1、证券研究报告公司深度研究半导体 东吴证券研究所东吴证券研究所 1 / 38 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 华海清科（688120） 设备、 耗材、 服务三设备、 耗材、 服务三大大逻辑看好逻辑看好 CMP 龙头高龙头高成长性成长性 2022 年年 06 月月 16 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 证券分析师证券分析师 黄瑞连黄瑞连 执业证书：S0600520080001 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元) 231.43 一年最低/最高价 224.10/238.50 市净
2、率(倍) 20.58 流通 A 股市值(百万元) 5,530.45 总市值(百万元) 24,685.87 基础数据基础数据 每股净资产(元,LF) 11.25 资产负债率(%,LF) 71.20 总股本(百万股) 106.67 流通 A 股(百万股) 23.90 相关研究相关研究 买入（首次） Table_EPS 盈利预测与估值盈利预测与估值 2021A 2022E 2023E 2024E 营业总收入（百万元） 805 1,679 2,519 3,274 同比 109% 109% 50% 30% 归属母公司净利润（百万元） 198 357 541 719 同比 103% 80% 52% 33%
3、 每股收益-最新股本摊薄（元/股） 1.86 3.34 5.07 6.74 P/E（现价&最新股本摊薄） 124.50 69.20 45.61 34.32 Table_Summary 本土本土 CMP 设备设备龙头龙头，业绩持续高速增长，业绩持续高速增长 公司是本土 CMP 设备龙头，12 英寸 CMP 设备唯一国产供应商，供货中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等海内外半导体头部客户，业绩持续大幅增长。1）收入）收入端端：2021 年公司营业收入达到 8.05 亿元，2017-2021 年 CAGR 高达 155%，2022Q1 同比+193%。 2021 年末公司未发出产品的在手订单超过年
4、末公司未发出产品的在手订单超过 70 台， 将保障短期收入端延续高台， 将保障短期收入端延续高速增长速增长。2）利润端：）利润端：2020 年公司扭亏为盈，2021 年实现归母净利润 1.98 亿元，同比+103%，2022Q1 达到 0.91 亿元，同比+122%，延续高速增长。2020-2022Q1 公司扣非公司扣非后后销售净利率分别为销售净利率分别为 3.79%、14.16%和和 22.37%，真实盈利水平持续大幅提升。，真实盈利水平持续大幅提升。 逻辑一：逻辑一：CMP 新增需求超新增需求超 500 亿元，亿元，公司公司 CMP 业务有较大成长空间业务有较大成长空间 中国大陆成为全球晶
5、圆扩产中心，根据集微咨询，中国大陆未来 5 年将新增 25 座12 英寸晶圆厂，总规划月产能将超过 160 万片，我们预估对 CMP 设备的需求将达到563 亿元。1）全球 CMP 设备由 AMAT 和日本荏原主导，2019 年全球市占率合计高达95%。公司为本土 12 英寸 CMP 设备唯一国产供应商，2018-2020 年在本土 CMP 设备市占率分别为 1.05%、6.12%和 12.64%，持续大幅提升。2）公司公司 CMP 设备已应用于设备已应用于当前国内大生产线的最高水平，当前国内大生产线的最高水平，14nm 也在客户验证，也在客户验证，将将充分受益进口替代充分受益进口替代趋势趋势
6、。若若仅仅考虑考虑在本土在本土新建新建 12英寸晶圆厂扩产需求带动下， 我们中性预计英寸晶圆厂扩产需求带动下， 我们中性预计 2022-2026年公司年公司 CMP设备收入规模合计可达设备收入规模合计可达 197 亿元。亿元。 逻辑二：逻辑二：CMP 后市场是重要组后市场是重要组成成部分，公司部分，公司耗材耗材服务服务收入收入快速提升快速提升 CMP 设备耗材使用量大、 核心零部件需定期维保， 是后服务市场需求较大的环节。1）受益本土晶圆厂大规模扩产，我们预估仅 2022-2026 年中国大陆 12 英寸晶圆新增产能，在 2026 年对 CMP 设备配套耗材、7 分区抛光头维保服务的需求就分别
