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集成电路关键工艺材料项目环评报告书.pdf

上传人:tike 文档编号:6599263 上传时间:2022-08-09 格式:PDF 页数:197 大小:13.62MB
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资源描述

1、建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1. 项目名称指项目立项批复时的名称,应不超过 30 个字(两个英文字段作一个汉字)。2. 建设地点指项目所在地的名称,公路、铁路应填写起止地点。3. 行业类别按国标填写4. 总投资指项目投资总额。5. 主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6. 结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论,确定污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的

2、影响,给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7. 预审意见由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目,可不填。8. 审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。1建设项目基本情况项目名称合肥新阳半导体材料有限公司集成电路关键工艺材料项目建设单位合肥新阳半导体材料有限公司法人代表王福祥联系人黄利松通讯地址合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与九顶山路交叉口西南角联系电话17821752684传真/邮政编码230001建设地点合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与九顶山路交叉口西南角立项审批部门新站区发展和改革委批准文号/建设性质新建改扩建技改行业类别及代码C398

3、5 电子专用材料制造占地面积(平方米)50000绿化面积(平方米)4000总投资(万元)35000其中:环保投资(万元)1000环保投资占总投资比例2.9%评价经费(万元)/预期投产日期2021 年 12 月工程内容及规模:工程内容及规模:1、项目背景、项目背景1.1 项目由来项目由来合肥新阳半导体材料有限公司(以下简称“合肥新阳公司”)由上海新阳半导体材料股份有限公司(以下简称“上海新阳公司”)投资建设。上海新阳公司主要针对电子、半导体领域所需超净、高纯、高可靠性和绿色环保型化学材料及配套设备,进行专业研发设计和高精度生产制造,是国内电子表面处理专用化学材料及设备领域的龙头企业。基于现有成功

4、的生产和研发创新能力,由于市场发展需要,上海新阳公司拟在合肥投资成立合肥新阳半导体材料有限公司,建设“合肥新阳半导体材料有限公司集成电路关键工艺材料项目”。项目总投资 35000 万元,占地面积 50000m2,规划建筑面积 50515m2。项目建成后可达到生产各类电子专用化学材料 17000t/a,其中芯片铜互连超高纯硫酸铜电镀液及晶体6500t/a、芯片超纯清洗液系列 8500t/a、高分辨率光刻胶系列 500t/a、芯片级封装与集成电2路传统封装引线脚表面处理功能性化学材料系列 1500t/a。1.2 环评文件的研判及主要工作过程环评文件的研判及主要工作过程项目的产品属于电子专用化学材料

5、,根据国民经济行业分类(GB/T 4754- 2017),电子专用化学材料属于“C39 计算机、通信和其他电子设备制造业C398 电子元件及电子专用材料制造C3985 电子专用材料制造”。对照建设项目环境影响评价分类管理名录 (环保部令第 44 号)、 关于修改建设项目环境影响评价分类管理名录部分内容的决定(生态环境部令第 1 号),电子专用化学材料的生产属于其中“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业83 电子元件及电子专用材料制造- - 电子专用材料”,应编制环境影响报告表。为此,合肥新阳半导体材料有限公司委托我公司开展环评工作。接受委托后,环评技术人员经过现场踏勘、资料收集、环境现状调

6、查等工作,根据建设单位提供的相关资料,按照相关法律规格及环境影响评价技术导则的相关要求,编制本环境影响报告表。2、项目位置及周边情况、项目位置及周边情况项目位于合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与九顶山路交叉口西南角。 厂区四周情况如下: 北侧:珠城西路; 西侧:空地; 南侧:日益和半导体材料有限公司; 东侧:空地。项目地理位置详见附图 1,周边环境状况见附图 2。3、建设内容与项目组成、建设内容与项目组成3.1 主要建设内容主要建设内容项目组成包括主体工程、辅助工程、储运工程、公用工程和环保工程,详见表 1。3表表 1 项目组成一览表项目组成一览表类别项目名称建设内容及规模类别项目名称建设内

