1、项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）。 （8）排污许可证技术规范 电镀工业（HJ855-2017）。 （9）吸附法工业有机废气治理工程技术规范(HJ 2026-2013)。 3、工程内容及规模 3.1 项目概况 项目名称：半导体产业 IC 装备关键零部件国产化项目； 建设单位：合肥升滕半导体技术有限公司； 建设性质：新建； 建设地点：合肥新站高新技术产业开发区佳海工业园 G 区 G33； 建设内容及规模：租赁安徽万瑞物流有限公司位于佳海工业园 G 区 G33 厂 房南侧进行生产，租赁建筑面积为 2608.12m2。租赁车间内部一层主要建设，建成 后可年产氧化铝板 20 万件、不锈钢
2、件 1 万件、钨 1 万件、钼件 1 万件、铜件 1 万 件、塑料件 1 万件、石英件 1 万件、陶瓷件 1 万件、碳化硅件 1 万件、维修品 2 万 - 5 - 件； 项目投资：项目总投资 11000 万元，其中环保投资 197 万元。 3.2 产品方案 项目建成后可年产氧化铝板 20 万件、不锈钢件 1 万件、钨 1 万件、钼件 1 万 件、铜件 1 万件、塑料件 1 万件、石英件 1 万件、陶瓷件 1 万件、碳化硅件 1 万件、 维修品 2 万件，具体产品方案如表 1： 表表 1-1产品方案产品方案 序号产品名称年产能规格备注 1氧化铝板20 万件 500mm*800mm*3mm 需进行
3、阳极氧化，单件铝 板氧化层表面积 0.8039m2，氧化层厚度 5m 3 不锈钢件1 万件 150g/件 需进行脱脂、纯水洗 4 钨件1 万件 100g/件 5 钼件1 万件 120g/件 6 铜件1 万件 100g/件 7 塑料件1 万件 20g/件 8 石英件1 万件 150g/件 需要进行脱脂、酸洗、喷 砂等处理 9陶瓷件 1 万件 100g/件 需要进行脱脂、酸洗 10碳化硅件 1 万件 80g/件 11维修品 2 万件 500mm*800mm*3mm 单件铝板氧化层表面积 0.8039m2，氧化层厚度 5m 备注：本项目仅氧化铝板及维修品需要进行阳极氧化处理，且厂区内所有原料 均为采
4、购的半成品。 产品先进性：本项目产品主要为合肥晶合、合肥长鑫等企业作为配套加工，主 要用于光刻机、刻蚀机等 IC（集成电路）设备配套零件，由于需要进行与上游企 业每代电子产品进行配套，并与上游企业共同研发，做到匹配专用，专一度较高， 具有一定先进性。 产品质量标准： - 6 - 表表 1-2 产品质量标准产品质量标准 类别类别要求要求 外观要求无碰伤划伤 尺寸要求符合产品图纸尺寸 喷砂粗糙度根据客户要求 310m 熔射粗糙度根据客户要求 1535m 等离子喷涂粗糙度根据客户要求 26m 等离子喷涂厚度根据客户要求 100400m 产品 Particle 标准根据客户要求(ea/cm2)(0.3
5、m)5 硬质氧化厚度根据客户要求 1060m 3.3 工程建设内容 本项目合肥新站高新技术产业开发区佳海工业园 G 区 G33 厂房进行生产，租 赁厂房为 2 层。建设项目主体、储运、辅助、公用及环保工程一览见表 2。 表表 2建设项目主要建设内容一览表建设项目主要建设内容一览表 工 程 类 别 单项工程 名称 工程内容规模 主 体 工 程 生产厂房 一层 钢架结构，层高 7.2m，设置 1 条阳极氧化线、 1 条预处理生产线（维修品）、1 间综合办公 室、1 间原料仓库、1 间化学品仓库、1 间包 装车间，建筑面积为 1620.24m2 建成后可年产氧化铝板 20 万件、不锈钢件 1 万 件
6、、钨件 1 万件、钼件 1 万件、铜件 1 万件、塑料 件 1 万件、 石英件 1 万件、 陶瓷件 1 万件、碳化硅件 1 万件、氧化铝板维修 2 万件 生产厂房 二层 钢架结构，层高 3.8m，设置 1 间成品仓库、1 间入库检查室、1 条清洗线（1 间喷砂室、1 间熔射室、1 间等离子喷涂室、1 间化学室）、 1 间设备维修间，建筑面积为 967.88m2 辅 助 工 程 综合办公 室 位于生产车间一层西侧，主要用于员工办公， 办公人数为 30 人 建筑面积为 72m2 倒班宿舍 位于佳海工业园 G20 宿舍楼，主要供厂区员 工倒班休息使用 建筑面积 1200m2 储 运 工 程 原料仓库
