1、哗锥Al 民共和副 蹋家撩邋捷光撖管匡设潞翔范猢副瓣锣 矾侈啐厨计剿龇潋榄躞堰踵镟唧捌 豕聊 w w 刊山 酝 钰 暾 c o m蜘 晤 “ 聪揄面煳区桊鲰丨甲LI笤醛笨囊C唾寄昴燔酸翳躅氵岫| 蹩喃f 岣诬 n 鹦Fy s 岫g 眨浔鄱多曼冠齑筚印翩包装蔺隈公司| 厦丨 忄s l l |褥铋 酗 刂I卩” 药“ 注 山i 止y 台蹈 汾 妲昌!印啾 锌塑 四耻鳔昏垌缡l 跏铡1蜂 沲倒络I洳郭刷绋一鹊号o 哆矾g a o Ol OT蔻偷j 龃00晁搀梗轿看 钣钡必宽脚翻 盹 :瀛 邸l O9翩删0犭妯蓊卸翘质褰陌题。溏簧髁孺换.中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1352号住房城乡建设部关于
2、发布国家标准 发光二极管工厂设计规范 的公告现批准发 光 二极 管 工厂 设 计 规 范 为 国家 标 准 ,编 号 为GB512092o 16,自z O17年7月 1日起 实施 。其 中,第8.2.3、8.3.3(1)、8.3.9、8.3.11、10.2.9条(款)为强制性条文,必须严格执行 。本规范 由我部标 准定 额研 究 所组织 中 国计 划 出版 社 出版发行 。中华人民共和国住房和城乡建设部2016年10月24日臼根据住房城 乡建设部 关 于印发2010年工程建设标准规范制订 、 修订计划 的通知(建标 201043号)的要求,由工业 和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额
3、站与中国电子I程设计院会同有关单位共同编制完成 。在规范编制过程中,编写组根据我国发光二极管工厂的设计 、建造和运行的实际情况,进行了广泛的调查研究,收集了有关发光二极管工厂的设计要求,认真总结实践经验,同时考虑我国目前生产的现状,参考国外有关的标准规范,广泛征求 了国内有关单位与专家意见,最后经审查定稿 。本规范共分13章和3个附录,主要技术 内容包括:总则,术语,基本规定,工艺,总图,建筑,结构,动力及气体 工程,供暖 、 通风 、 空气调节与净化,给水排水,电气,防静电和空间管理等。本规范 中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行 。本规范 由住 房城 乡 建设部 负责管 理 和对
4、 强 制性 条 文 的解释,由工业和信息化部 负责 日常管理,由中国电子工程设计 院负责具体技术 内容 的解 释。执行过程 中如有 意见或 建议,请寄送中国电子工程设计 院(地址:北京市海淀 区西 四环北路160号,邮政编 码:100142,传真:010-88193999),以便 今 后 修 订 时参考 。本规范主编单位 、 参编单位 、 主要起草人和主要审查人:主 编 单 位:工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站中国电子工程设计院参 编 单 位:世源科技工程有限公司亠刖1次目1 总 则 (1)2 术 语 (2)3 基 本 规 定 (3)4 工 艺 (4)4.1 一般规定 ()
5、4,2 基本工序与生产协作 (4)4.3 工艺区划 (5)4,4 设备布置总 图 (5)5.1 厂址选择 5,2 总平面布置 ” 建 筑 6,1 一般规定 6.2 防火及安全疏散 结 构 7.1 一般规定 7.2 结构设计 动 力 及 气 体工程 8,1 冷热源 8.2 大宗气体供应 8.3 特种气体供应 8.4 动力气体供应 供暖、 通风、 空气调节与净化 9.1 一般规定 (6)(6)(6)(8)(8)(8)(l 0(10(10)( 12)(12)(13)(14) 16)( 18 )(18)1 9.2 供暖 、 通风与废气处理 (18)9.3 空气调节与净化 ()9.4 防羽F火Fk l
6、(21)10 给 水 排 水 (22)10.1 一般规定 (22)10.2 一般给水排水 (22)10.3 纯水 (23)10.攻 工艺冷却循环水 (23)l O。5 废水处理 (24)10.6 消防 (24)11 电 气 (26)l 1.l 供配电与照明 (26)11.2 防雷与接地 (27)11.3 白控 27)11.4 通信 (28)11,5 安全防护 (28)12 防静 电 (30)12.1 一般规定 (3o )12.2 防静电措施 (30)12.3 防静电接地 (32)13 空 间管 理 (33)13.1 一般规定 ()13.2 管线布置 (33)附 录A 发 光二极 管 典 型 生
7、 产 环 境 要 求 (35)附 录B 发 光二极 管 生 产工 艺 动 力 品 质要 求 (3附 录C 发 光二极 管 生 产 的典 型工 艺 流 程 (38)本 规 范 用 词 说 明 (40)引用 标 准 名 录 (41)附 :条 文说 明 (43)21234Co n t e n t sGe n e r a l p r o v i s i o n s . ( 【 )Te r m s ? ( 2 Ba s l c r e q u l r e m e n t s 3 )Pr o c e s s 4)4.1 Ge n e r a l Fc q u i r e m c n t s ( 4 )4.
