1、统一书号：1580177 724定 价：15.00元UDC中华人民共和国国家标准PGB 50685-2011电子工业纯水系统设计规范Code for design of pure water system ofelectronic industry2011-05-12发布2012-05-01实 施联合发布中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准电子工业纯水系统设计规范Code for design of pure water system of electronic industryGB 50685-2011主编部门：中华人
2、民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2 0 1 2 年 5 月 1 日中 国 计 划 出 版 社2012 北 京中 华 人 民 共 和 国 住 房 和 城 乡 建 设 部 公 告第1028 号关于发布国家标准电子工业纯水系统设计规范的公告中华人民共和国国家标准电子工业纯水系统设计规范GB 50685-2011中国计划出版社出版(地址：北京市西城区木椰地北里甲11号国宏大厦C 座4层)(邮政编码：100038 电话：63906433 63996381)新华书店北京发行所发行北京世知印务有限公司印刷8501168毫米 1/32 2.5印张 63千字2012年2月
3、第1版 2012年2月第1欢印刷印数I6000册统一书号：1580177 724定价：15.00元现批准电子工业纯水系统设计规范为国家标准，编号为 GB 506852011,自2012年5月1日起实施。其中，第6 . 1 .8、 6.1.9、6.1.10,6.3.3、6.3.4,6.4.7条为强制性条文，必须严格 执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发 行。中华人民共和国住房和城乡建设部 二O 一年五月十二日前 言本规范是根据原建设部关于印发的通知(建标函2005124 号)的要 求，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会 同中国电子工程设计研究院、上海电子工程
4、设计研究院有限公司 和北京北方佳云净水设备有限公司共同编制完成。本规范在编制过程中，编制组认真贯彻国家基本建设方针和 有关环保、节水要求，在认真、全面调查我国电子工业纯水系统的 设计和使用现状的基础上，广泛征求国内各设计院、工程公司、生 产厂商和使用单位的意见，参考相关国际标准，最后经审查定稿。本规范共分8章和2个附录。主要内容包括：总则，术语，纯 水制备工艺，纯水输送和分配，纯水回收和节水，纯水站房，药品贮 存，计量和输送，控制及仪表等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解 释，由工业和信息化部负责日常管理，由信息产业电子第
5、十一设计 研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行 本规范过程中，请各单位结合技术进步和具体的工程实践，认真总 结积累经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和建议寄送信 息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司(地址：四川 省成都市新华大道双林路251号；邮政编码：610021;传真：028- 84333172),以便今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人：主 编 单 位 ：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份 有限公司1 1 参 编 单 位：中国电子工程设计院上海电子工程设计研究院有限公司北京北方佳云净水设备有限公司主 要 起 草 人 ：
6、 肖 劲 戈 路 振 福 樊 勖 昌 王 凌 旭 薛 长 立杜 宝 强 路 健 崔 淑 洁 龙 明 全 马 礼 飞黄 汉 新 周 小 莉 裴 志 华 李 希 云主 要 审 查 人 ： 周 可 可 林 耀 泽 毛 煜 林 罗 昌 责 杨 琦萧 百 宏 李 春 鞠 唐 世 权 王 春目 次1 总 则 (1)2 术 语 (2)3 纯 水 制 备 工 艺 (4)3.1 一般规定 (4)3.2 预处理 (5)3.3 脱盐及深度处理 (8)3.4 精处理 (11)3.5 特殊水质指标的技术措施 (11)3.6 水箱、水泵 (12)4 纯 水 输 送 和 分 配 (13)4.1 一 般规定 (13)4.2
7、管道设计 (14)5 纯 水 回 收 和 节 水 (16)5.1 一般规定 (16)5.2 纯水回收 (16)5.3 节水措施 (17)6 纯 水 站 房 (18)6.1 一 般规定 (18)6.2 设备布置 (19)6.3 管道布置 (20)6.4 土建 (21)6.5 电气 (22)6.6 采暖通风 (22)6.7 给水排水和消防 (23)7 药品贮存、计量和输送 (24)7.1 一般规定 (24)7.2 酸、碱及盐 (24)8 控制及仪表 (26)8.1 一般规定 (26)8.2 纯水系统监控系统设计选型 (26)8.3 现场控制系统及集中监控系统设计 (27)8.4 仪表设置 (28)
8、附录 A 水质全分析报告 (29)附录 B 离子交换器设计参数 (30)本规范用词说明 (34)引用标准名录 (35)附：条文说明 (37)Contents1 General provisions (1)2 Terms (2)3 Pure water preparation process (4)3.1 General requirement (4)3.2 Pretreatment (5)3.3 Desalting and deep treatment (8)3.4 Fine treatment(Polishing) (1133.5 Technica measures for special
9、water quality index (11)3.6 Water tank and water pump (12)4 Pure water supply and distribution (13)4.1 General requirement (13)4.2 Piping desigh (14)5 Pure water reclaim and water saving (16)5.1 General reguirement (15)5.2 Pare water seclaim (15)5.3 Water saving measare (17)6 Pure water plant (18)6.
