1、 敬请参阅末页重要声明及评级说明 证券研究报告 HJT 渐行渐近，设备厂商入局开启倒计时 HJT 商业化思考与跟踪系列（三） Table_IndNameRptType 专用设备专用设备 行业研究/行业点评 行业评级：增持行业评级：增持 报告日期： 2021-09-16 Table_Chart 行业指数与沪深行业指数与沪深 300 走势比较走势比较 Table_Author 分析师：郭倩倩分析师：郭倩倩 执业证书号：S0010520080005 邮箱： 分析师：范云浩分析师：范云浩 执业证书号：S0010520070002 邮箱： Table_Report 相关报告相关报告 1.关于 HJT 商
2、业化近期思考与跟踪 （一） 2021-06-14 2.复盘 PERC，看 HJT 商业商业化 落地进度HJT 商业化系列专题 报告（二） 2021-07-02 主要观点：主要观点： Table_Summary H HJTJT 降本降本路径清晰， 有望加快进入扩产阶段， 设备认证窗口期路径清晰， 有望加快进入扩产阶段， 设备认证窗口期开启倒开启倒 计时计时。根据 Solarzoom 数据，目前 HJT 生产成本约为 0.9 元/W，相比 于 PERC 仍高出约 0.2 元/W。短期来看，经我们测算，国产化银浆的 应用和“银包铜”技术推广有望在 2022 年助力 HJT 降本约 0.165 元 /
3、W，快速缩小与 PERC 之间的成本差距；长期来看，硅片薄型化、 NP 同价趋势和设备降本会共同促进 HJT 进入产能爆发期。我们认 为，未来 HJT 进入扩产阶段，设备、工艺都将趋于成熟，HJT 设备的 革新升级都将基于一定的技术储备和客户基础上进行， 后入者面临更 高的客户认证壁垒和技术壁垒， 难以轻易切入设备供应链， 领先厂商 的市场份额将持续扩大。 从从制造端设备选型来看，迈为、钧石、理想是目前核心层沉积环节的制造端设备选型来看，迈为、钧石、理想是目前核心层沉积环节的 首选首选。全市场仅迈为、捷佳、钧石、理想万里晖具备整线整合能力， 其中迈为相对更加成熟。 从量产经验角度看：从量产经验
4、角度看： 只有迈为和钧石整线 经过量产验证， 分别是华晟一期和福建钜能的早期项目； 从从 HJTHJT 全全 流程设备布局来看：流程设备布局来看： 只有迈为 （清洗制绒参股启威星引进 YAC 技术） 和捷佳完成整线布局，清洗制绒、丝网印刷环节设备相对成熟，分别 是捷佳、迈为优势领域，而钧石、理想获得资本市场加持相对较少， 在战略选择上集中有限资源，聚焦于镀膜环节；从产业生态来看：从产业生态来看： 迈为积极推动 HJT 全产业链生态建设，加强与各环节协同合作，设 备适配度相对较高。我们梳理了 2021 年初以来，新增 HJT 投资规划 的设备采购以及新建 HJT 产线的设备选型情况， 根据产能占
5、比估算， 迈为股份凭借整线整合经验以及核心设备成熟度优势， 占据了核心镀 膜环节超过 55%的市场份额。 从技术特色角度看，从技术特色角度看，具备更具备更大产能、大产能、更更低低综合综合成本成本的的 P PECVDECVD 是是电池电池 片片厂商主流选择，各家厂商主流选择，各家 P PECVDECVD 设备设备均有独均有独特的特的产品设计产品设计理念理念。 PECVD 是 HJT 核心层沉积环节的主流选择，一方面，其生产节拍不 断优化，大产能升级潜力可适应大规模量产；另一方面，具备相对综 合成本优势， 包含占地面积、 嫁动率、 设备利用率、 清理维护等因素。 从设备结构来看，PECVD 可简单
6、分为单腔管式、多腔板式（含线列 式和团簇式两种） 。综合考虑电路控制、硅片损伤、成膜速率、钝化 效果、镀膜质量（均匀性、致密性）等因素，目前 HJT 板式 PECVD 的开发投入力度更强、下游应用更多，管式设备在成膜均匀性、防止 硅片损伤等方面仍有待优化。 投资建议投资建议 建议关注电池片核心设备企业迈为股份、 捷佳纬创、 金辰股份； 激光、 -13% -2% 9% 20% 30% 41% 9/2012/203/216/219/21 专用设备沪深300 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 2 /