8、2 Ba s i c p r c e s s a n d p r d u e o o l l a b o r a t i n ( 4 )4.s Pr o c e s s l a y o u t ( 5 )4.在 Eq u i p m e n t La y o u t ( 5 )5 Si t e m a s t e r ( 6 )5.1 s i t e s e l e c t o n 6 )5.2 s i t e m a s t e r p l a n ( 6 )6 Ar c h i t e c t u r e d e s i g n ( 8 )6,1 Ge n e r a 1r e q u i
9、 r e m e n t s ( 8 6.2 Fi r e e v a c u a t i 。n 。. ( 8 )7 St r u c t u r e d e s i g n (107.l Ge n e r a l r e q u i r e m e n t s ( 1o )7.2 St r u c t u r a l d e s i g n (1o )8 Ut i t i e s a n d g a s q s (128,l Co o h n g a n d h Oa t i n g s o u Fc e ( 12)8.2 Bu l k 息a s e s s u p p l y ( 138.
10、3 s p e c i a l g a s e s s u p p l y (I4B。4 Ut i l i t i e s u p p l y , = ,. ( 16)9 Ie a t i n g ,v e n t i l a t i o n ,a i r c o n d h i 。n g a n d c l e a n i n g (18)39.1 Ge n e r a l r e q u i r e m e n t s (189.2 He a t i n g ,v e n t i l a t i o n a n d w a s t e g a s t r e a t m e n t ( 1
11、8 )9.3 Ai r c o n d i t i o n i n g a n d c l e a n i n g (20)9.4 s m o k e v e n t i n g (21)10 Wa t e r s u p p l y a n d d r a i n a g e (22)1o 1 Ge n e r a l r e q u i r e m e n t s (22)10.2 Ge n a r a 1Wa t e r (22)10.3 Pu r e w a t e r (23)1o ,4 Pr o c e s s c o 0h n g w a t e r (23)10 5 Wa s
12、t c w a t e r t r e a t r n e n t ( 24 )10,6 Fi r c p r o t e c t i o n (24)11 El e c t r i c a l d e s i g n (26)11.1 Po w e r u p p l y a n d i l l u n i n a t i o n (26)11.2 Ii g h t i n g p r 0t e c t i n g a n d g r 。u n d c o n n e c t i o n 27)11.3 Au t o m a t i c c o n t r o 1 ( 27 )11.4 Te
13、 l e c o m m v n i c a t i o n (28)11.5 s a f e t y p r o t e c t i o n ( 2812 An t 卜s t a t i c d e s i g n 30)12.1 Ge n e r a l r e q u i r e m c n t s ( 30)12.2 An t i -s t a t i c m e a s u r e s 30)12.3 An t i -s t a t i c g r u n d c o n n e c t i o n (32)13 Sp a c e 1n a n a g e m e n t (33)1
14、3,1 Gc n e r a l r e q u i r e m e n t s (33 )13,2 Pi p e h n e l a y o u t (33)Ap p e n d i x A Ty p i c a l r n a i n p r o d u c t i o n e n v i r o n m e n tf LED (35)Ap p e n d i x B Ty p i c a l u t i t i e s q u a h t y r e q u i r e m e n t so f LED (36)Ap p e n d i x C Ty p i c a l LED p r