10、1 General requirement (18)6.2 Equipment layous (19)6,3 Piping layout (20)6.4 Constretion (21)6.5 Eleetrical (22)6.6 Heating and vehtilation (22)6.7 Water supply and draisage, fire fighting (23) 第 4 7 Chemical storage, metcring and transfer (24)7.1 General requirement (24)7.2 Acid, alkaline and salt
11、(24)8 Control and instrumentation (26)8.1 General requirement (26)8.2 Design and seleetion of monitoring system for purewater plant (26)8.3 Design of site control system and central monitoringsystem (27)8.4 Instrument setup (28)Appendix A Water quality full analysis report (29)Appendix B Ion exchang
12、er design parameters (30)Explanation of wording in this code (34)List of quoted standards (35)Addition:Explanation of provisions (37)1 总 则1.0.1 为确保电子工业纯水系统出水满足电子产品生产工艺要求，确保电子工业纯水系统的设计做到技术先进、安全适用、经济 合理、操作方便，制定本规范。1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业纯水系统的工程设计。1.0.3 电子工业纯水系统设计应贯彻执行国家的技术经济政策，合理选择水源，节约能源，节约用水，节约用地，
13、保护环境，安全卫 生，提高经济效益。1.0.4 电子工业纯水系统设计应根据主体工程建设规划、生产特点等综合确定，并应经技术经济比较，择优确定设计方案。当主体 工程为分期建设时，纯水系统应按最终容量(规模)统一规划、合理 布局、分期实施1.0.5 电子工业纯水系统的设计应为施工安装、维护管理、检修、检(监)测和安全运行创造必要的条件。1.0.6 电子工业纯水系统的改建、扩建设计，应合理利用、改造原有设施。1.0.7 纯水回收和节水设施宜与纯水制备系统统筹规划，并宜同时设计、同时施工、同时投运。1.0.8 纯水系统排放的废水，应达到国家和地方排放标准后再排放 。1.0.9 电子工业纯水系统的工程设
14、计，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。2 术 语2.0.1 电子工业纯水 pure water for electronic industry电子工业生产所需的纯化水的通称，根据生产需要的水质去除生产所不希望保留的各种离子以及其他杂质的水。2.0.2 电子工业纯水系统 pure water system for electronicindustry制取和配送用于电子工业生产纯水的系统，通常包括纯水制备、纯水的输送和分配、纯水的回收和处理的系统。2.0.3 软化水 soft water除掉部分或全部钙、镁离子等后的水。2.0.4 淤塞指数(SDI) silt density in