7、 14 证券研究报告 硅片、组件设备龙头企业帝尔激光、晶盛机电、奥特维。 风险提示风险提示 硅料、其他原材料价格持续上涨，压制中游扩产、下游装机；新型高 效电池技术商业化降本不及预期； 异质结电池量产光电转化效率提升 不及预期。 建议关注建议关注公司盈利预测与评级：公司盈利预测与评级： 公司公司 EPS（元）（元） PE 评级评级 2020A 2021E 2022E 2020A 2021E 2022E 迈为股份 7.58 11.02 15.56 86.42 59.44 42.10 买入 捷佳伟创 1.63 2.67 3.61 94.43 57.62 42.64 金辰股份 0.78 1.21 1
8、.80 204.59 131.90 88.77 晶盛机电 0.67 1.13 1.57 106.75 63.05 45.52 双良节能 0.08 0.17 0.35 136.54 69.17 32.73 帝尔激光 3.53 4.05 5.10 45.48 39.68 31.46 奥特维 1.76 2.97 4.23 124.43 73.80 51.77 资料来源：wind，华安证券研究所 备注：除迈为股份，其他公司预测使用 wind 一致预期 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 3 / 14 证
9、券研究报告 正文目录正文目录 1 异质结商业化爆发前夕，设备认证窗口期倒计时异质结商业化爆发前夕，设备认证窗口期倒计时 . 5 2 从制造端设备选型来看，迈为、钧石、理想是目前核心层沉积环节的首选从制造端设备选型来看，迈为、钧石、理想是目前核心层沉积环节的首选 . 7 3 设备厂商技术各有特色，大产能、低成本是共同追求设备厂商技术各有特色，大产能、低成本是共同追求 . 8 4 分情景讨论分情景讨论 HJT 渗透率，商业化前景明朗渗透率，商业化前景明朗 . 12 5 投资建议投资建议 . 13 风险提示风险提示 . 13 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRp
10、tType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 4 / 14 证券研究报告 图表目录图表目录 图表图表 1 1 20202020 年年 HJTHJT 电池生产成本拆分电池生产成本拆分 . 5 图表图表 2 2 预计预计 20222022 年，年，HJTHJT 电池生产成本进一步下降电池生产成本进一步下降 . 5 图表图表 3 3 预计预计 20202222 年，年，HJTHJT 单单 WW 生成成本有望和生成成本有望和 PERCPERC 持平持平 . 6 图表图表 4 4 异质结各环节设备供应商梳理异质结各环节设备供应商梳理 . 7 图表图表 5 5 20212021 年年 1
11、1- -9 9 月份各电池片厂商异质结新建产线设备选型梳理月份各电池片厂商异质结新建产线设备选型梳理 . 8 图表图表 6 6 核心层沉积环节设备供应商关键参数对比核心层沉积环节设备供应商关键参数对比 . 9 图表图表 7 7 典型典型 PECVDPECVD 结结构与特别工艺对比构与特别工艺对比 . 9 图表图表 8 8 迈为第二代迈为第二代 PECVDPECVD 产品的多腔连续镀膜设计产品的多腔连续镀膜设计 . 10 图表图表 9 9 理想万里晖理想万里晖 U U 型排布型排布 PECVDPECVD . 10 图表图表 1010 理想万里晖盒中盒结构沉积腔室理想万里晖盒中盒结构沉积腔室 .