7、可达 12、36 亿元。2）2021 年公司年公司 CMP 配套材料及技术服务收入达到配套材料及技术服务收入达到 1.11 亿元亿元，2018-2021 年年CAGR 高达高达 205%。我们判断随着公司。我们判断随着公司 CMP 设备持续大规模出货，后服务业务有望设备持续大规模出货，后服务业务有望保持高速增长态势。保持高速增长态势。中性情形下，中性情形下，仅仅考虑考虑 2022-2026 年本土年本土新建新建 12 英寸晶圆厂扩产需英寸晶圆厂扩产需求，求，我们预计我们预计公司公司 CMP 设备配套材料设备配套材料&技术服务的远期收入规模将达到技术服务的远期收入规模将达到 16.58 亿元亿元
8、。 逻辑三：逻辑三：晶圆再生需求日益增长，晶圆再生需求日益增长，IPO 扩产扩产将将成成公司公司新的增长点新的增长点 晶圆再生主要用于晶圆制造产线中测试片的回收再利用， 我们预计 2026 年中国大陆晶圆再生市场规模可达 19 亿元（仅考虑 12 英寸） 。1）全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国台湾，在本土至纯科技、协鑫集成等企业均在积极布局晶圆再生业务，合计设计产能达到 111 万片/月。2）公司公司 IPO 募投加码晶圆再生业务，规划产能为募投加码晶圆再生业务，规划产能为 10万片万片/月。晶圆再生其中涉及月。晶圆再生其中涉及 CMP 工艺的抛光环节可以高精度修复前段工艺留下的不工艺的抛
9、光环节可以高精度修复前段工艺留下的不平整晶圆表面，是晶圆再生工艺流程的核心技术难点，属于公司平整晶圆表面，是晶圆再生工艺流程的核心技术难点，属于公司 CMP 主业的技术外主业的技术外延，公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力，有望延，公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力，有望成为公司新的增长点成为公司新的增长点。 盈利预测与投资评级：盈利预测与投资评级：我们预计 2022-2024 年公司营业收入分别为 16.79、 25.19和 32.74 亿元，当前市值对应动态 PS 分别为 15、10 和 8 倍。考虑到公司成长性较为突出，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示：风险提示：晶圆厂资本开支下滑、
10、新品研发&客户验证进程不及预期等。 -18%-16%-14%-12%-10%-8%-6%-4%-2%0%2%4%6%2022/6/82022/6/102022/6/122022/6/142022/6/16华海清科沪深300更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 2 / 38 内容目录内容目录 1. 国产国产 CMP 设备龙头，业绩持续高速增长设备龙头，业绩持续高速增长 . 5 1.1. 12 英寸 CMP 设备唯一国产供应商，供货主流半导体客户 . 5 1.2. 清华大学产学研资源加持，C
11、MP 设备技术储备领先 . 7 1.3. 收入规模加速扩张，盈利水平持续大幅提升. 10 2. CMP 设备新增需求超设备新增需求超 500 亿元，公司亿元，公司 CMP 业务仍有较大空间业务仍有较大空间 . 13 2.1. 中国大陆成为全球晶圆扩产中心，半导体设备景气度有望延续. 13 2.2. 受益 12 寸晶圆厂大规模扩产，2022-2026 年 CMP 设备需求超 500 亿元 . 16 2.3. 全球 CMP 设备由海外主导，公司在本土市场份额持续大幅提升 . 19 2.4. 公司 CMP 产品不断升级完善，设备业务仍有较大成长空间 . 21 3. 耗材耗材+服务全方位布局，进一步打
12、开公司成长空间服务全方位布局，进一步打开公司成长空间 . 23 3.1. 耗材&技术服务：CMP 设备后市场需求空间大，公司有望快速扩张 . 23 3.1.1. 后市场是半导体设备重要组成部分，CMP 耗材维保需求空间较大 . 23 3.1.2. 公司 CMP 耗材&维保业务收入快速增长，远期空间较大 . 28 3.2. 晶圆再生：与 CMP 设备业务高度协同，有望成为新增长点 . 30 4. 盈利预测与投资评级盈利预测与投资评级 . 34 5. 风险提示风险提示 . 36 更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴
13、证券研究所 公司深度研究 3 / 38 图表目录图表目录 图 1： 公司成立九年来，在 CMP 设备领域持续突破 . 5 图 2： 公司主营业务为半导体抛光及减薄设备&配套材料及技术服务 . 6 图 3： 2018-2021 年公司 CMP 设备收入占比高于 85% . 6 图 4： 公司 CMP 设备销售以 12 英寸（300 系列）为主 . 6 图 5： 长江存储、华虹集团、中芯国际连续三年稳居公司前三大客户. 7 图 6： 目前清华大学为公司实际控制人. 8 图 7： 公司核心技术人员通过三大员工持股平台对公司间接持股. 8 图 8： 2021 年底公司研发人员占比高达 32% . 9
14、图 9： 2021 年底公司本科以上学历员工占比高达 62% . 9 图 10： 2017-2021 年公司研发费用 CAGR 达到 63% . 9 图 11： 2019 年起公司研发费用率大幅下降 . 9 图 12： 公司 CMP 设备领域多项核心技术达到国内领先 . 10 图 13： 2017-2021 年公司营业收入 CAGR 达 155% . 11 图 14： 2017-2021 年公司 CMP 设备收入 CAGR 达 165% . 11 图 15： 2020 年公司归母净利润实现扭亏为盈. 11 图 16： 2018-2022Q1 公司盈利能力持续提升 . 11 图 17： 2017
15、-2021 年公司销售毛利率持续快速提升 . 12 图 18： 2017-2021 年公司 CMP 设备毛利率快速上升 . 12 图 19： 2018-2020 年公司期间费用率大幅下降 . 12 图 20： 2022Q1 公司期间费用率已经低于本土同行 . 12 图 21： 2022Q1 末公司合同负债达到 8.36 亿元 . 13 图 22： 2022Q1 末公司存货达到 16.75 亿元 . 13 图 23： 2021 年底公司库存商品&发出商品达到 81 台，同比+238% . 13 图 24： 2021 年全球半导体设备销售额达 1026 亿美元. 14 图 25： 2021 年中国
16、大陆半导体设备销售额为 296 亿美元. 14 图 26： 2022Q1 我国新能源汽车销量同比+143% . 14 图 27： 2022 年以来全球半导体销售额仍高速增长. 14 图 28： 2021 年底中国大陆晶圆产能全球占比仅 16% . 15 图 29： 2021-2022 年中国大陆将再新增 8 座晶圆厂 . 15 图 30： 华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫合计扩产空间超过 100 万片/月 . 15 图 31： 2022 年中国大陆 12 寸晶圆厂扩产空间较大. 16 图 32： 2022-2026 年中国大陆将再新增 25 座晶圆厂 . 16 图 33： CMP 平坦化
17、原理为化学+机械方式协同 . 16 图 34： CMP 是晶圆表面平坦化的关键工艺 . 16 图 35： CMP 设备广泛应用于集成电路产业链多个环节 . 17 图 36： 2021 年全球/中国大陆 CMP 设备市场规模分别为 41.1 和 10.4 亿美元 . 18 图 37： 2024 年全球 10nm 以下先进制程占比约 30% . 18 图 38： 先进制程下 CMP 抛光步骤需求明显增加 . 18 图 39： 我们中性预计 2022-2026 年中国大陆新增 12 英寸晶圆产能对 CMP 设备需求将达 563亿元. 19 图 40： 2019 年全球 CMP 设备 CR2 市场份额
18、高达 95% . 20 图 41： 公司和 AMAT 和日本荏原的差距主要体现在制程工艺水平上 . 20 更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 4 / 38 图 42： 2018-2020 年公司在本土市场份额快速提升 . 21 图 43： 2021 年公司在部分晶圆厂中标率高达 44.26% . 21 图 44： 2022 年 1-5 月公司在积塔半导体 CMP 设备招标中中标率高达 83% . 21 图 45： 公司 CMP 设备应用制程先进性快速推进 . 22 图 46： 公司 C
19、MP 设备已全面应用于逻辑/存储领域 . 22 图 47： 我们中性预计 2022-2026 年公司 CMP 设备销售额合计可达 197 亿元 . 22 图 48： 先进制程下芯片的厚度快速降低. 23 图 49： 公司已研发出 Versatile-GP300 减薄抛光一体机 . 23 图 50： 公司 IPO 募投重点加码高端半导体设备产业化&研发项目 . 23 图 51： AMAT 全球应用服务收入占比可达 22% . 24 图 52： LAM 客户支持业务及其他收入占比高达 33% . 24 图 53： 2021 年中微公司后服务业务收入占比达到 19% . 24 图 54： 抛光头、气