15、dex保证反渗透正常运行的进水水质重要指标，它通过被测水样对0.45um 滤膜的淤塞程度间接表征造成反渗透膜面堵塞的水中微量悬浮物、胶体的含量，又称污染指数FI。2.0.5 电 阻 率 resistivity度量水溶液阻止电流通过的能力，等于在一定温度下， 一对截面积为 1cm 的电极在1cm 距离间的电阻值，其单位为 cm 或 M cm。2.0.6 电 导 率 condactivity度量水溶液导电的能力，等于电阻率的倒数，其单位为s/cm或 s/cm。2.0.7 总有机碳(TOC) total organic carbon水中溶解性和悬浮性有机物中碳的总量，反映水中有机物含量的指标。2.0
16、.8 微 滤(MF) microfitration通常指在外压作用下，利用筛网状过滤介质膜的“筛分”作用进行分离的膜分离技术。.2 2.0.9 超 滤(UF) ultrafiltration通常指在外压作用下，利用非对称性膜去除水中亚微米悬浮 物的膜分离技术。超滤能截留分子量范围为几百至几百万的溶质 和微粒，多为大分子有机物和胶体。2.0.10 反渗透(RO) reverse osmosis在外加压力作用下，利用一种半透性薄膜使水分子和其他一 些物质选择性透过，从而将绝大部分悬浮物和绝大部分溶解固形 物(盐)截留去除的膜分离技术。2.0.11 电脱盐(EDI) eleetrodeionizat
17、ion一种利用装填阳、阴混合离子交换树脂或离子交换无纺布，在 直流电场作用下连续去除水中离子而不需要专门再生的除盐装置 的统称。2.0.12 紫外线杀菌 UV sterilization通过波长254nm 的紫外线照射杀灭水中的活菌为紫外线杀 菌装置。2.0.13 紫外线除有机碳 UV-TOC Removal通过波长185nm 的紫外线照射分解纯水中的微量 TOC 为 紫外线除 TOC 装置。2.0.14 膜脱气装置(MDG) membrane degasifier利用膜分离技术降低水中挥发性溶解物质的装置，在电子工业纯水系统中主要是脱除纯水中的溶解氧。2.0.15 供水环路 distribu
18、tion loop为保证电子工业最终使用点的纯水水质和水压而采用的有附 加循环水量的不间断供水方式：最终使用点用水取自从终端过滤 器到纯水水箱之间的闭合供水环路。供水环路一般由纯水精处理 系统和供、回水管路共同组成。2.0.16 背压调节阀组 back pressure regulation agit设于纯水回水管路末端，通过调节阀通径大小的变化来维持。 调节纯水供回水管路压力的调节阀组。 3 3 纯水制备工艺3.1 一 般 规 定3.1.1 电子工业纯水系统应根据电子产品生产工艺要求，合理确 定纯水制备系统的规模和供水水质。3.1.2 电子工业纯水系统制水流程和设备的选择应根据对纯水 水质的
19、要求、原水水质以及运行管理水平，并结合处理效果、原水 的利用率、节能、环保等因素，经技术经济比较确定。3.1.3 电子工业纯水系统应根据最终产品水水质要求选择简捷、 有效的处理流程和可靠的处理设备。3.1.4 纯水站的产水量应根据各类产品水量加系统自用水量确定。3.1.5 电子工业纯水系统设计前应取得全部可利用水源的水质 全分析资料，并应选择有代表性的水质分析资料作为设计依据。 水质全分析报告格式应符合本规范附录 A 的要求。水质资料的 获取应符合下列要求：1 水源为地表水时宜取得全年逐月水质资料。2 水源为地下水时宜取得全年每季的水质资料。3 当无法得到逐月或逐季资料时，应掌握水质随季节的变
