2#仓库研发试验件AIN 粉t/a0
43、881粉状，袋装，储存于 2#仓库MgO 粉t/a0330.1粉状，袋装，储存于 2#仓库PVB 树脂t/a0110.1粉状，袋装，储存于 2#仓库酒精t/a00.0340.0340.01液体，瓶装丁酮t/a00.0020.0020.001液体，瓶装氢气t/a00.7850.7850.5气态、氢气鱼雷车储存氩气t/a040.82440.82435气态、储罐储存甲基三氯硅烷t/a015.1215.1232.64液态，储存于现有已建甲基三氯硅烷仓库（2个 30m3储罐）碳化钽涂层制品生产线（1#厂等静压石墨t/a0202040固态，袋装，储存于 1#仓库TaCl5粉末t/a016162粉状，袋装，
44、储存于 1#仓库 14 房）氩气t/a0101035气态、钢瓶储罐储存氢气t/a0220.5气态、氢气鱼雷车储存氮气t/a0202070气态，液氮罐，储罐容积 30m3。由 2 台制氮机组制取甲烷m3/a0220.1气态，钢瓶储罐储存氟利昂R14t/a0114 瓶气态，470L/瓶，储存于纯化车间其他原辅材料消耗情况水t/a7989.7232621.7840611.5/电万 kwh135020003350/氢氧化钠t/a1012.322.35液态，桶装、其中 0.3t用于酸洗工序，其余作为废气处理药剂包装材料t/a246/固态，袋装石灰t/a0.500.5/固态，袋装氢氟酸t/a03.13.1
45、0.3液态，25kg/桶，用于酸洗工序。储存于 6#厂房危化品仓库硝酸t/a0110.1液态，25kg/桶，用于酸洗工序。储存于 6#厂房危化品仓库氢氧化钾t/a00.30.30.01固态，用于酸洗工序。氯化氢t/a00.7820.7820.1气态，钢瓶储罐储存，用于检测阶段腐蚀测试。储存于 2#厂房氯化钙t/a00.010.010.01用于酸洗后清洗废水的处理PAC、PAMt/a00.3410.3410.03注：本项目一甲基三氯硅烷储存均依托现有工程已建个 30m3储罐进行储存，不新增厂区最大暂存量。原辅料的理化性质：原辅料的理化性质：等静压石墨基体：高纯石墨压制而成，含碳量99.99%，具
46、有良好的导热性、耐温性、自润滑性、传导性、抗热震性、耐腐蚀性等性能，主要用途为制造单晶炉、金属连铸石墨结晶器、电火花加工用石墨电极、火箭喷嘴、石墨反应堆、反射材料。一甲基三氯硅烷（MTS）：熔点-77，沸点 66-67，密度 1.270g/cm，闪点-10，外观为无色透明液体，常温下极易挥发，遇水易生成盐酸和白色粉末状物质。加热易分解，生成氯化氢。主要用途为生产有机硅化合物，生产防水剂、气相法白炭黑、甲 15 基硅树脂和聚硅氧烷。氩气：熔点：-189.2；沸点：-185.9；相对密度（空气=1）：1.66；无色无味的惰性气体；常压下无毒，高浓度时，使氧分压降低而发生窒息。氢气：熔点-259.2
47、(14.01K)，沸点-252.77（20.28K)，密度 0.089g/L，无色透明、无臭无味难溶于水，相对分子质量最小的物质，还原性较强，工业上主要用于电子工业、航空航天等。氮气：沸点-196，密度 1.25g/L，外观为无色无味气体，不活泼，不燃，无毒；可令人窒息，钢瓶高热可爆，主要用途为某些惰性气氛中以进行金属处理。R14:学名是四氟化碳，又称四氟甲烷、Freon-14 及 R14，是一种卤代烃（化学式：CF4），是一种无色无臭不燃易压缩的气体。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。R14 作为一种特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备
48、中（包括科研制冷、医用制冷），R14 同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（R14）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表明清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。氟利昂是饱和烃类（碳氢化合物）的卤族衍生物的总称。根据氟利昂制冷剂的分子结构可大致分为以下三类：a、氯氟烃类：简称 CFCl，主要包括 R11、R12、R113、R114、R115、R500、R502 等。被蒙特利尔议定书列为一类受控物质。此类物质目前已经禁止使用。b
49、、氢氯氟烃：简称 HCFC，主要包括 R22、R123、R141b、R142b 等。臭氧层破坏系数仅仅是 R11 的百分之几。在蒙特利尔议定书中 R22 生产被冻结在 2015 年水平，2040 年停止消费。c、氢氟烃类：简称 HFC，主要包括 R14、R125、R32、R407C、R410A、R152 等。在蒙特利尔议定书没有规定使用期限，在联合国气候变化框架公约京都议定书中定性为温室气体。R14 属于 HFC 类物质-对臭氧层没有破坏，但存在温室效应，我国目前对于 R14 制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。切削液：切削液为黄褐色非挥发性液体，相对密度
50、（15）为 1.01，pH 值为 9.5，在水中溶解，燃烧会产生水和氮的氧化物、一氧化碳和二氧化碳等。纤维素：本品为纤维素羧甲基醚的钠盐，属阴离子型纤维素醚，为灰白色粉末，燃 16 点 320，密度 0.5-0.7 克/立方厘米，几乎无臭、无味，具吸湿性。易于分散在水中成透明胶状溶液，在乙醇等有机溶媒中不溶。1%水溶液 pH 为 6.58.5，当 pH10 或5时，胶浆粘度显著降低，在 pH=7 时性能最佳。对热稳定，在 20以下粘度迅速上升，45时变化较慢，80以上长时间加热可使其胶体变性而粘度和性能明显下降。易溶于水，溶液透明；在碱性溶液中很稳定，遇酸则易水解，pH 值为 2-3 时会出现