20、模、保持环等为 CMP 设备的核心耗材零部件 . 25 图 55： 公司 CMP 耗材业务主要包括保持环、气膜、7 分区抛光头等 . 26 图 56： 公司单台 CMP 设备对耗材、七分区抛光头维保服务需求分别约 45、200 万元/年 . 27 图 57： 2022-2026 年中国大陆 12 英寸晶圆新增产能在 2026 年对 CMP 设备配套需求将达 12 亿元. 28 图 58： 2022-2026 年中国大陆 12 英寸晶圆新增产能在 2026 年对七分区抛光头维保需求约 36亿元. 28 图 59： 2018-2021 年公司后服务收入 CAGR 为 205% . 29 图 60：
21、 2021 年公司后服务收入占比约为 14% . 29 图 61： 公司技术服务及其他业务毛利率明显高于 CMP 设备 . 29 图 62： 我们中性预计公司 CMP 设备配套材料&技术服务业务远期收入可达 16.58 亿元 . 30 图 63： 晶圆再生主要指晶圆制造过程中测试片的回收再利用. 30 图 64： 测试片是提升薄膜沉积效果的有效方式. 31 图 65： 2021 年全球半导体硅片价格平均价格明显上涨. 31 图 66： 全球晶圆再生市场由日本&中国台湾企业主导 . 31 图 67： RST 晶圆再生产能全部在日本&中国台湾地区 . 31 图 68： 2021 年 RST 晶圆再
22、生中国大陆占比仅 7% . 32 图 69： 2021 年中砂对中国大陆地区收入占比仅 10.6% . 32 图 70： 我们中性预估 2026 年中国大陆晶圆再生市场规模约为 19 亿元. 32 图 71： 海内外企业均在积极加码中国大陆晶圆再生市场. 33 图 72： CMP 是晶圆再生加工流程中的核心工艺环节 . 34 表 1： 公司分业务收入预测（百万元）. 35 表 2： 可比公司估值（PS，截至 2022/6/16 收盘股价） . 35 表 3： 可比公司估值（PE，截至 2022/6/16 收盘股价） . 36 更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分
23、请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 5 / 38 1. 国产国产 CMP 设备设备龙头，业绩持续高速增长龙头，业绩持续高速增长 1.1. 12 英寸英寸 CMP 设备设备唯一国产供应商唯一国产供应商，供货，供货主流半导体客户主流半导体客户 华海清科成立于华海清科成立于 2013 年，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技年，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备，并提供配套材料及技术服务。）设备，并提供配套材料及技术服务。 公司公司 12 英寸英寸 CMP
24、设备设备成功填补国内空白，打破国际巨头垄断。成功填补国内空白，打破国际巨头垄断。公司核心研发团队先后承担、联合承担两项“国家科技重大专项（02 专项）”及三项国家级重大项目/课题，曾荣获“天津市科学技术奖（技术发明）一等奖”、“中国机械工业科学技术奖（技术发明）特等奖”等荣誉。公司推出国内首台拥有核心自主知识产权的 12 英寸 CMP 设备并实现量产销售， 是国内唯一一家为集成电路制造商提供 12 英寸 CMP 商业机型的高端半导体设备制造商。2022 年公司登陆科创版年公司登陆科创版，借助资本市场开启新征程。借助资本市场开启新征程。 图图1：公司成立公司成立九年来九年来，在，在 CMP 设备
25、设备领域领域持续持续突破突破 数据来源：公司招股说明书，东吴证券研究所 公司主营产品包公司主营产品包括括半导体抛光及减薄设备、配套材料及技术服务半导体抛光及减薄设备、配套材料及技术服务两大类两大类： 1）半导体抛光及减薄设备半导体抛光及减薄设备：CMP 设备包括 300 和 200 两大系列，分别用于 12 英寸和 8 英寸晶圆，其中 Universal-300T 可满足 28nm 以下逻辑&1xnm 存储 Oxide/ SiN/STI/Poly/Cu/W CMP 等各种工艺需求。此外，公司新研发出 12 英寸晶圆减薄抛光一体机（Versatile-GP300） ，可满足 3D IC 制造、先