20、化规律。3.1.6 对可能受到海水倒灌或其他因素影响的水源，应掌握由此 而引起的水质变化情况。对于来自生产过程中的回用水，应掌握 其来源与组成。3.1.7 电子工业纯水制备系统应由预处理、脱盐及深度处理和精 处理组成，各阶段达到的目标应符合下列要求：1 预处理阶段水质应满足脱盐装置进水水质的要求。2 脱盐及深度处理阶段产水水质应接近最终产水水质要求。 4 3 精处理阶段应保证不间断地满足最终产水水质、水量和水 压等要求，3.1.8 系统设计中每个水处理装置的出水水质应满足后续处理 装置的进水水质要求，水处理装置的进水水质应根据制水设备的 要求确定。水质要求较高或有多项水质指标时尚应符合最终水质
21、 的要求。3.2 预 处 理3.2.1 预处理系统需要达到的水质指标应根据所选脱盐装置的 进水水质要求确定，缺乏资料时可按表3.2.1选择。脱盐处理单 元采用反渗透工艺时，预处理系统应根据水质特点采取有效防止结 垢等化学污染，以及防止生物、有机物及铁锰金属离子等污染的措施。表3.2.1 离子交换、电渗析、反渗透及电除盐装置进水水质要求项 目离子交换电渗析反渗透电除盐SDI55浊度对流再生21.01顺流再生5水温()5401540535540pH21159CODma(mg/L)2*2330.5(TOC计)游离氯(mg/L)(以Cl表示)0.10.30.10.05含铁量(mg/L)(以Fe表示)0
22、.30.30.050.01含锰量(mg/L)(以Mn表示)0.1(两项合计)总硬度(mg/L)(以CaCO表示)1总含盐量(mg/L)1025二氧化硅(mg/L)0.5注：1 强碱型树脂、丙烯酸树脂的进水水温不应大于35,2 指对凝胶型强碱阴离子交换树脂的要求。3.2.2 原水浊度较高时宜采用凝聚澄清过滤工艺，设计参数可按 现行国家标准室外给水设计规范GB 50013的有关规定执行；原5 水采用含低密度、疏水性悬浮物较高的地面水水源时，宜加设气浮分离工艺；原水采用城市自来水时，宜采用微絮凝过滤、微滤或超滤等处理工艺。纯水系统预处理设计应符合下列要求：1. 过滤器的设计产水量应包括后续处理装置要
23、求的供水量及过滤器的自耗水量。过滤器台数不宜少于2台。2 过滤器的过滤周期应根据进出口水质、滤料截污能力等因素确定。每台设备每昼夜反洗次数宜为1次2次。3 絮凝剂的选用和加药量的确定应根据进水浊度、水温、pH值及碱度等因素的影响，以及相似水质的工程运行经验或试验资料，经技术经济比较后确定。4 絮凝剂投加点宜设置于原水加压泵吸入段或在进入过滤器前设置静态混合器。5 微絮凝聚过滤的过滤器的设计参数可根据表3.2.2-1的要求选用，过滤器采用气水反洗时设计参数可根据表3.2.2-2 的要求选用。6 采用微滤、超滤除浊时，应采取完善的自动反洗和化学清洗措施。微滤、超滤前宜设置预过滤器，其过滤精度可根据
24、所选用的微滤和超滤产品的进水水质要求确定。7 微滤、超滤和活性炭过滤并用时，活性炭过滤应置于微滤、超滤之后。表3.2.2-1 微絮凝聚过滤器的设计参数序号过滤器类别滤 料滤速(m/h)反 洗粒径(mm)不均匀系数(Ko)床高(m)强度(L/s m)历时 (min)1级配石英砂dmin=0.35 dmx=0.52.00.70.86.51415682双层 滤料无烟煤dmm=0.8 dmx=1.21.50.479151678石英砂dmin=0.4 dmax=0.81.50.43均质石英砂dmn=0.9 dmax=1.21.31.61.11.27.58.51415686 表3.2.2-2 气水反洗过滤
25、器设计参数序号过滤器类别先气冲洗气水同时冲洗后水冲洗强度 (L/s m)历时 (min)气强度 (L/s m)水强度 (L/s m)历时 (min)强度 (L/s m)历时 (min)1级配石英砂1218311218344379752双层滤料1520316.510653均质石英砂1317211317344348853.2.3 原水中铁锰含量不能满足后续装置进水要求时，应采取除 铁锰措施，设计参数可按现行国家标准室外给水设计规范 GB 50013的有关规定执行。3.2.4 活性炭过滤器应根据进水水质、处理要求和活性炭的种类 进行设计。活性炭过滤器的设计参数可按表3.2.4的要求确定。 活性炭过滤