7、 位于生产车间一层西南角， 用于存储铝板、 石 英件、陶瓷件、钨件、钼件、铜件、塑料件、 碳化硅件， 储存周期为 20d， 最大储存量为 30t 建筑面积为 39m2 化学品仓 库 位于生产车间一层西北角，用于存储氢氧化 钾、氢氧化钠、硫酸、硝酸、草酸、脱脂剂等 化学药品，储存周期为 10d，最大储存量为 2.55t 建筑面积为 46m2 - 7 - 成品仓库 位于生产车间二层西侧，用于储存氧化铝板、 石英件、陶瓷件、钨件、钼件、铜件、塑料件、 碳化硅件，储存周期为 10d，最大储存量为 4630 件 建筑面积 117m2 公 用 工 程 供水工程 供水来自新站高新技术产业开发区市政自来 水管
8、网， 纯水由厂区内 1 台 5t/h 纯水制备设备 提供，制取效率为 80% 用水量为 29801.24m3/a 排水工程 项目区排水采用雨、 污分流制。 厂区雨水直接 排入安徽合肥新站高新技术产业开发区的雨 水管网；含油废水（脱脂废水）经隔油池预处 理；含铝废水（碱蚀废水、酸洗废水、阳极氧 化废水、染色废水）经调节池+混凝沉淀池预 处理， 经预处理后废水与清洗废水（工艺清洗 废水、槽体清洗废水、纯水封孔废水）、洗涤 塔排水、循环冷却水排水、纯水制备浓排水、 生活污水、 保洁废水一同进入厂区自建污水处 理设施生化段进行处理， 处理后进入市政污水 管网， 经陶冲湖污水处理厂处理后排至二十埠 河
9、废水总排放量为 25894.08m3/a 供电工程安徽新站高新技术产业开发区市政电网供电年供电量 500 万 kWh 供热制冷 项目阳极氧化线需要进行加热及制冷， 槽液加 热通过电加热方式， 槽液制冷采用冷冻机进行 制冷，制冷剂为 R410a，冷却塔进行辅助降温 / 环 保 工 程 污水治理 措施 项目区排水采用雨、 污分流制。 厂区雨水直接 排入安徽合肥新站高新技术产业开发区的雨 水管网；含油废水（脱脂废水）经隔油池预处 理；含铝废水（碱蚀废水、酸洗废水、阳极氧 化废水、染色废水）经调节池+混凝沉淀池预 处理， 经预处理后废水与清洗废水（工艺清洗 废水、槽体清洗废水、纯水封孔废水）、洗涤 塔
10、排水、循环冷却水排水、纯水制备浓排水、 生活污水、 保洁废水一同进入厂区自建污水处 理设施生化段进行处理（处理能力 90m3/d）， 处理后进入市政污水管网， 经陶冲湖污水处理 厂处理后排至二十埠河 废水总排放量为 25894.08m3/a 废气治理 措施 酸洗、阳极氧化工序 预处理线、阳极氧化线设 置封闭操作间，清洗线设 置通风柜，酸洗、阳极氧 化工序产生的硫酸雾、氮 氧化物、氟化物经槽体侧 边抽风收集后经过“二级 碱液喷淋”装置处理，处 理后通过一根 20m 排气 筒（1#）排放 - 8 - 喷砂、熔射、等离子喷涂粉尘 喷射工序经密闭收集，熔 射、等离子喷涂工序密闭 收集后经自带除尘器处
11、理，处理完毕后与喷砂工 序一同经一套布袋除尘 器处理，最终由 1 根 15m 高排气筒（2#）排放 清洁废气 清洁工序产生的非甲烷 总烃经微负压收集后由 二级活性炭处理，处理后 通过 15m 高排气筒（3#） 排放 噪声治理 措施 各种机械设备以及空气动力噪声处理措施，风机设置风机房 固废治理 措施 厂房一层东北角设置一间 20m2危废暂存间，危险废物暂存危废暂存间， 交有资质单位进行处置；一般固废由建设单位收集后定期售卖；生活垃 圾设置生活垃圾箱委托环卫部门清运 4、主要原辅材料及生产设备、主要原辅材料及生产设备 本项目主要产品为氧化铝板 20 万件、不锈钢件 1 万件、钨件 1 万件、钼件
12、 1 万件、铜件 1 万件、塑料件 1 万件、石英件 1 万件、陶瓷件 1 万件、碳化硅件 1 万 件、氧化铝板维修 2 万件，生产具体原辅料详见表 3。 表表 3主要原辅材料对比一览表主要原辅材料对比一览表 序 号 物料 名 重要组成、规格、 指标、用途 年耗量 最大储存周 期（d） 最大储存量备注 1铝板 AL（99.9%）200000 件 /a 5d3086 件原料仓库 2 不锈 钢 316 不锈钢 10000 件 /a 20d617 件原料仓库 3 陶瓷 件 三氧化二铝 10000 件 /a 20d617 件原料仓库 4 石英 件 二氧化硅 10000 件 /a 20d617 件原料仓库 5 碳化 硅件 碳化硅 10000 件 /a 20d617 件原料仓库 6 钨件 钨（99.9%） 10000 件/a 20d617 件原料仓库 7 钼件 钼（99.9%） 10000 件/a 20d617 件原料仓库 8 铜件 铜（99.9%） 10000 件/a 20d617 件原料仓库 9 塑料 件 特氟龙（聚四