26、进封装等领域晶圆减薄需求。 2）配套材料及技术服务配套材料及技术服务：包括晶圆再生业务和关键耗材销售&维保业务两大类，和CMP 设备业务高度协同。晶圆再生业务晶圆再生业务：主要利用自身 CMP 技术和自产晶圆再生关更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 6 / 38 键设备为客户提供晶圆再生服务和再生晶圆销售。关键耗材销售和维保业务关键耗材销售和维保业务：主要内容是对已销售的 CMP 设备，向客户提供设备关键易磨损零部件的维保、更新服务。 图图2：公司主营公司主营业务业务为半导体抛光及减薄
27、设备为半导体抛光及减薄设备&配套材料及技术服务配套材料及技术服务 数据来源：公司招股说明书，东吴证券研究所 CMP 设备为公司主要收入来源设备为公司主要收入来源，其中又以，其中又以 12 英寸的英寸的 300 系列为主系列为主。1）分产品来看，CMP 设备为最主要收入来源，2018-2021 年收入占比分别高达 89%、92%、92%、86%。2）在 CMP 设备业务中，公司收入又以 12 英寸（300 系列）产品为主，2018-2020年 300 系列分别占 CMP 设备业务收入的 100%、100%、97%、98%。 图图3：2018-2021 年公司年公司 CMP 设备收入占比高于设备收
28、入占比高于 85% 图图4：公司公司 CMP 设备销售以设备销售以 12 英寸（英寸（300 系列系列）为主为主 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 89%92%92%86%0%20%40%60%80%100%2018201920202021配套材料及技术服务CMP设备100%100%97%98%0%20%40%60%80%100%2018201920202021200系列300系列更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 7 / 38 公司公司成功供货本
29、土成功供货本土主流主流半导体客户，半导体客户，客户资源优质客户资源优质。1）公司 CMP 设备已成功进入中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等半导体知名客户供应链，并建立了良好合作关系；2）从收入构成来看，2018-2021 年公司前五大客户收入占比分别高达 99.09%、94.96%、85.71%、92.99%，客户集中度较高。2019-2021 年长江存储、华虹集团、中芯国际年长江存储、华虹集团、中芯国际稳居公司前三大客户，稳居公司前三大客户，2021 年对长江年对长江存储收入占比高达存储收入占比高达 66%，已，已形成较强客户粘性形成较强客户粘性，
30、彰显出彰显出公司产品公司产品的的市场竞争力市场竞争力。 图图5：长江存储、华虹集团、中芯国际连续三年稳居公司前三大客户长江存储、华虹集团、中芯国际连续三年稳居公司前三大客户 数据来源：公司招股说明书，东吴证券研究所 1.2. 清华大学产学研资源清华大学产学研资源加持加持，CMP 设备技术储备领先设备技术储备领先 四川国资委四川国资委将变更为将变更为公司实控人公司实控人，背靠清华产学研资源，背靠清华产学研资源，奠定了公司雄厚的奠定了公司雄厚的技术技术储储备备&人才人才基础基础。 清华大学为国内 CMP 基础研究重点机构， 2013 年为促进科研成果转化，与天津市政府合资成立华海清科。截至 IPO
31、 发股后，清创控股持有 28.19%股权，目前清华大学仍是公司实控人。2022 年年 4 月，月，四四川省国资委同意将清华控股川省国资委同意将清华控股 100%股权以股股权以股权投资方式投入四川能投，交易完成后，最终由四川能投持有清华控股权投资方式投入四川能投，交易完成后，最终由四川能投持有清华控股 100%股权，股权，四四川国资委川国资委将将是公司实控人是公司实控人。 董事长&首席科学家路新春先生在清华大学任教 20余年， 为 ICPT执委、 长江学者、国家杰出青年， 授权专利位居全球 CMP 设备技术发明人第一名， 是国内 CMP 技术发展和产业化的重要推动者，为公司在 CMP 领域的技术