12、10 图表图表 1111 迈为大产能线列式迈为大产能线列式 PEPECVDCVD . 11 图表图表 1212 应用材料团簇式应用材料团簇式 PECVDPECVD . 11 图表图表 13HJT13HJT 设备需求规模测算设备需求规模测算分情景讨论分情景讨论 . 12 图表图表 1414 建议关注公司的盈利预测与评级建议关注公司的盈利预测与评级 . 13 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 5 / 14 证券研究报告 1 异质结异质结商业商业化爆发前夕，设备认证窗口期化爆发前夕，设备认证窗口期倒
13、计倒计 时时 HJTHJT 即将步入规模化扩产阶段， 其清晰的降本路径奠定了未来产能爆发的基础。即将步入规模化扩产阶段， 其清晰的降本路径奠定了未来产能爆发的基础。 根据 Solarzoom，2020 年 HJT 电池生产成本为 0.9 元/W，其中包含硅片、浆料（主要 为银浆） 、 靶材 （主要为 TCO 镀膜环节所需的掺杂材料氧化铟锡 ITO） 、 设备折旧 （按 10 年折旧计算）和其他部分，成本分别为 0.48、0.23、0.05、0.05、0.1 元/W，占比分 别为 52.7%、25.3%、5.5%、5.5%、11%。相比于 PERC（0.72 元/W） ，HJT 电池生产 成本仍
14、高出 0.18 元/W，主要来自硅片、银浆和设备三个方面。 图表图表 1 1 20202020 年年 HJTHJT 电池生产成本拆分电池生产成本拆分 图表图表 2 2 预计预计 20222022 年，年，H HJTJT 电池生产成本进一步下降电池生产成本进一步下降 资料来源：Solarzoom，华安证券研究所 资料来源：Solarzoom，华安证券研究所 根据 Solarzoom 测算， 预计 2022 年， HJT 单 W 生产成本可以追平 PERC， 约 0.52 元/W，主要基于以下三条关键降本路径的假设： （1 1） 银浆成本：） 银浆成本： 2 2020020- -2 2022022
15、 年，年， H HJTJT 银浆成本预计银浆成本预计由由 0 0.23.23 元元/ /WW 降至降至 0 0.08.08 元元/ /WW， P PERCERC 成本为成本为 0 0.09.09 元元/ /WW，是短期推动是短期推动 H HJTJT 降本的主要动力降本的主要动力。一方面，国产化银浆的 应用预计使得溢价估计由 2000 元/kg 降低至 500 元/kg；另一方面，目前浆料厂积极 布局的“银包铜”产品有望在 2022 年实现推广，配合栅线布局优化，低温银浆单片 耗量估计由 202mg 降至 90mg。假设基于 M6 规格、24%转换效率、98.5%良率的 HJT 电池， 单片功率
16、 6.58W， 溢价降低和耗量降低将分别带来约 0.046、 0.119 元/W 降本， 合计约 0.165 元/W。考虑到未来电镀技术的发展，我们认为 HJT 浆料降本方面有望 超预期。 （2 2）硅片成本：）硅片成本：2 2020020- -2 2022022 年，年，H HJTJT 硅片成本硅片成本由由 0 0.48.48 元元/ /WW 降至降至 0 0.27.27 元元/ /WW，同，同 期期 P PERCERC 成本为成本为 0 0.3 .3 元元/ /WW，得益于，得益于硅片薄型化硅片薄型化和和 N N 型硅片溢价降低型硅片溢价降低。一方面，HJT 支持衬底薄型化发展，硅片厚度由
17、 170m 减至 130m，估计带来 7%折价；另一方 面，在 HJT 大规模推广过程中， 上游供应链存在溢价的环节扩产意向更强，估计溢 价将逐步由 8%降至 4%。 （3 3）设备）设备折旧折旧：2 2020020- -2 2022022 年，年，H HJTJT 设备折旧设备折旧由由 0 0.05.05 元元/ /WW 降至降至 0 0.03.03 元元/ /WW，同，同 期期 P PERCERC 成本为成本为 0.020.02 元元/ /WW ，得益于，得益于 HJTHJT 电池生产设备投资额快速下降。电池生产设备投资额快速下降。根据 Solarzoom 估计， 单 GW 设备投资额会由
18、4.5 亿降至 2.5 亿。 我们预计， 2022 年单 GW 设备投资额约为 3-4 亿。由于设备折旧在 HJT 生产成本中占比仅 5.5%，设备价格实 际影响有限。 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 6 / 14 证券研究报告 我们认为，我们认为，H HJTJT 相对相对 P PERCERC 的单的单 WW 生产成本生产成本缩小到缩小到 1 1 毛以内，毛以内，叠加叠加效率优势，效率优势， 便具备了便具备了对对 P PERCERC 产能形成替代产能形成替代的条件的条件。目前 HJT 量产、