15、o c e s s f l o w (38)4Ex p l a n a t i o n o f w o r d i n g i n t h i s c d e (40)Ii s t o f q u o t e d s t a n d a r d s (41)Ad d i t i o n :Ex p l a n a t i o n o f p r o v i s i o n s (4352术 语2.0.1 发光二极管 吒h t e m i t u n g 山。d e (LED)一种能够将 电能转化为可见光的固态半导体器件 。2.0.2 夕 卜 员 亟 e p i t a x y在单晶衬底(基片)
16、上生长一层或多层有一定要求 的、 与衬 底晶向相同或相似的单晶层 的生长技术 。2.0.3 金属有机化合物化学气相沉积 m e t a l -o r g a n i c c h e 汛c a lv a p o r d e p o s i t i o n (MOCVD)以族 、 族元素的金属有机化合物和V、族元素的氢化物等作为晶体生长原材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延9生长各种 -族 、 -族化合物半导体及其多元薄层单 晶材料的工艺过程。2.0.4 空间管理 s p a c e m a n a g e m e n t为有效利用空间、 缩短工作流程,对大到整个厂区的建筑物布局 、 地下管
17、线规划,小到一栋建筑物内部各个专业 间的配置协调而进行的设计 。a 募本 靶 霆 、 J 摭光亘极瞥工F设卦邂髀姓发窕二撅臂蜊堇产亚艺霎球.鼾鳙 鳓令扃氅产炭展豉生产工颟遨酶需霎瓯i 爹檠僻.饥显 发抬垦极管亚厂设莳应椒据墅严王艺筢靥点氵 菜用镟链环髁曲薪技术、 新设籍离 赫涮。s ,马 笤 鼗1蒴匕 重;溆吏臀I厂皂 受 ;虚引g i 葡嬴 E妻鏊“ 调诫粕 懿9贝韭 釉璧奎运行。 维髀管瘿刨造条擗可根据附录C所列的工艺流程确定 。4.2.2 生产的主要工序宜完整,辅助生产工序可通过外协方式完成。4.2.3 在工艺设计 中,根据外协的具体 内容及要求设置满足外部协作需要 的相关配套设施 。4
18、.2.4 工艺设计应满足发光二极管工厂的生产 、 辅助生产 、 管理和运营设施 、 劳动安全 、 职业卫生和环境保护等管理、 检测 、 教育和培训设施的设计要求。4。3工艺 区 划4.3.1 生产厂房 内的工艺功能区应依据生产的工艺流程,按照生产的基本工序进行划分,相同的工序宜集 中布置。典型的工艺流程可按照附录C设置。4.3.2 生产 厂房 内的工艺 区应 分别 设 置人 员 出人 口、 物 料 出人 口。4.3.3 工艺平面布置应设置设备搬人 口和设备搬人通道。4.3.4 生产区的参观设施,应与生产环境相隔离 。4.4设备 布 置4.4.1 振动敏感设备宜远离振动源布置 。4.4.2 生产
19、设备宜根据工艺流程 集 中布置,并考虑设 备搬运 、 维修空间。4.4.3 金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集 中布置 。4.4.4 气瓶柜 、 尾气处理设备、 气体纯化柜等金属有机化学气相沉积设各的辅助设各的布置方式,应符合现行 国家标准 建筑设计防火规范GB50016和 特种气体 系统工程技术规范GB50646的有关规定 。5总 图5.1厂址 选 择5.1.1 发光二极管工厂的厂址选择应按建设规模 、 原材料供应 、供电、 供水 、供气 、 工程地质和企业协作条件 、 场地现有设施 、 环境保护等因素进行技术经济 比较后确定 。5.1.2 厂址选择应符合下列规定:1 避免生产的
20、危险或有害因素对周边人群居住或活动环境造成污染与危害;2 避开空气经常受悬浮物污染 的地 区;3 场地应相对平整,距外界强振源较远 。5.1.3 厂址不应选择在下列地区:1 易受洪水 、 潮水 、 内涝威胁的区域;2 工程地质 、 水文复杂 的地带 和地震设 防烈度高于9度的地区;3 采矿陷落(错动)区界限内;4 重要的供水水源卫生保护区;5 级 自重湿陷性黄土 、 厚度大的新近堆积黄土 、 高压缩性的饱和黄土和 级膨胀土等工程地质地 区;6 有用矿藏地区。5.2 总平面布置5.2。I 发光二极管工厂总体规划,应符合所在地 区的区域规划 、城镇规划的要求 。5.2.2 总平面布置应符合下列规定
21、:1 主厂房宜根据生产工艺特点和各种功能区的要求,按组合6式 、 大体量的综合性厂房布置;2 厂区内生产区、 动力辅助区、 仓储 区和办公 、 生活区等功能区域应合理布置;3 有微振控制要求的洁净厂房总平面布置时,应考虑邻近存在较大振动的振源对精密设备 、 仪器的振动影响;4 工厂的动力设施宜集中布置并靠近工厂的负荷中心;5 厂区人流和物流的出人 口宜分开设置;原料物料的运输路线应短捷 、 方便,避免人流和物流之间的混杂和交叉 。5.2.3 厂区给水 、 排水 、 循环水及动力 电缆等管线宜选用地下敷设方式;厂区易燃可燃液体 、 燃气 、 热力 、 压缩空气及保护气体 、 通信信号电缆等管线宜