32、先进性打下基础。 序号序号客户名称客户名称销售金额（百万元）销售金额（百万元）占比占比序号序号客户名称客户名称销售金额（百万元）销售金额（百万元）占比占比1长江存储534.2466.37%1长江存储128.1933.22%2华虹集团120.0814.92%2华虹集团100.8326.13%3中芯国际51.786.43%3中芯国际39.3710.20%4客户323.782.95%4睿力集成39.2410.17%5客户518.562.31%5驰拓科技23.105.99%748.4492.99%330.7385.71%序号序号客户名称客户名称销售金额（百万元）销售金额（百万元）占比占比序号序号客户名
33、称客户名称销售金额（百万元）销售金额（百万元）占比占比1长江存储88.8742.14%1华虹集团21.5660.45%2华虹集团65.1730.90%2大连英特尔12.3234.55%3中芯国际19.249.12%3客户20.712.00%4客户117.158.13%4中芯国际0.461.28%5厦门联芯9.864.67%5吉姆西（无锡）0.290.80%200.3094.96%35.3499.09%合计合计合计合计2021年度年度2020年度年度合计合计合计合计2019年度年度2018年度年度更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分
34、 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 8 / 38 图图6：目前清华大学为公司实际控制人目前清华大学为公司实际控制人 数据来源：公司招股说明书，东吴证券研究所（注：IPO 发股后） 此外，为充分调动员工积极性和留住优秀人才，公司设立清津厚德、清津立德、清公司设立清津厚德、清津立德、清津立言三个员工持股平台，津立言三个员工持股平台，其中清津厚德其中清津厚德直接直接持股比例达到持股比例达到 7.68%（IPO 发股后）发股后） 。核。核心技术人员通过三大持股平台与公司紧密绑定，保障了心技术人员通过三大持股平台与公司紧密绑定，保障了公司公司核心核心技术团队技术团队的的稳定稳定性性。 图图7：
35、公司核心技术人员通过三大员工持股平台对公司间接持股公司核心技术人员通过三大员工持股平台对公司间接持股 数据来源：公司招股说明书，东吴证券研究所（注：持股比例为 IPO 上市前） 姓名姓名公司职务公司职务直接持股主体直接持股主体在直接持股主体的出资比例在直接持股主体的出资比例间接持股比例间接持股比例清津厚德17.94%1.84%清津立德0.92%0.02%张国铭张国铭董事、总经理清津厚德 8.37%0.86%李昆李昆董事、常务副总经理清津厚德6.07%0.62%檀广节檀广节资深副总经理清津厚德3.55%0.36%王同庆王同庆副总经理、核心技术人员清津厚德 7.37%0.75%赵德文赵德文副总经理
36、、核心技术人员清津厚德 6.91%0.71%沈攀沈攀副总经理、核心技术人员清津厚德 6.73%0.69%清津厚德 6.66%0.68%清津立言8.46%0.01%崔兰伟崔兰伟董事会秘书、财务总监清津厚德6.61%0.68%许振杰许振杰职工监事、核心技术人员 清津厚德 5.97%0.61%王旭王旭职工监事清津厚德0.26%0.03%裴召辉裴召辉核心技术人员清津厚德6.73%0.69%田芳馨 田芳馨 核心技术人员清津厚德6.73%0.69%郭振宇郭振宇核心技术人员清津立德33.80%0.64%董事长、首席科学家、核心技术人员路新春路新春孙浩明 孙浩明 副总经理更多投研资料 公众号：mtachn 请
37、务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 9 / 38 在核心技术人员带动下，公司研发团队在核心技术人员带动下，公司研发团队日益完善日益完善。截至 2021 年底，公司研发人员达到 224 人，占比达到 32%。从学历构成来看，2021 年底公司本科及以上学历员工占比高达 62%，高端人才优势显著，为公司技术先进性持续突破奠定基础。 图图8：2021 年底年底公司研发人员占比高达公司研发人员占比高达 32% 图图9：2021 年底年底公司本科以上学历员工占比高达公司本科以上学历员工占比高达 62% 数据来源：公司公告，东吴证券研