26、器用于去除游离余氯时，可取较高滤速；去除有机物 时，可取较低滤速。表3.2.4 活性炭过滤器设计参数项 目滤料粒径(mm)滤层高度(mm)滤速(m/h)反洗强度 (m/h反洗历时 (min)参数0.81.2900200081620245153.2.5 防止反渗透膜结垢的设计应符合下列要求：1 采用投加阻垢剂防止反渗透设备结垢时，应根据原水水质 和药剂的技术说明选择药剂品种和投加量。2 采用钠离子交换软化或复床式离子交换降低原水的硬度 和碱度时，离子交换器的设计参数可按本规范附录 B 的要求选 用。3 采用调节pH 值降低碳酸盐硬度时，宜采用盐酸。3.2.6 采用药剂氧化法降低有机物和抑制微生物
27、时，其加氯量应 根据原水中的有机物含量计算。对经过混凝沉淀及过滤处理后的 原水或清净的地下水，加氯量可采用0.5mg/L1.0mg/L。3.2.7 原水经氧化处理或原水余氯含量超过后续处理装置的进7 水要求时，应采用活性炭吸附或投加还原剂等方法进行脱氯处理。3.2.8 当冬季原水水温较低时进入反渗透装置前是否提高水温，应根据制水量、产品水的水温要求、热源供应及加热成本等因素综合比较确定。当选择换热设备时，宜采用板式换热器。其设置位置应根据预处理各单元装置对水温的要求确定。3.3 脱盐及深度处理3.3.1 脱盐系统的选择应根据处理水量、进出水质的要求，经技 术经济比较确定。当产品水对微粒、TOC
28、 等水质指标有要求时， 宜选反渗透处理工艺。3.3.2 反渗透装置的设置应符合下列要求：1 反渗透装置不宜少于2套，每套反渗透装置的保安过滤器、反渗透给水泵宜独立设置。2 反渗透装置前应设置过滤精度不小于5 m 的保安过滤器，并应设置清洗设施。3 反渗透装置应有流量、压力、温度等控制措施。反渗透高压泵进口应设置低压保护开关，出口应设置止回阀和高压保护开关。反渗透装置宜采用高压泵变频启动或在高压水泵出口设置电动慢开阀门等稳压装置。当几台反渗透装置出水并联连接时，每台装置出水管上应设置止回阀。反渗透装置出口背压应符合所选用膜件的设计要求。4 反渗透装置宜按连续运行设计，停运时应采取冲洗保护措施。5
29、 反渗透装置在线化学清洗应能逐段单独进行。在线清洗装置宜设加热装置。6 保安过滤器、反渗透高压泵宜选用不锈钢材质。7 采用两级反渗透时，进入第二级反渗透之前宜作 pH 调节。3.3.3 离子交换装置的设置应符合下列要求：8 1 当水质较稳定、出水量不大时，初级处理系统中阳、阴离子 交换器应采用单元制串联系统，且阴离子交换器的树脂装填量应 为计算值加10%15%的裕量。2 当进水水质变化较大、出水量大时，初级处理系统中阳、阴 离子交换器宜采用母管并联制系统，每台离子交换器进出口应设 置手动隔离阀。3 离子交换除盐系统中顺流再生固定床、逆流再生固定床、 浮动床、双层床和满室床的选用，应根据处理水量
30、、进水水质条件 和出水水质要求进行技术经济比较后确定。浮动床宜用于制水量 大、连续运行的系统。4 使用强酸、强碱离子交换树脂的初级复床除盐有关床型适 用进出水水质，可按表3.3.3的要求确定。采用弱型树脂与强型 树脂串联工艺或用双层床组成复床时，系统进水水质条件可放宽， 具体适用的进水水质条件应通过技术经济比较确定。5 弱酸、弱碱离子交换树脂的使用应根据进水水质条件合理 选择。当碳酸盐硬度较高、碳酸盐硬度与总阳离子之比大于0.5 时，宜采用弱酸阳离子交换树脂；当强酸阴离子含量大于2mmol/L、 强酸阴离子与弱酸阴离子之比大于2或有机物含量高时，宜采用 弱碱阴离子交换树脂。在强、弱型离子交换树