7、容及规模主体工程乙类厂房占地面积 5082m2,建筑面积 15246m2,共 3 层:一层:南侧设硫酸铜生产线的结晶、配制工段,中间设清洗液配制工段, 北侧设常规化学品 (去毛刺溶液系列/电镀液及前后处理液系列)生产线;二层:设光胶刻生产线;三层: 设硫酸铜电镀液电解生产线、 甲基磺酸锡电镀液电解生产线。项目建成达产后将实现年产17000t/a电子专用化学品材料的生产能力丙类厂房占地面积 6264m2,建筑面积 18792m2,共 3 层:一层:北侧设硫酸铜电镀液成品储罐、清洗液成品储罐,南侧为洁净室区域,内设研磨液生产线二层:设硫酸铜电镀液和清洗液的洗桶、灌装和打包工段三层:备用及包装桶仓库

8、辅助工程门卫室占地面积 132m2,门卫及接待综合楼占地面积 828m2,建筑面积 4140m2,共 5 层,主要用于办公,内设餐厅(配餐,不设灶厨)。动力站占地面积 1400m2,建筑面积 2800m2,共 2 层,内设制冷系统、纯水制备系统、空压站等辅助设施。循环水系统位于动力站顶部。三废车间占地面积2048m2,内设污水处理站储运工程丙类仓库占地面积 2685m2,建筑面积 5370m2,共 2 层。用于存放丙类原辅材料及产品乙类仓库占地面积 1987m2,共 1 层。用于存放乙类原辅材料及产品危废库占地面积189m2,用于存放危废公用工程新鲜水供应市政自来水管网供应循环冷却水系统在动力

9、站顶部设置 3 台 225m3/h 冷却塔,总循环水量 675m3/h,主要用于夏季空调系统冷源和生产物料的降温。纯水制备系统在动力站设1套纯水制备系统,工艺为“砂滤+活性碳过滤+RO反渗透+EDI离子交换技术”,纯水制备率为60%。纯水制备能力为20t/h。空压系统在动力站空压机房内设置 6 台空压机,设计总排气量为 112m3/min。氮气供应项目年用氮气量为 600t/a,在动力站南侧设置 1 座液氮站,供气能力 200m3/h,主要用于洗桶后充氮。环保工程废气收集及处理系统乙类厂房硫酸铜生产线电解废气电解线的初制槽和精制槽均加盖密闭, 并设槽边抽风,40 条线共用 1 套 3000m3

10、/h 碱洗塔经 27m排气筒P1 排放甲基磺酸锡电解线电解线的初制槽和精制槽均加盖密闭, 并设槽边抽风,4 条线共用 1 套 350m3/h 碱洗塔经 27m排气筒P2 排放硫酸铜电镀液冷却结晶、配置工段废气经呼吸阀密闭管道收集, 经 1 套碱液喷淋塔处理,排风量为 12000m3/h经 27m排气筒P3 排放4清洗液系列投料、原料储罐废气液体投料设密闭投料柜和隔膜泵, 中间储罐设呼吸阀, 废气汇总至 1 套 32000m3/h“化学氧化+碱洗塔+活性炭吸附”装置处理经 27m排气筒P4 排放常规化学品(去毛刺溶液系列/电镀液及前后处理液系列)废气光刻胶系列生产线设备清洗废气经密闭管道全部收集

11、, 投料废气经集气罩收集, 灌装废气经自动灌装机集中负压排风收集,废液池加盖密闭。废气汇总至 1 套 12000m3/h“化学氧化+碱洗塔+活性炭吸附”装置处理经 27m排气筒P5 排放丙类厂房清洗液系列灌装废气灌装废气设特制密闭集气罩,废气汇总至 1套 12000m3/h“化学氧化+碱洗塔+活性炭吸附”装置处理经 27m排气筒P6 排放研磨液和添加剂系列生产废气干法研磨机研磨废气经密闭管道全部收集, 自带滤筒除尘器; 其他生产均在密闭式无尘洁净室内, 洁净室设集中负压排风; 质检室设通风橱, 废气汇总接入 2 套 32000m3/h 碱液喷淋塔经 27m排气筒P7 排放污水处理站废气综合调节