38、究所 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 公司研发公司研发投入持续高速增长投入持续高速增长，规模效应下规模效应下研发费用率研发费用率已大幅下降已大幅下降。为保持 CMP 技术先进性，公司持续加大研发投入，2021 年公司研发费用达到 1.14 亿元，2017-2021 年CAGR 高达 63%。随着收入规模快速扩大，2019 年起公司研发费用率大幅下降，2020-2022Q1 延续稳步下降趋势，2022Q1 仅为 9.43%，规模效应彰显。 图图10：2017-2021 年公司研发费用年公司研发费用 CAGR 达到达到 63% 图图11：2019 年起公司研发费用率大幅下降年起公司研发费用率大
39、幅下降 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 在在完善研发团队完善研发团队&高高研发投入研发投入驱动驱动下，下，公司公司已已在在 CMP 设备领域形成较设备领域形成较为为完善的技完善的技术储备。术储备。截至 2021 年底，公司拥有国内外授权专利 209 项，其中发明专利 114 项、实用新型专利 95 项，拥有软件著作权 7 项，成果丰硕。对于纳米级抛光、纳米精度膜厚研发人员32%生产人员28%销售及技术支持人员21%管理人员19%博士1%硕士20%大学本科41%专科及以下38%0%20%40%60%80%100%120%140%02040608010012
40、020172018201920202021 2022Q1研发费用(百万元)同比（%）84.52%88.63%21.32%13.10%14.17%9.43%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%201720182019202020212022Q1华海清科中微公司芯源微盛美上海北方华创更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 10 / 38 在线检测、纳米颗粒超洁净清洗、大数据分析及智能化控制、超精密减薄五大类核心技术，公司技术水平均达到国内领先地位，并且大部分核心技
41、术已经实现量产。 图图12：公司公司 CMP 设备领域设备领域多项核心技术达到多项核心技术达到国内领先国内领先 数据来源：公司招股说明书，东吴证券研究所 1.3. 收入规模收入规模加速加速扩张扩张，盈利，盈利水平水平持续持续大幅提升大幅提升 受受益益 CMP 设备设备快速放量快速放量，公司收入规模快速扩张。，公司收入规模快速扩张。2017 年公司营业收入仅为 0.19亿元，2021 年快速上升至 8.05 亿元，期间 CAGR 高达 155%，2022Q1 达到 3.48 亿元，同比+193%，呈现加速扩张态势。分业务来看，2021 年公司 CMP 设备收入达到 6.94 亿元，2017-20
42、21 年 CAGR 高达 165%，是公司收入端持续快速增长的主要驱动力。 序号序号技术类别技术类别核心技术名称核心技术名称技术来源技术来源专利保护措施专利保护措施技术水平技术水平应用情况应用情况在设备上的具体应用在设备上的具体应用1直驱式抛光驱动技术自主研发已授权发明专利5项国内领先已量产抛光单元的抛光盘2多区压力调控抛光技术自主研发已授权发明专利8项；申请中发明专利16项国内领先已量产抛光单元的承载头3自适应承载头技术自主研发已授权发明专利3项；申请中发明专利4项国内领先已量产抛光单元的承载头4预适应保持环技术自主研发已授权发明专利2项；申请中发明专利4项国内领先已量产抛光单元的承载头5纳
43、米精度膜厚在线检测归一化抛光终点识别技术自主研发已授权发明专利9项；申请中发明专利4项国内领先已量产抛光单元的终点检测6马兰戈尼干燥技术自主研发已授权发明专利6项；申请中发明专利15项国内领先已量产清洗单元的晶圆干燥7智能清洗技术自主研发已授权发明专利8项；申请中发明专利32项国内领先已量产清洗单元的晶圆清洗8高产能设备架构技术自主研发已授权发明专利25项；申请中发明专利18项国内领先已量产化学机械抛光装备及其控制系统9抛光装备运行参数智能监测与调控技术自主研发已授权发明专利29项；申请中发明专利17项国内领先已量产抛光单元的智能控制10基于智能控制的抛光技术自主研发已授权发明专利7项；申请中
44、发明专利10项国内领先已量产抛光单元的智能控制11超精密研磨面形控制技术自主研发已授权发明专利7项；申请中发明专利13项国内领先验证中减薄抛光一体机的面形控制12超精密集成减薄技术自主研发已授权发明专利3项；申请中发明专利8项国内领先验证中减薄抛光一体机13超精密集成减薄智能控制技术自主研发已授权发明专利1项；申请中发明专利3项国内领先验证中减薄抛光一体机超精密减薄纳米级抛光纳米颗粒超洁净清洗大数据分析及智能化控制更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 11 / 38 图图13：2017-