19、中试线平均转换效率逼近 24.5%，2022 年有望通过退火吸杂、微晶硅等技术的推广，达到 25%。对于电池厂来 说，效率越高，同规格单片电池瓦数越高，越容易形成规模化效应；对于终端电厂来 说，可以降低 BOS 成本，根据晶体硅太阳电池制造工艺原理 ，电池效率每提升 1%，发电成本可下降 7%。HJT 的相对优势将愈发明显。 图表图表 3 3 预计预计 2 2022022 年，年，H HJTJT 单单 WW 生成成本有望和生成成本有望和 P PERCERC 持平持平 资料来源：Solarzoom，华安证券研究所 国产国产设备供应商积极和下游客户合作，把握设备认证宝贵的窗口期。设备供应商积极和下
20、游客户合作，把握设备认证宝贵的窗口期。凭借高性 价比、就近服务等优势，国产设备商已经成为设备市场的主流玩家，尤其是在核心 层沉积环节以及整线整合方面。目前，HJT 还未正式进入大规模量产阶段，各个生 产环节仍有工艺优化空间，降低生产成本、提高光电转换效率的潜力较大，因此中 游制造端愿意主动进行 HJT 技术中试和研发， 对探索新工艺、 测试新设备意愿较强。 设备供应商均积极研发创新，并寻求与下游客户的联合协作，争取在 HJT 进入扩产 期前获得客户认可，近期来看有以下事件佐证我们的观点： 6 月 28 日，金辰与晋能携手合作开发新型异质结 PECVD 工艺及电池技术， 首台样机进入测试阶段；
21、9 月 7 日，理想与华晟达成战略合作，联合开发大产能异质结 PECVD 设备， 计划在 10 层 CVD 设备上采用新技术进行量产及工艺可行性研究； 2020.8：PERC2020.8：PERC2020.8:HJT2020.8:HJT2022(E):PERC2022(E):PERC2022(E):HJT2022(E):HJT 电池片效率22.7%24.0%23.0%25.0% 良品率98.9%98.5%98.9%98.0%（薄片） M6每片W数6.22W/片6.58W/片6.31W/片6.85W/片 电池片厚度170m170m170m130m 电池片连接技术12BB无主栅 M6电池片银浆耗量
22、正银90mg/片202mg/片正银78mg/片90mg/片 靶材耗量168mg/片42mg/片 靶材耗量说明 未考虑回收，双面使用 ITO 考虑铟的回收，且背面 采用AZO替代 M6硅片含税价格3.25元/片 3.51元/片（N型硅片溢 价8%） 2.10元/片 2.02元/片（N型硅片溢 价4%，但薄片折价7%） 银浆含税价格6500元/kg 8500元/kg（低温溢价 2000元/kg） 6500元/kg 7000元/kg（低温溢价500 元/kg） 靶材含税价格2000元/kg 8000元/kg（已充分考虑 铟的溢价） 生产设备投资价格（10 年折旧） 2亿元/GW4.5亿元/GW2亿元
23、/GW2.5亿元/GW 1.硅片成本1.硅片成本0.470.470.480.480.300.300.270.27 2.1浆料0.100.230.090.08 2.2靶材无0.05无0.04 2.3折旧0.020.050.020.03 2.4其他0.130.100.120.10 2.非硅成本2.非硅成本0.250.250.420.420.240.240.250.25 生产成本合计生产成本合计0.720.720.90.90.540.540.520.52 关键技术信息关键技术信息 关键价格假设关键价格假设 每W不含税成本测算（元/W)每W不含税成本测算（元/W) 更多投研资料 或+ WX公众号mta
24、chn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 7 / 14 证券研究报告 9 月 7 日， 迈为在异质结量产设备和电镀技术结合上率先实现突破， 利用澳大 利亚 SunDrive 无种子层直接铜电镀工艺实现了 M6 尺寸 HJT 电池片 25.54%转换效 率，再破世界记录，为光伏产业提升转换效率、降低辅材成本提出全新解决方案。 我们认为，未来 HJT 进入扩产阶段，设备、工艺都将趋于成熟，HJT 设备的革 新升级都将基于一定的技术储备和客户基础上进行，后入者面临更高的客户认证壁 垒和技术壁垒，难以轻易切入设备供应链，领先厂商的市场份额将持续