22、选用地上管架敷设方式;地上 、 地下管线的布置应符合现行国家标准 工业企业总平面设计规范GB50187的有关规定。5.2.4 厂区道路面层应选用整体性能好 、 发尘少的材料 。5.2.5 厂区应合理进行绿化,但不宜种植对生产环境和产品质量有影响的植物 。76建筑6.1一般 规 定6.1.1 发光二极管工厂可 曲生产 厂房 、 动力厂房 、 化学 品库 、 气站 、 仓库及办公楼等建筑组成。6.1.2 生产厂房的建筑平 面和空间布局,应根据生产 艺 、 工 艺改造和扩大生产规模的要求确定 。6.1.3 生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气密 、保温 、 隔热 、 防火、 防潮 、 防尘
23、 、 耐久、 易清洗等要求 。外围护结构及节点部位的内表面温度不应低于室内空气露点温度 。6.1.4 技术夹层 、 技术夹道应满足各种风管 和各 种动力管线 安装 、 维修要求 。穿越楼层 的竖 向管线需暗敷时,宜设置技术竖 井,其形式 、 尺寸和构造应满足风管 、 管线的安装 、 检修和防火要求 。6.1.5 厂房的平面布局和构造处理,宜避免人流 、 物流运输及防火对洁净生产环境带来不利的影响。生产辅助部 门等与生产密切联系的部门应尽量靠近生产区。6,1.6 厂房内宜设置工艺设备 、 动力设备 的搬人及运输安装通道;通道宽度应满足人员操作 、 物料运输 、 设备安装 、 检修的要求 。6.1
24、.7 厂房室内装修应符合现行 国家标准 建筑内部装修设计 防火规范GB50222和 电子I业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定。6.2 防火及安全疏散6.2.1 发光二极管工厂建筑 的耐火等级不应低于二级 。6.2.2 金属有机化合物化学气相沉积间的火灾危险性分类在满是下列条件时应按丙类,否则应按 甲类设防:87结 构7.1一般 规 定7.1.1 发光二极管工厂光刻机等精 密设备基础应满足微振动控制的要求。7.1.2 产生较大振动的设各基础宜远离光刻机等精密设备区域;当无法远离时,对产生较大振动的设备应采取有效的隔振措施 。7.1.3 生产厂房工艺生产区的结构不宜设置仲缩缝 。7.2结构
25、 设 计7.2.1 发光二极管生产厂房可根据工艺生产要求采用下列结构体系:I 单层排架结构体系;2 单层门式刚架钢结构体系;3 多层框架结构体系;4 多层框排架结构体系。7.2.2 精密设备基础宜避开厂房柱基础;无法避开时,应考虑厂房柱基础沉降引起精密设备基础的地基变形计算 。7.2.3 光刻机等精密设各基础在首层 的微振动控制应根据其特性,采取防微振措施,并应符合下列规定:1 首层应做钢筋混凝土地面,厚度不宜小于250m m ;2 设备基础厚度不宜小于800m m ,并应与首层 的钢筋混凝土地面连为一体;3 有冲击荷载的设备应远离光刻机等精密设备,且宜在有 冲击荷载设备的周边设置隔振沟;4
26、精密设备的基础安全等级应不低于二级 。107.2.4 楼层和屋顶的普通设各基础应符合下列规定:1 不宜采用整片的钢筋混凝土基础,宜根据设备支承点位置采用钢筋混凝土支墩或钢筋混凝土条形基础;2 设备基础不应跨越伸缩缝;3 设备基础宜布置在柱顶、 主梁或次梁上。7.2.5 应考虑楼层上设备的布置范围和运输安装区域的荷载,并对受此荷载影响的梁、 柱和基础根据正常使用极限状态和承载能力极限状态的要求进行验算。7.2.6 生产厂房楼层 、 屋顶应按照实际吊挂的管道 、 吊顶建筑做法等,计算吊挂荷载标准值,但不宜小于 0.50k N/m ?。7.2.7 用于吊挂管道的预埋件宜在钢筋混凝土梁的梁侧设置,应根
27、据水管的重量和吊挂点的间距验算预埋件的承载力。8 动力及气体工程8.1冷热源8.1.1 发光二极管工厂人工冷热源宜采用集 中设置的冷(热)水机组和供热 、 换热设备。机型和设备选择,应根据工厂所在地区的气候 、 能源结构 、 政 策 、 价格 及环保 规定,按下列 规 定综 合 比较确定:1 热源应优先采用城市 、 区域供热和工厂余热;2 具有城市工业燃气供应 的地 区,可采用燃气锅炉 、 燃气热水机组供热或燃气吸收式冷(热)水机组供冷 、 供热;3 工厂也可采用燃煤锅炉 、 燃油锅炉供热,电动压缩式冷水机组供冷或燃油吸收式冷(热)水机组供冷 、 供热;4 在夏热冬冷地区的办公楼 、 生活区可