45、2021 年公司营业收入年公司营业收入 CAGR 达达 155% 图图14：2017-2021年公司年公司CMP设备收入设备收入CAGR达达165% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 利润端， 2020年公司首次扭亏为盈， 2021年实现归母净利润1.98亿元， 同比+103%，2022Q1 达到 0.91 亿元，同比+122%，延续快速上升态势。 进一步分析发现，进一步分析发现，公司扭亏为盈后，盈利能力正在持续快速提升。公司扭亏为盈后，盈利能力正在持续快速提升。2020 年公司实现盈利后， 销售净利率达 25.34%， 2021-2022Q1 保持相对稳
46、定， 分别为 24.63%和 26.19%，高于芯源微 （9.33%和 17.64%） 与北方华创 （12.32%和 11.56%） 等本土半导体设备企业。若剔除政府补助等非经常性损益，2020-2022Q1 公司扣非后销售净利率公司扣非后销售净利率分别为分别为 3.79%、14.16%和和 22.37%，真实真实盈利水平持续大幅提升，盈利水平持续大幅提升，下面将从毛利端及费用端分析。 图图15：2020 年公司归母净利润实现扭亏为盈年公司归母净利润实现扭亏为盈 图图16：2018-2022Q1 公司盈利能力持续提升公司盈利能力持续提升 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，
47、东吴证券研究所 毛利端毛利端，2017-2021 年年公司销售毛利率近乎正比例提升公司销售毛利率近乎正比例提升，2022Q1 达到达到 47.33%，表，表现十分出色现十分出色。究其原因：1）高收入占比的高收入占比的 CMP 设备毛利率稳健上升设备毛利率稳健上升。这一方面系产品获客户认证规模化放量，均摊固定成本，同时优化选型降低直接材料价格，成本端有所降低；另一方面系公司持续创新、推出高端产品，单台设备价格有所提升；2）配套材料配套材料及技术服务及技术服务业务毛利率业务毛利率&收入占比收入占比同时同时提升。提升。在抛光头维保服务规模效应下，技术服0%100%200%300%400%500%60
48、0%0123456789201720182019202020212022Q1营业收入(亿元)同比增速（%）0%20%40%60%80%100%01234567820172018201920202021CMP设备收入(亿元)收入占比(%)-0.16-0.36-1.540.981.980.910%20%40%60%80%100%120%140%-2-1.5-1-0.500.511.522.5归母净利润(亿元)同比增速(%)-81.85%-100.13%-73.11%25.34%24.63%26.19%-250%-200%-150%-100%-50%0%50%20172018201920202021
49、2022Q1扣非后销售净利率销售净利率更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 12 / 38 务业务毛利率由 2019 年的 51.22%上升至 2021 年的 63.86%，驱动配套材料及技术服务业务板块整体毛利率快速提升。 高毛利率的配套材料及技术服务业务收入占比由 2019年的 7.61%快速提升至 2021 年的 13.81%，带动公司整体毛利率进一步提升。 图图17：2017-2021 年公司销售毛利率持续快速提升年公司销售毛利率持续快速提升 图图18：2017-2021 年公司年公司 CMP 设备毛利率快速上升设备毛利率快速上升 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 费用端，费用端， 在在规模效应下，规模效应下， 2020 年公司期间费用率大幅下降，年公司期间费用率大幅下降， 同比-80.94pct。 1） 2017-2019 年公司期间费用率均高于 100%，2018 年达到顶峰 197.76%，主要系前期研发投入较多，2018 年研发费用率高达 88.63%；2）2020 年以来随着收入规模快速增长，公司规模效应彰显，2021-2022Q1 公司期间费用率持续下降，分别为 30.62%、20.57%，2022Q1已经低于中微