25、扩大。 图表图表 4 4 异质结各环节设备供应商梳理异质结各环节设备供应商梳理 资料来源：TaiyangNews，华安证券研究所 2 从制造端设备选型来看，迈为、钧石、理想是从制造端设备选型来看，迈为、钧石、理想是 目前目前核心层沉积环节的首选核心层沉积环节的首选 全市场仅迈为、捷佳、钧石、理想万里晖具备整线整合能力全市场仅迈为、捷佳、钧石、理想万里晖具备整线整合能力，其中迈为相对更加，其中迈为相对更加 成熟成熟。从量产经验角度看从量产经验角度看：只有迈为和钧石整线经过量产验证，分别是华晟一期 和福建钜能的早期项目；从从 H HJTJT 全流程设备布局来看全流程设备布局来看：只有迈为（清洗制绒
26、参股 启威星引进 YAC 技术）和捷佳完成整线布局，清洗制绒、丝网印刷环节设备相对成 熟，分别是捷佳、迈为优势领域，而钧石、理想获得资本市场加持相对较少，在战略 选择上集中有限资源，聚焦于镀膜环节；从产业生态来看从产业生态来看：迈为积极推动 HJT 全 产业链生态建设，加强与各环节协同合作，设备适配度相对较高。我们梳理了 2021 年初以来，新增 HJT 投资规划的设备采购以及新建 HJT 产线的设备选型情况，根据 产能占比估算，迈为股份凭借整线整合经验以及核心设备成熟度优势，占据了核心 镀膜环节超过 55%的市场份额。分项目来看： （1 1）通威金堂）通威金堂：新建产线规模新建产线规模 1
27、1GWGW，标志着标志着 H HJTJT 正式进入正式进入 G GWW 级生产时代。级生产时代。 该项目 2020 年 10 月完成招标，2021 年 5 月第一台设备进场，至 7 月 16 日首片电池 下线，历时仅 50 天，创造了行业新纪录。根据智通财经，该项目 4 条单线的核心 PECVD 设备分别由迈为、理想各提供一套，时产产能分别为 8000、5200 片/时，钧 石提供两套， 时产产能为 5200 片/时。 从产能来看， 迈为设备实际产能将高于给定的 单线 250MW 级别。 （2 2）华晟二期：）华晟二期：迈为设备一期表现良好，我们预计其新一代大产能、大尺寸设迈为设备一期表现良好
28、，我们预计其新一代大产能、大尺寸设 备再次收获了华晟整线订单。备再次收获了华晟整线订单。华晟二期规划规模 2GW，生产 G12 大尺寸半片电池， 公司公司清洗制绒清洗制绒核心层沉积核心层沉积TCO镀膜TCO镀膜金属化电极金属化电极 价值量占比10%50%20%20% 迈为股份迈为股份 捷佳伟创 钧石能源 理想万里晖 金辰股份 江苏微导 应用材料 INDEOtec Ulvac YAC Exateq RENA Singulus Von Ardenne 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 8 / 14
29、 证券研究报告 9 月 2 日完成设备采购议价，预计 2022Q2 末量产出片，核心设备 PECVD 由迈为和 理想共同提供。我们预计，本次迈为提供的是其第三代新产品，M6 硅片规格下时产 达 12000 片/时， 单线产能将达到 600MW， 由此推算， G12 规格下时产约 1 万片/时。 迈为整线在华晟一期完成了产品性能和设备量产的验证。迈为整线在华晟一期完成了产品性能和设备量产的验证。 华晟一期 500MW 包含 一条 8000 片/时的迈为整线和一条 4000 片/时的拼线 （理想 PECVD+迈为 PVD） ， 该 项目 3 月份投产，6 月份量产批次平均效率 24.71%，最高单
30、片效率首次突破 25%，7 月份再次刷新最高记录达 25.26%，至此华晟一期基本完成效率验证，进入产能验证 阶段，整体进展顺利，我们预计 9 月份华晟一期将达到设计产能，日产 20 万片。 （3 3）金刚玻璃：规划）金刚玻璃：规划 1 1.2GW.2GW 异质结电池片产能， 已敲定迈为作为整线供应商异质结电池片产能， 已敲定迈为作为整线供应商， 设备成本再次压缩设备成本再次压缩。7 月下旬，金刚玻璃与迈为股份签订设备采购合同，总价为人民 币 4.8 亿元，结合金刚玻璃总投资规划，由此推算，单 GW HJT 设备投资额已降至约 4.04.4 亿（2020 年，按华晟招标价格估算约 6.3 亿/