31、脂层高合适时，可选 用双层床或双室离子交换器。6 离子交换树脂的工艺性能数据应根据设计工况条件，按树 脂生产厂家提供的产品性能参数或类似设计工况条件下的实际运 行资料确定。必要时也可通过模拟试验确定。7 离子交换装置的设计参数可按本规范附录 B 的要求设 计。8 阳、阴离子交换器工作周期宜按每昼夜再生1次2次设 计 。9 采用强酸、强碱离子交换树脂的固定床交换器，交换器的 再生方式应经技术经济比较确定。当进水总含盐量大于150mg/L、 9 总阳离子含量大于100mg/L(CaCO)、 强酸阴离子含量大于100mg/L(CaCO) 时，宜采用逆流再生方式。10 离子交换器的交换树脂层高，应通过
32、计算确定，树脂层高度不宜低于1.0m。 混合离子交换器的阳、阴树脂比例宜为1:2。11 无石英砂垫层的离子交换器出口应设置树脂捕捉器。12 采用双室床、浮动床或满室床离子交换器时，应分别设置阳、阴离子交换树脂清洗罐。表3.3.3 初级复床离子交换器进出水水质设备名称进水水质出水水质含盐量(mg/L)总阳离子 mg/L(CaCO)强酸阴离子 mg/L(CaCO)电导率 (S/cm)顺流再生固定床1501005010逆流再生固定床5003502005浮动床3005001002005012553.3.4 二氧化碳器或真空除气器的填料层高度，应根据填料品种 和尺寸，进、出水二氧化碳含量，水温以及所选定
33、淋洒密度下的实 际解析系数等因素经计算确定。3.3.5 电脱盐装置的设置应符合下列要求；1 电脱盐装置的进水水质要求应根据设备要求确定，缺乏资料时，可按本规范表3.2.1的要求确定。2 电脱盐装置不宜少于2套，其浓水宜回收至反渗透系统进水。3.3.6 深度脱盐的混合床离子交换器，宜采用氮气混合离子交换树脂。3.3.7 脱氧膜设备和纯水储罐气封氮气的纯度，不应低于99.999%。3.3.8 紫外线灭菌器后应安装灭活细菌过滤器，过滤精度不宜低于0.45m。TOC UV后应设置混床离子交换器或抛光混床离子交换器。10 3,4 精 处 理3.4.1 最终纯水水质要求较高时，精处理系统应与车间供水管道
34、构成循环供水系统。3.4.2 系统设备的设计流量应按产水量与循环附加流量之和计算。3.4.3 精处理混合床应符合下列要求；1 应采用非再生式离子交换树脂。2 离子交换树脂应根据水质要求选择。3 离子交换器滤速宜为40m/h60m/h,3.4.4 最终用水有不同水温要求时，应在精混床后分别换热供 水，热纯水回水应进行降温处理。3.4.5 精处理系统的最终出水管上应根据水质要求设置相应的 在线水质监测仪表。未配置在线水质监测仪表时，应备有采样口。3.5 特殊水质指标的技术措施3.5.1 纯水水质对微粒、总有机碳、细菌、溶解氧、二氧化硅及硼 等特殊指标有要求时，系统的各个处理单元的设置中除应满足后
35、续设备的进水水质要求外，还应满足对特殊指标的处理要求。3.5.2 纯水水质对TOC 有要求时，应根据水质要求采用下列措施：1 在初级处理系统中应设置反渗透装置。2 要求TOC 小于20g/L50g/L 时，应设置紫外线除有 机物装置。3 应采用低 TOC 析出的离子交换树脂、管道、阀门及设备 材料。3.5.3 纯水水质含有溶解氧指标时，系统中应设置脱氧装置，其 后所设的水箱均应采取氮封措施。脱氧装置宜采用膜脱气，并应 根据水质要求经技术经济比较确定采用一处脱气处理或多处脱气 11 处理。3.5.4 最终微粒粒径要求不小于0.1m 时，应在精处理阶段设 置微孔过滤，要求小于0.1 m 时，宜设置