28、采用空气源热泵或地源热泵冷(热)水机组供冷 、 供热 。8.I.2 同时需要供冷和供热时,冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组,并采用 自动控制的方式调节机组的供热量。8.1.3 冷热源设备台数和单 台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择,并应保证设备在高 、 低负荷工况下均能安全 、 高效运行 。8.1.4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时,可利用冷却塔作为冷源设备 。8.1.5 在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下,应加大冷冻水供 、 回水温差和提高冷水机组的出水温度 。8.1.6 当冷负荷变化较大时,经过经济技术 比较,冷源系统的部分或全部设备宜采用变频调速控制 。8.1.7 电动压缩
29、式冷水机组的装机容量应符合现行国家标准 工业建筑供暖通风与空气调节设计规范GB50019的有关规定 。 12 8.1.8 电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求,当采用过渡制冷剂时,其使用年限应符合相关要求 。8.1.9 燃油燃气锅炉应选用带 比例调节燃烧器的全 自动锅炉,且每台锅炉宜独立设置烟 囱,烟囱的高度应满足项 目环境评价文件的要求 ,并 应 符 合 现 行 国家标 准 锅 炉 大 气 污 染 物 排 放 标 准GB13271的有关规定 。8.1.10 锅炉排放的大气污染物,应符合大气污染物排放标准的要求 ,并 应 符 合 现 行 国 家 标 准 锅 炉 大 气 污 染 物 排
30、 放 标 准 GB13271和 大气污染物综合排放标准GB16297的有关规定 。8.2 大宗气体供应8.2.1 大宗气体管道系统设计应符合下列规定:1 大宗气体的供气方式应根据气体用量 、 气体品质和当地的供气状况等因素,经技术经济比较后确定;2 氢气 、 氧气管道的终端或最高点应设置放散管,放散管应引至室外并高出建筑的屋脊1m ,氢气放散管道上应设置阻火器;3 洁净室内的氢气管道应明敷,穿过洁净室的墙壁或楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不应有焊缝,套管与管道之间应采取密封措施;4 氢气管道不得穿过不使用氢气的房闾;当必须穿过时应设套管或使用双层管 。8.2.2 高纯气体管道设计应符合下
31、列规定:1 管径应按气体容许流量 、 压力或生产工艺设 备确定,管外径不宜小于6m m ;2 管道布置不应出现不易吹除的“盲管”等死空间;3 管道系统应设置吹扫口和取样口。8.2.3 设有氢气等可燃气体装置的气体纯化 间或气体入 口室的火灾危险性应按甲类确定,并应符合下列规定:1 应靠外墙设置,并应设置防爆泄压设施;132 氢气等可燃气体引入管道上应设置 自动切断阀;3 应具有机械通风装置,并应设置事故排风装置;4 应设置气体泄漏报舍装置,并应与事故排风装置联锁。8.2.4 大宗气体管道和阀门应根据生产工艺要求选择,并应符合下列规定:1 气体纯度大于或等于99.9999%时,宜采用 内壁电抛光
32、的奥氏体超低碳不锈钢管,阀门应采用隔膜阀、 波纹管阀;2 气体纯度大于或等于99,999%、露点低于-76时,宜采用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢管或内壁电抛光的低碳奥氏体不锈钢管,阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀;3 气体纯度大于或等于99.99%、露点低 于-60C时,宜采用内壁抛光的奥氏体不锈钢管,除可燃气体管道宜采用波纹管 阀外,其余气体管道可采用球阀;4 气体管道阀门、 附件的材质宜与相连接的管道材质一致。8.2.5 气体管道连接应符合下列规定:1 管道连接应采用焊接,不锈钢管宜采用 自动氩弧焊或等离子熔透对接焊;2 管道与设各或阀门的连接,宜采用表面密封的接头或双卡套,接头或双卡套的密封
33、材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫;3 管道与设备的连接应符合设备连接的要求,当采用软管连接时,应采用金属软管。8.3 特种气体供应8.3.1 特种气体应采用外购钢瓶气体 、 液态气体,在厂 内设置储存 、 分配系统 。8.3.2 特种气体储存分配系统设备,应根据特种气体的性质和储存数量布置在独立的建构筑物内,或布置在生产厂房内。8.3.3 特种气体系统的气瓶柜 、 气瓶架 的设置应符合下列规定:1 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中; 14 2 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房问里;当布置在同一房间时,不相容特种气体 的气瓶柜 、 气瓶架之 闾的距离应大于6m ;3 气瓶柜闭门时的