31、GW） 。 （4 4）晶澳科技：）晶澳科技：制造端的传统头部玩家入局 HJT，规划 250MW 中试线，由钧 石能源提供核心设备，并进行全面产线布局设计、产线规划、效率保证、 技术支持与 服务等。 （5 5）爱康爱康科技：科技：爱康泰兴一期 750MW 项目由理想提供核心 PECVD，并进行整 线整合，捷佳伟创提供其他环节设备。爱康计划未来 5 年在江苏泰州、浙江湖州、 江西赣州打造 20GW 异质结电池产能，根据公司公告，泰兴基地规划规模 6GW，一 期为 2GW。该项目 5 月份开工建设，8 月份完成 750MW 设备招标，预计 2021 年还 有 1.01.2GW 的产能招标落地。 图表
32、图表 5 5 20212021 年年 1 1- -9 9 月份各电池片厂商月份各电池片厂商异质结新建产线异质结新建产线设备选型梳理设备选型梳理 资料来源：各公司相关新闻报道及公告，华安证券研究所整理 3 设备厂商技术各有特色，设备厂商技术各有特色，大产能、大产能、低成本低成本是是共共 同追求同追求 支持更高产能、支持更高产能、多尺寸兼容、综合成本更低多尺寸兼容、综合成本更低的的 P PECVDECVD 是是 H HJTJT 商业化的主流商业化的主流选选 择。择。本征非晶硅薄膜沉积是 HJT 工艺的核心，一方面是该步骤是形成 P-N 结的关键 一环，另一方面也决定了钝化的有效性。目前，HJT 核
33、心层沉积解决方案主要有三 种，分别是 PECVD、Cat-CVD、PEALD，分别来看：P PECVDECVD 是设备供应商研发 和中游制造商采购的主流选择，领先的 PECVD 供应商都积极布局更大产能、兼容 210 大尺寸硅片的新一代设备； CatCat- -CVDCVD 是利用高温金属丝催化加快沉积速率，其 未被大规模商用主要系热丝寿命短，需频繁更换，导致成本提高、生产节拍降低， 主 要提供商包括捷佳伟创和 Ulvac； P PEALDEALD 则是江苏微导基于 PERC 时代 ALD 钝化 技术所进行的全新尝试。 目前，目前， 板式板式 P PECVDECVD 表现出更强的综合优势。表现
34、出更强的综合优势。 PECVD 按结构来分主要有两大类， 分别是单腔管式、 多腔板式， 其中板式又可分为线列式、 团簇式两种设备布局方式。 公司公司规模规模最新公告日最新公告日进度进度PECVDPECVD备注备注 通威金堂1GW202107设备已搬入，试运行 迈为+钧石+理想 共计4条单线，由迈为、理想、钧石分别提供。 金刚玻璃1.2GW202107签订设备采购协议迈为整线由迈为提供整线及配套，合同总价4.8亿元。 晶澳250MW202108在建钧石整线由钧石全面提供产线设计、规划、效率保证、技术支持等。 爱康泰兴750MW202108在建理想理想提供核心PECVD设备及整线集成，捷佳提供其他
35、设备。 华晟二期2GW202109在建迈为+理想由迈为和理想共同提供。 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 9 / 14 证券研究报告 设备中电极和腔体的设计直接决定产品性能，因此起辉放电的过程会对硅片表面特 性产生不同影响， 例如管式系统由于石墨舟中间镂空， 利用硅片作为电极的一部分， 工艺气体从石英管一端进入；板式系统则是将载板作为电极，腔室内工艺气体均匀 进入。综合考虑电路控制、硅片损伤、成膜速率、钝化效果、镀膜质量（均匀性、致 密性）等因素，目前 HJT 板式 PECVD 的开发投入力度
36、更强、下游应用更多，管式 设备方面，由于 MW 级射频导入设备的成功开发，适用于 HJT 的管式 PECVD 进入 测试阶段、 ，但在成膜均匀性、防止硅片损伤等方面仍有待优化。 图表图表 6 6 核心层沉积环节设备供应商关键参数对比核心层沉积环节设备供应商关键参数对比 资料来源：TaiyangNews，华安证券研究所整理 图表图表 7 7 典型典型 P PECVDECVD 结构与特别工艺对比结构与特别工艺对比 资料来源：华安证券研究所整理 分企业来看， 各设备商均有独家产品设计， 但大产能、 低成本是所有设备商进行 产品升级的共同追求： 公司公司沉积技术沉积技术硅片方向硅片方向单载板规格单载板
37、规格产能（片/小时）产能（片/小时） 应用材料PECVD-M22400 8*8 (M6)8*8 (M6)80008000 G12G1212000（估计）12000（估计） 10*10 (M6)5200 9*9 (M10)4200 8*8 (G12)3300 垂直5400（估计） 13*13 (M6)6910 12*12 (M10)5890 10*10 (G12)4270 理想万里晖PECVD水平8*8 (M6)5000 INDEOtecPECVD水平6*6 *3块载板3000 UlvacCAT-CVD垂直180 (M2)3240 江苏微导PEALD 捷佳伟创 钧石能源PECVD水平 水平 迈为