36、超滤。3.5.5 产品水水质指标有二氧化硅含量要求时，系统设计应采取 凝聚过滤、活性炭吸附、微滤、超滤、反渗透、电脱盐、离子交换等除 硅措施。系统中的强碱阴离子交换器和混合床宜按出水硅含量控 制交换终点，阴离子交换树脂再生碱液宜加热，加热温度可为 3550。3.6 水箱、水泵3.6.1 纯水制备系统的水箱材质选择应满足所贮存水的水质要 求。水箱容积宜按下列要求确定：1 原水箱、中继水箱容积宜满足连续运行的最大一台水泵 2h3h 出力要求，同时应满足单台设备反洗或清洗一次的用水量 要求。2 除盐水箱、软化水箱总容积应满足使用点的用水量要求。 水箱总容积宜大于1h 的耗水量要求，同时应满足工艺系统
37、需要的 最大一次自用水量的要求。3 除二氧化碳装置的水箱有效容积，单元串联系统宜为本单 元设备出力的5min 贮水量，且不宜小于2m; 并联系统宜为并联 设备总出力的15min30min 贮水量，水量大时可设多台水箱及 除碳器。3.6.2 纯水制造系统过程中水的电阻率较高、防止二氧化碳溶入 水中或有溶解氧要求时，水箱宜设置氮封保护。设置氮封保护的 水箱溢流口应采取隔绝空气的措施。3.6.3 氮封装置的供气量应大于或等于对应水泵组的最大输水 量。氮封压力值可取0.0005MPa0.001MPa (表压)。3.6.4 纯水供水泵宜采用变频水泵。纯水使用点压力要求较高 或输配管路较长时，宜加设中继泵
38、。 12 4 纯水输送和分配4.1 一 般 规 定4.1.1 电子工业纯水的输配管路形式应根据供水水量、纯水水 质、用水设备布置，以及使用点水压稳定性要求，结合技术经济比 较选择同程式输配系统、异程式输配系统或单管循环等输配水方 式，并宜符合下列要求：1 对于小型纯水输配系统，当输水主管管径小于DN50 且不 超过15个用水点，对纯水水质要求不高或用水设备自身无回水要 求时，宜采用单管循环输配系统。2 对于大、中型纯水输配系统，水质要求较高但用水点对供 水水压稳定性要求不严格，或用水点数不多且便于手动调节时，宜 采用异程式输配系统。3 对于大、中型纯水输配系统，水质要求高且用水点对供水 水压稳
39、定性要求严格，或用水点数多且不便于手动调节时，宜采用 同程式输配系统。4.1.2 管道、阀门、附件的选用应与纯水水质相匹配，并应满足纯 水系统的使用条件，同时应与纯水系统的使用温度、消毒方式等相 适应。4.1.3 纯水输配管路根据不同纯水水质及使用条件要求可选择 不锈钢管、聚氯乙烯、聚丙烯、洁净聚氯乙烯或聚偏二氟乙烯等管 材。在纯水输配系统的某些部位，聚氯乙烯、聚丙烯、洁净聚氯乙 烯或聚偏二氟乙烯等塑性管材不能满足强度和使用温度的要求 时，可选择相应的不锈钢管材。4.1.4 与纯水直接接触的设备内表面应光洁、平整，化学性质应 稳定、耐腐蚀、易清洗、易消毒。 134.1.5 纯水输配系统的工作压
40、力不得大于国家现行有关产品标准标称的允许工作压力。4.1.6 热纯水的使用应根据水量和使用点的分布特点结合技 术经济比较确定，可选择集中加热或使用点就地加热的方式供 给 。4.2 管 道 设 计4.2.1 纯水供、回水管路应采用架空敷设，并应做到安全可靠、 经济合理、整齐美观，同时应满足施工、操作、维修等方面的要 求 。4.2.2 管道穿过建筑物楼板或墙面时，应加套管，套管与管道间 的空隙应密封。管道上的焊缝不应在套管内，距离套管端部不应 小于150mm。 套管应高出楼板50mm。4.2.3 管道不应穿过防火墙或防爆墙；必须穿过防火墙或防爆墙 时，应采取确保防火墙或防爆墙的既有功能又不受影响的措施。4.2.4 纯水管路系统的布置应使管道系统具有必要的柔性。管 路系统的热胀冷缩宜利用管道的自然形状达到自然补偿。4.2.5 纯水管路系统采用独立设置的供、回水管路时，应保证每 个用水点有适当的压差。4.2.6 纯水管路系统的设计应避免死水滞留。死水滞留不可避 免时，滞留段长度不宜大于管道公称直径的3倍。4.2.7 纯水管路系统循环供水应符合下列要求：1 循环附加水量宜为使用水量的20%50%。2 纯水供水管路流速不宣小于1 .5m/s, 回水管路流速不宣小于