34、排风换气次数不得低于300次/h ,且气瓶柜应保持负压;4 自燃 、 可燃 、 毒性 、 腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄漏探测器;5 气瓶柜 门应具各 自动关 闭功能,并应配备 防爆玻璃观察窗;气瓶柜 应 采取抗 震措 施 ,设 计 应满 足 当地 抗震 设 防烈 度 的要求 。8.3.4 可燃 、 自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定:1 硅烷气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于1200次/b ,且应连续监控气瓶柜的负压;2 自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外 、 红外火焰探测器及水喷淋系统;3 可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统;4 自燃 、 可 燃 特 种 气 体 的气 瓶 柜 应 在 气
35、 瓶 之 间设 置 隔 离钢板。8.3.5 特种气体系统吹扫氮气的设置,应符合下列规定:1 特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接,不得与公用氮气或工 艺氮气系统相连;2 不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源;3 吹扫氮气管线应设置止田阀。8.3.6 特种气体排气与废气处理 的设置应符合下列规定:1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫;2 不相容性特种气体的排气不得接人同一排气主管;3 自燃 、 可燃 、 毒性 、 腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理装置进行处理,排放应符合现行国家标准 大气污染物综合排放标准GB16297的有关规定 。 15 8.3.7 生产厂房 内
36、的可燃和毒性特种气体管道应明敷,穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不得有焊缝,套管与管道之间应采用密封措施 。可燃 、 毒性 、 腐蚀性气体管道的机械连接处,应置于排风罩 内。8.3.8 特种气体和吹扫气体 的管道和管件应采用奥 氏体超低碳不锈钢无缝钢管,内表面应进行洁净和钝化处理 。8.3.9 自燃 、 可燃 、 氧化性特种气体管道,应设置静电泄放的接地设施。8.3.10 室外布置的特种气体管道应架空布置。8.3.1I 当特种气体为硅烷、 磷烷、 砷烷时,应采用双层管道设计。8.3.12 特种气体采用双层管输送时,双层管的外层管道宜采用SS304奥氏体不锈钢管道,内层管道应
37、与所输送特种气体的性质匹配 。8.4 动力气体供应8.4.1 干燥压缩空气系统应根据生产丁艺对供气量和供气 品质等因素确定,并应符合下列规定:I 干燥压缩空气系统 的供气规模应按生产I艺所需实际用气量及系统损耗量确定;2 供气设各可集 中布置在生产厂房 内的供气站或生产厂房外的综合动力站 内。8.4.2 风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防止冷却空气发生短路现象。8.4.3 当干燥压缩空气输送露点低于-76C时.可采用内壁电抛光不锈钢管;当干燥压缩空气输送露点低于厂40C时,应采用不锈钢管或镀锌碳钢管。8.4.4 压缩空气系统的管道设计应符合下列规定:I 压缩空气主管道的直径应按照全
38、 系统实际用气量进行设计,支干管道的直径应按照局部系统实际用气量进行设计,支管道 16 的直径应按照设各最大用气量进行设计;2 干燥压缩空气输送露点低于-40C时,用于管道连接的密封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片;3 当设计软管连接时,宜选用金属软管 。8.4.5 工艺真空系统的设计应符合下列规定:1 工艺真空设备的抽气能 力应按生产工艺所需实 际用气量及系统损耗量确定;2 工艺真空设 备 应 布置在生 产厂 房 内的一个或 多个供气站内;3 工艺真空 没备应选用能耗少 、 噪声低的设备;4 工艺真空设备应根据工 艺系统 的实际情况选用水环式或干式真空泵;5 工艺真空系统应设计真空压力过低