38、股份迈为股份PECVDPECVD水平水平 PECVD 设备结构设备结构设备供应商设备供应商特别工艺/结构特别工艺/结构 单腔管式捷佳伟创 通过二合一、三合一将多层膜在单一腔体内完成，设备成 本低，无串联结构可提高开机率。 迈为股份 准动态镀膜，使载板在等离子辉光放电的过程中运动地通 过等离子区域，加快生产节拍的同时提高成膜质量。 钧石能源 I-IN-P结构设计下腔室少于20个，兼顾稳定性与利用率， 优化生产节拍后，单台产能可达1万片/小时（M6）。 理想万里晖 U型排布，抽屉式盒中盒结构（大反应腔中分割子腔 室），缩小占地面积，需要行车。 应用材料 玻璃基板镀膜技术迁移到HJT，针对双面翻片、
39、起辉匹配 、自动化速度做了优化。 INDEOtec 采用镜像技术，无需翻片完成双面沉积，可兼顾TCO镀 膜；第三代量产平台八面系统（4辅助、4沉积）。 团簇式 线列式 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 10 / 14 证券研究报告 （1 1）迈为迈为股份股份：把握行业关键痛点，大产能助力制造端：把握行业关键痛点，大产能助力制造端提升提升规模化效应，平台规模化效应，平台 型设备具备工艺优化空间。型设备具备工艺优化空间。 迈为板式 PECVD 开创性地采用准动态镀膜方式， 兼顾了 高生产节拍和高成
40、膜质量的优势。生产节拍方面生产节拍方面，等离子气体不间断放出，载板在 辉光放电的过程中运动地通过，沉积速率较快，生产节拍高； 成膜质量方面成膜质量方面，避免了 由于等离子起辉过程中初始状态不稳定导致的硅片表面非晶硅孵化层缺陷较多的问 题，且沿硅片行进方向的镀膜均匀性较好。目前，公司二代 PECVD 单系统包含 4 个 预热腔、8 个工艺腔和 2 个出料腔（可叠加） ，是小腔体、多腔室的多腔连续镀膜设 计。公司预计年底推出第三代升级版 PECVD，产能估计达到 12000 片/时（M6） ，单 线对应年产能 600MW，并率先具备微晶硅镀膜能力，满足产业工艺升级需求，提升 量产转换效率。 图表图
41、表 8 8 迈为第二代迈为第二代 P PECVDECVD 产品的多腔连续镀膜设计产品的多腔连续镀膜设计 资料来源：2020 迈为新品发布会，华安证券研究所 （2 2）理想理想万里晖万里晖：主打产品板式主打产品板式 P PECVDECVD，独创抽屉式盒中盒结构，独创抽屉式盒中盒结构，U U 型排布，型排布， 减小占地面积。减小占地面积。2020 年底，公司获中微公司等机构增资，公司注册资本由 0.85 亿增 加至 1.46 亿人民币， 公司加强与中微的合作， 增强产业协同， 共同布局新技术研发。 该公司开发的多层盒中盒腔体的 PECVD 设备独具特色，即在一个大腔体中堆叠多 层小腔室，用以增加产
42、能，后续的开发中预计最多可放置 10 层小腔室。该结构的优 点在于：可以共享真空泵和供气设备，降低成本；小反应腔形变小；上、下极 板同时加热，不易产生热飘移，不易产生颗粒；清理彻底，无需开腔维护；气体 耗量小，为传统单层腔室的 1/8。公司当前主打型号 OKA-DU-5PLUS 产能超过 5000 片/时（M6） ，对应 250MW/年，未来升级型号 OKA-MC 目标是达到单线 GW 级产 能。 图表图表 9 9理想万里晖理想万里晖 U U 型排布型排布 P PECVDECVD 图表图表 1010理想万里晖盒中盒结构沉积腔室理想万里晖盒中盒结构沉积腔室 资料来源：理想万里晖官网，华安证券研究
43、所 资料来源：理想万里晖官网，华安证券研究所 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 11 / 14 证券研究报告 （3 3）钧石）钧石能源能源：核心设备板式核心设备板式 P PECVDECVD 生产节拍持续优化生产节拍持续优化，配套设备支持与低，配套设备支持与低 银耗技术相结合，主打整线配套银耗技术相结合，主打整线配套。钧石旗下金石设备主要负责 HJT 设备的研发与制 造，在线列式设备排布上仅使用相对较少的腔体，提高设备利用率，缩小了占地面 积。 从产能覆盖范围来看， 公司 PECVD 实现了 2
44、50、 350、 500、 800MW 级产能覆盖， 一方面公司在保证设备利用率不低于 90%的情况下， 不断优化生产节拍， 另一方面， 公司在腔体、 载板上的优化兼容了多种尺寸硅片 （M6M10G12） 。 公司主打的 350MW 级产品时产达 6910 片，500MW 级达到 10140 片。从整线配套角度看，公司采用全新 的磁控溅射镀膜方式（PVD）提高电池表面的导电性，并配合优化栅线设计，有效改 善了细栅的导电性能，形成的整套低银耗技术，受到下游客户重视。 （4 4）捷佳捷佳伟创伟创：多样化设备解决方案，均处于市场验证中，中试转换效率多样化设备解决方案，均处于市场验证中，中试转换效率可
