1、中华人民共和国有色金属行业标准硅片边缘轮廓检验方法YS/T26一92生题内容与适用范围本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓方法提要将硅片沿径向划开形成剖面，借助光学投影仪将其放大，聚焦使剖面清晰地投影到显示屏上与标准模版相比较硅片边缘剖面投影轮廓处在标准模版允许区域内，则硅片边缘轮廓为合格;否则为不合格测量仪器光学投彭仪放大倍数为50X或loox,载物台在二和v方向卜可移动硅片夹具应能使硅片表面平行于光路，使硅片边缘轮廓清晰地投影在显示屏上。标准测微尺:长度为。.5-1. 0 mm，绝对误差小于5 umo331脚抽样与制样4.1抽样方案及试祥测量点的位置和
2、数目由供需双方商定4.2在确定的测量点处沿径向划开硅片，制取试样。检验步骤5门检验用的标准模版图形如图1，其特征点坐标和基本尺寸应符合图2和表1的规定标准模版的制作方法按图1,图2,表1的规定。正面it431背面图工标准模版图形中国有色金属工业总公司1992一03一09批准1993一01一01实施YS/T 26一92A图2标准模版特征点坐标表1标准模版特征点坐标值特征点ABCD76508510y001/3硅片厚度76将标准模版基本尺寸乘以投影仪的放大倍数按放大后的模版尺寸，在透明材料(如玻璃、描图纸)上按照图1描制与硅片厚度相当的标准模Jl.弓月.1口乙q曰tt02ZZZ34567乐乐版乐55
3、乐5乐乐5乐:.;检查投影仪放大倍数调节投影仪。使用5o x或loo x放大镜头.将标准测微尺投影到显示屏上用精度0. 5 mm的直尺测量投影长度。核算投影仪放大倍数。按硅片厚度和放大倍数选择相当的标准模版，放置在投影仪显示屏上。将试样放入夹具内，置于载物台上，使试样剖面垂直于光路。调节投影仪，使试样显示出清晰的边缘轮廓沿二和v方向调节载物台，将试祥边缘轮廓投影与标准模版相比较判定被测硅片边缘轮廓是否合格:硅片mil量点处边缘轮廓投影落在标准模版允许区域内为合格;否则为不合格硅片边缘上所确定的测量点处的边缘轮廓全部合格，则该片边缘轮廓为合格。6精密度投影仪放大倍数为50上。.5X或10。土1X，其相应的标准模版尺寸精确到。.05 mrti或。. 1 mm,在此条件，单个实验室检验重复性达100%了试验报告试验报告应包括以下内容:硅片编号;b.硅片批量及检验试样数量;c测量点位置及数目;d.合格硅片数;e.本标准编号;Ys/f 2 6一92f.检验者及检验日期。附加说明:本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所提出。木标准由洛阳单晶硅厂负责起草本标准主要起草人王从赞、夏光勤本标准等效采用美国标准ASTM F 928-85硅片边缘轮廓检验方法