39、保护装置。8.4.6 工艺真空系统的管道设计应符合下列规定:1 工艺真空管路设计应布置成支状系统;2 I艺真空主管道的直径应按照全系统实际抽气量进行设计,支干管道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计,支管道的直径应按照设备最大抽气量进行设计;3 工艺真空系统的管道材料宜根据工艺真空 系统 的真空压力及真空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道;4 当设计软管连接时,宜选用金属软管 。8.4.7 清扫真空系统宜选用移动式清扫真空设备 。 17 9 供暖、 通风、 空气调节与净化9.1一般 规 定9.1.1 洁净室的空气洁净度等级 以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定 。9.1.2 洁净
40、室的气流组织应根据洁净度等级 、 生产工艺要求以及技术经济比较确定 。9.I.3 当出现下列情况之一时,空气净化调节系统宜分开设置:1 生产工艺中散发的物质对其他I序的产 品质量及人员安全卫生有影响;2 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室;3 净化空调系统和一般空调系统;4 洁净室内工艺设备发热 、 散湿量相差悬殊的洁净室;5 系统风量过大的净化空调系统 。9.1.4 洁净室 内的新风量应取下列两项 中的最大值:1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和;2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于在0m 3。9.1.5 洁净室与周 围的空间应保持静压差,静压差应符合下列规定:1 不
41、同等级 的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa ;2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa ;3 洁净室与室外的静压差应大于10Pa 。9.2 供暖、 通风与废气处理9.2.1 供暖设计应符合现行 国家标准 工业建筑供暖通风与空气调节设计规范GB50019的有关规定 。 18 9.2.2 洁净室内不应采用散热器供暖。9.2.3 寒冷和严 寒地 区各动力站房应 根据工艺 要求设 置值班供暖。9.2.4 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备,均应设局部排风装置,排风罩宜为密闭式 。9.2.5 排风系统的设计应符合下列规定:1 金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地 处理装置;2
42、酸 、 碱 排风应 独立设 置 系统,风机 的电机应按一级 负荷供电;3 工艺设各的排风系统应设置备用风机;4 有冷凝液产生 的酸、 碱排风系统 风管宜设置坡度和排 液口,且风管系统应采取防液体渗漏措施;5 金属有机化合物化学气相沉积设备 的排风系统应采取 防火 、 防爆措施;6 酸 、 碱 、 硅烷排风系统的风管不应穿越防火墙或通风 、 空气调节机房的隔墙和楼板,当必须穿越时,不得设置熔片式防火阀;7 酸 、 碱排风系统的风机应设在废气处理设备的下风侧;8 工艺设备的排风温度高于60C时,排风管应设保温措施;9 工艺设备局部排风系统的室外风管应根据 当地气象条仵设置防结露保温措施;10 洁净
43、室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施 。9.2.6 废气处理系统的设计,应符合下列规定:1 酸 、 碱废气不得采用固定床吸附剂方式处理;2 酸 、 碱废气宜采用淋洗方式处理,处理设备的填料层数 、 厚度和喷淋药液循环量应计算确定;处理设各的加药 、 补水和排污应采用 自动方式;处理设备宜就近设置 日用药箱;3 两台及两台以上废气处理设备并联运行时,应在每台设备的人 口设置 电动或气动密闭风阀; 19 4 寒冷地区或严寒地 区使用 的淋洗式废气处理装置应采取防冻措施。9.2.7 酸、 碱废气经处理后应经排气筒排人大气,排气筒高度应符合环境评估报告的要求,排气筒出口处风速宜大于或等于18m /
44、s ,并应符合现行国家标准 大气污染物综合排放标 准 GB16297的有关规定 。9.2.8 金属有机化合物化学气相沉积 间应设 置不低 于12次/h的事故排风。9.2.9 使用氢气房间的吊顶上部应设置通风换气措施,排风量宜为1次/h 2次/h ,吸 风 口上缘至顶棚平 面或屋顶的距离不应大于0.1m 。92.10 换鞋间应设置不低于10次/h 的全室排风系统,排风 口宜设置在下部;换鞋柜宜设置局部排风措施;一次更衣间宜设置不低于5次/h 的全室排风系统 。9.3 空气调节与净化9.3.1 净化空气调节系统的新风应进行集 中处理,新风处理机组的设置应符合下列规定:1 送风机应采取 自动调速措施
