1、 ICS 77.150.01H ?中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准GB/T靶材技术成熟度等级划分及定义Classification and definition of the technology readiness levels for targets（审定稿）-发布 -实施国 家 市 场 监 督 管 理 总 局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布前 言本 标 准 按 照 GB/T 1.1-2009给 出 的 规 则 起 草 。本 标 准 由 全 国 有 色 金 属 标 准 化 技 术 委 员 会 （ SAC/TC 243） 提 出 并 归 口 。本 标 准 负
2、责 起 草 单 位 ： 有 研 亿 金 新 材 料 有 限 公 司 、 有 色 金 属 技 术 经 济 研 究 院 、 宁 波 江 丰 电 子 材 料 股 份有 限 公 司 、 汉 能 移 动 能 源 控 股 集 团 、 贵 研 铂 业 股 份 有 限 公 司本 标 准 主 要 起 草 人 ： GB/T XXXX XXXX1靶材技术成熟度等级划分及定义1 范 围本 标 准 规 定 了 靶 材 技 术 成 熟 度 的 术 语 和 定 义 、 等 级 划 分 和 判 定 规 则 。本 标 准 适 用 于 靶 材 技 术 成 熟 度 评 价 。2 术 语 和 定 义下列术语和定义适用于本文件2.1
3、靶 材 target在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。2.2 技 术 成 熟 度 technology readiness 技术满足预期靶材应用目标的程度。2.3 技 术 成 熟 度 等 级 technology readiness level用于衡量技术满足预期应用目标程度的尺度。2.4 技 术 参 数 key technology parameter针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据，一般是指设计或生产时做出的性能测试报告。2.5 靶 材 样 品 target samples在实验室阶段，根据靶材设计要
4、求而制备的用于测试主要性能、结构和检验工艺性的实物，具备了靶材的部分特性。2.6 靶 材 试 制 品 target developed products 在靶材工程化阶段，考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下，对靶材关键性能和功能进行测试，通过小批量或小规模制备的实物。2.7 实 验 室 环 境 laboratory environments实验室的检测和校准设施以及环境条件，用于验证技术原理和使用功能。2.8 失 效 模 式 和 影 响 分 析 FMEA(failure mode and effect analysis)在产品、过程、设备的设计阶段，对构成产品、设备的子系统、零件，对构成
5、过程的各个工序逐一进行分析，找出所有潜在的失效模式，并分析其可能的后果，从而预先采取GB/T XXXX XXXX2必要的措施，以提高产品/设备的质量和可靠性的一种系统化的活动。2.9 模 拟 环 境 simulation environments模拟真实使用环境，用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能。2.10 使用环境 real environments靶材产品实际使用时的环境和工况。2.11 靶 材 产 品 target products在产业化阶段，生产工艺成熟，可批量生产，并能实现全部功能，完全满足预期使用目标的实物。4 靶 材 技 术 成 熟 度 等 级 划 分 及 定 义
6、 靶 材 技 术 成 熟 度 按 照 三 个 阶 段 分 为 十 个 等 级 ， 各 等 级 的 技 术 成 熟 度 见 表 1。4.1 靶 材 技 术 成 熟 度 等 级 划 分 及 定 义 见 表 1表 1 靶材技术成熟度等级界定等级 技术成熟度 阶段1 靶材设计和制备的基本概念、原理形成2 靶材的应用背景、使用环境、技术参数（成分、结构、微观组织、焊合率、内外部质量和图纸等） 、制造工艺和工艺设备等内容得到明确3 初步明确了靶材的实验室技术方案，将概念、原理实施于靶材制备和工艺控制中，并初步得到验证4 实验室制备工艺贯通，获得靶材样品，部分技术参数得到实验室环境验证。靶材技术应用的可行性
7、得到验证，提出了工程化转化实施方案实验室阶段5 靶材试制工艺流程贯通，获得靶材试制品，结构和性能通过实验室测试验证。对关键试制工艺进行了评估，进行了初步的故障模式及影响分析（FMEA）6 靶材试制品通过模拟环境验证，明确了关键生产工艺 7 靶材试制品通过使用环境验证，完成靶材试制工艺流程优化，全面演示了技术的工程可行性工程化阶段8 靶材产品通过用户测试和认定，生产线完整，形成产品和技术规范9 靶材产品经验证满足客户使用要求，能够稳定生产，满足质量一致性要求10 靶材产品生产要素得到优化，成批量稳定供货，制造过程达到 6 西格玛等级产业化阶段4.2 等 级 条 件4.2.1 等 级 1应 符 合
8、 表 2规 定表 2 等 级 1条 件序号 条件内容1 明确了靶材研发基础的基本概念和基本原理2 依据基本原理提出了靶材的基本组分、结构，并预测了基本性能及使用性能3 通过实验，观察到了基本原理，相关技术资料上也已公布了观察结果GB/T XXXX XXXX34.2.2 等 级 2应 符 合 表 3规 定表 3 等 级 2条 件序号 条件内容1 明确了靶材的应用背景和使用环境2 明确了靶材技术参数（成分、结构、微观组织、焊合率、内外部质量和图纸等）内容3 明确了靶材制造工艺和工艺设备等内容，提出了基本实验室技术方案4.2.3 等 级 3应 符 合 表 4规 定表 4 等 级 3条 件序号 条件内
9、容1 确定了靶材制备的实验室实施方案 2 完成了靶材样品制备的准备，原材料及相应的实验设备3 完成了靶材制备原理的验证4 明确了靶材结构与性能的测试内容与方法4.2.4 等 级 4应 符 合 表 5规 定表 5 等 级 4条 件序号 条件内容1 实现了实验室工艺贯通，制备出靶材样品2 完成了结构和主要性能的实验室环境测试3 部分测试结果满足关键技术指标要求4 靶材技术应用的可行性得到验证5 实验室工艺条件下保证靶材样品的实现性、稳定性和可重复性，提出了工程化转化实施方案4.2.5 等 级 5应 符 合 表 6规 定表 6 等 级 5条 件序号 条件内容1 试制工艺流程贯通，获得了靶材试制品2 靶材试制品的结构和性能通过实验室环境测试验证3 依据靶材工程化实施方案，开展系统集成的初步研究，对关键试制工艺进行了评估4 进行了初步的故障模式及影响分析（FMEA）或风险展开分析4.2.6 等 级 6应 符 合 表 7规 定表 7 等 级 6条 件序号 条件内容1 完成靶材试制品验证件的制备2 制定了完整的试验验证和测试方法3 试制品验证件通过了模拟环境测试，分