45、达可达 2 24%4%以上以上。 捷佳伟创针对核心层镀膜环节提供了三种解决方案， 分别是板式 PECVD、 管式 PECVD 和 Cat-CVD。 基于自身在 PERC 领域管式设备的技术储备， 公司首创了 HJT 用管式 PECVD，时产产能超过 5000 片，并于 2021 年 8 月中试流片成功，其显 著优势在于更低成本和更小的占地面积，公司预计凭借管式设备可将单 GW 设备投 资额压缩至 3-3.5 亿元。 （5 5）美国）美国应用材料和应用材料和瑞士瑞士 I INDEONDEOtectec：两家公司均采用团簇式设备布局，两家公司均采用团簇式设备布局，对设对设 备的自动化配套提出更高要
46、求。备的自动化配套提出更高要求。 美国应材是将原来非晶硅薄膜电池产线中的 PECVD 设备，针对 HJT 电池多层膜、双面镀膜、等离子体起辉阶段需快速匹配、需要连续 生产等特性，改造成适合镀制 HJT 电池的设备，因此在自动化上下片、翻片、电源 控制等方面进行了优化。美国应材的 PECVD 主要供应了早期的 HJT 中试线，客户 包括晋能、爱康、国电投和通威。瑞士 INDEOtec 则开发了 Mirror 技术、集成射频 电极等离子技术和抗交叉污染处理等新技术，用于在尽量少的腔体里完成多层双面 镀膜。目前瑞士 INDEOtec 的三代产品可支持 3000 片/时的量产，八面系统， 加热腔 可同
47、时放置 6 个载板，4 个沉积腔完成正、反面镀膜无需翻片，同时沉积 3 块载板。 （6 6）金辰金辰股份股份：与下游客户晋能达成与下游客户晋能达成联合战略合作联合战略合作，P PECVDECVD 进入样机装配、进入样机装配、 测试阶段。测试阶段。金辰股份成立研发团队，由组件设备环节切入到电池片设备，与瑞士 H2GEMINI(核心成员曾就职于应用材料、梅耶博格、施密德等）合作开发 HJT 电池 片非晶硅薄膜 PECVD，2021 年 6 月，金辰首台设备运抵晋能科技，测试结果仍需时 间验证。 图表图表 1111 迈为大产能线列式迈为大产能线列式 P PECVDECVD 图表图表 1212应用材料
48、团簇式应用材料团簇式 P PECVDECVD 资料来源：迈为股份官网，华安证券研究所 资料来源：应用材料官网，华安证券研究所 更多投研资料 或+ WX公众号mtachn Table_CompanyRptType 行业研究行业研究 敬请参阅末页重要声明及评级说明 12 / 14 证券研究报告 4 分情景讨论分情景讨论 HJT 渗透率渗透率，商业化前景明朗，商业化前景明朗 以渗透率为核心变量，我们分情景讨论以渗透率为核心变量，我们分情景讨论 H HJTJT 扩产与爆发。扩产与爆发。渗透率提升速度的快 慢，直接反映电池技术的发展阶段。我们的情景分析针对渗透率指标进行假设，分 为（1）稳步扩产2024
49、 年 HJT 渗透率达到 30%，未来五年设备市场累计规模达到 487 亿元； （2）蓄势腾飞2023 年 HJT 渗透率达到 30%，未来五年设备市场累计 规模达到 643 亿元； （3）加速爆发2022 年 HJT 渗透率达到 30%，未来五年设备 市场累计规模达到 777 亿元。其他核心假设如下： 下游装机量：下游装机量：得益于新能源革命、2020 年中国光伏装机量超预期、产业链快速 降本以及新技术突破多因素叠加，IHSMarkit、彭博新能源等机构普遍上调未来光伏 装机量预期。 国内方面， CPIA 认为， “十四五”期间我国年均装机将达到 70-90GW。 我们采用 CPIA 预测，
50、对保守、乐观估计取中值，2021-2025 年，全球光伏装机量预 计分别为 160、202、238、269、302GW。 电池技术渗透率：电池技术渗透率：指下游装机量口径市场份额。渗透率提升的传导机制是-产业 链降本（设备投资降本）推动扩产提高渗透率。 我们假设， 当渗透率达到 30%， 意味着电池制造端进入产能爆发期，单 GW 设备投资额对应 2.7 亿元。 产能利用率：产能利用率：根据电池技术生命周期模型，单一电池技术产能的利用率随着发 展阶段的不同而变化。 从萌芽期开始， 产能利用率逐步升高 （因为随着渗透率提升， 需求增加，产能将变得紧张） ，随后逐步降低（经过扩产爆发，产能充裕） ，