45、;2 空气宜经过粗效 、 中效 、 高效过滤器三级处理;3 新风处理机组应有 良好的气密性,在工作压力下的漏风率不得大于1%。9.3.2 光刻间净化空气调节 系统 的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理,其他 沽净室净化空气调节系统 的循环风宜采用循环空气处理机组处理 9.3.3 金属有机化合物化学气相沉积间的净化空气调节 系统应独立设置。9.3.4 循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气 。9.3.5 循环空气处理机组的风机应采取 自动调速措施 。 20 9.3.6 空调加热 、 加湿系统的设计应利于工厂余热的利用 。9.3.7 洁净室的送风量,应符合现行 国家标准 洁净厂房设计规范
46、GB50073的有关规定 。9.3.8 净化空气调节系统的新风吸人 口位置,应远离排放有害物或可燃物的排气口。9.3.9 洁净室的噪声控制设计 的噪声级(空态)应符合现行 国家标准 电子工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定,但当洁净室采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理循环空气时,单向流和混合流洁净室的噪声级(空态)不应大于70d B(A),非单 向流洁净室的噪声级(空态)不应大于65d B(A)。9.4 防 排 烟9.4.1 生产厂房中防烟楼梯间、 前室或合用前室宜设置 自然排烟设施,当不能满足 自然排烟要求时,应设置机械排烟系统。机械排烟系统的设置应符合现行国家标准 建筑设计 防火规
47、范GB50016的有关规定。9.4.2 生产厂房中不具各 自然排烟的疏散走廊,应设置机械排烟系统 。9.4.3 金属有机化合物化学气相沉积设备车间内应设置机械排烟系统,其他车问排烟系统的设置应符合现行国家标准 建筑设计防火规范GB50016和 电子工业 洁净厂房设计规范GB50472的有关规定 。9.4.4 洁净室(区)的排烟系统应有防止室外气流倒灌的措施,并应设置旁通管路用于平时巡检。9.4.5 洁净室(区内的排烟风管当使用产尘的保温材料进行 隔热时,应为具有双层金属板夹保温材料构造的成品保温风管,保温材料应符合现行国家标准 建筑设计 防火规范GB50016的有关规定,内层金属板的厚度应符合
48、现行 国家标准 通风与空调工程施工质量验收规范GB50243的有关规定 。2110给水 排 水10.1一般 规 定10.1.1 发光二极管工厂的给水排水设计 应符合现行 国家标 准 建筑给水排水设计 规范 GB50015的有关规定,并应符 合下列规定:1 设有技术夹层的发光二极管工厂,其厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层 内;2 洁净室内不宜穿过与该洁净室无关的给排水管道,当必须穿过时,应采取可靠的防渗漏 、 防结露措施 。10.1.2 废水管道不宜直接敷设 在首层结构板下,当必须直接敷设时,应采取可靠 的防渗漏措施 。10.2 一般给水排水10.2.1 应根据生产工艺对水质 、 水温 、
49、水压 、 水量 的要求确定给水系统。10.2.2 下列场所应设置紧急淋浴器或洗眼器:1 危险化学品储存 、 配置区域;2 可能产生化学品泄漏的区域;3 毒性 、 腐蚀性气体的特种气体间。10.2.3 紧急淋浴器或洗眼器 的服务半径不宜大于15m ,且服务半径内不应有障碍物 。10.2.4 给水 、 排水管道的管材应符合下列规定:1 给水管道的材质及接口应满足生产工艺对水质 、 水压 、 水温等的要求;2 排水管道的材质及接口应满足生产废水水质 的要求 。 22 IO。2.5 排水收集系统的设置应符合下列规定:1 生产废水 、 生活污水系统应分别设置;2 不同污染物的生产废水宜分别设置;3 废水
50、与废液应分别设置;4 含有砷及其他重金属污染物的废水应单独设置收集系统 。10.2.6 生产废水收集系统宜设置通气管,通气管应高出屋面2m 。10.2.7 雨水系统应符合现行 国家标准 电子工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定。10.2.8 洁净室(区)内地漏等排水设施 的设置,应符合现行 国家标准洁净厂房设计规范GB50073的有关规定 。10.2.9 厂 区化学品存储 、 分配、 收集、 卸货区域应设置事故排水的储存设施。10.2.10 当设有废水收集槽且采用提升泵输送废水时,废水提升泵宜设置应急备用电源。10.3 纯 水10.3.1 纯水系统的设计应符合现行 国家标准 电子工业