12、池、水解酸化池、好氧池、MBR 池、污泥浓缩池进行加盖密闭,经 1 套“生物滤池除臭装置”处理,风量 5000m3/h经 27m排气筒P8 排放废水收集及处理系统废水预处理装置:含铜废水和含锡废水收集经预处理设施(混凝沉淀)处理后排入综合污水处理站,设计处理能力 50t/d。其它生产废水和生活污水排入厂区综合污水处理站处理,采用“水解酸化+好氧池+MBR 膜处理”工艺,处理能力 250t/d。处理后的污水经厂区污水总排口排入市政污水管网,进入蔡田铺污水处理厂处理。固废收集处置措施危废在厂内危废库暂存后,委托有资质的单位处置;生活垃圾:厂内设垃圾箱,由环卫部门定期清运噪声防治措施低噪声设备;基础

13、减振;建筑隔声;消声器等。风险防控设事故应急池,位于动力站南侧,有效容积 2000m3雨水排水系统1 个雨水排放口,安装截止阀。土壤地下水防渗措施分区防渗:三废车间、生产车间、仓库、危废库、事故水池按重点防渗区防渗;其他区域:简单防渗区,硬化混凝土地面3.2 产品方案产品方案项目产品为电子专用化学品材料,合计产能 17000t/a,主要包括:芯片铜互连超高纯硫酸铜电镀液及晶体 6500t/a、芯片超纯清洗液系列 8500t/a、高分辨率光刻胶系列 500t/a、芯片级封装与集成电路传统封装引线脚表面处理功能性化学材料系列 1500t/a。5项目产品方案见下表:表表 2 项目产品方案一览表项目产

14、品方案一览表序号产品类别规划年产量(序号产品类别规划年产量(t/a)产品名称规划单品年产量()产品名称规划单品年产量(t/a)1芯片铜互连超高纯硫酸铜电镀液6500芯片铜互连超高纯硫酸铜电镀液6000芯片铜互连超高纯硫酸铜晶体5002芯片刻蚀超纯清洗液系列8500超纯清洗液3000高选择比氮化硅清洗液2000化学机械研磨液(Ceria)1200化学机械研磨液(Silica)1440化学机械研磨液添加剂8603高分辨率光刻胶系列500I 线光刻胶160KrF 光刻胶100ArF 光刻胶40KrF 光刻胶(厚膜)150I 线光刻胶(厚膜)504芯片级封装与集成电路传统封装引线脚表面处理功能性化学材

15、料系列1500去毛刺溶液系列/电镀液及前后处理液系列1300甲基磺酸锡200合计17000170003.3 主要生产及辅助设备主要生产及辅助设备项目主要生产及辅助设备详见表 3。表表 3 项目主要生产及辅助设备一览表项目主要生产及辅助设备一览表建建/构筑构筑物物生产线生产线设备名称设备名称规格规格数量数量(台(台/套)套)备注备注乙类车间 1 楼硫酸铜生产线结晶、配置工段工作液储罐6000L12冷却釜1000L8离心机4配置釜2000L4过滤储罐3000L16清洗液配置工段搅拌釜2000L6清洗液 1 用搅拌釜2000L6清洗液 2 用搅拌釜2000L2POSTCMP 用搅拌釜2000L6高选

16、择比氮化硅用搅拌釜1000L2备用搅拌釜500L2备用搅拌釜200L2备用6清洗液原料储罐原料储罐6000L6分别用来存储单乙醇胺、异丙醇胺、二甘醇胺、三乙醇胺,三氟乙酸,氟化铵水溶液乙类车间 2 楼光胶刻生产线气动隔膜泵ALMATECE 系列15搅拌釜+过滤器2000L4搅拌釜+过滤器1000L4搅拌釜+过滤器500L5搅拌釜+过滤器200L2备用废液池500L1贴标机定制5灌装机定制4自动供料系统定制1乙类车间 3 楼硫酸铜电镀液、晶体电解生产线硫酸铜电解线非标40 条每条线4个初制槽,2 个精制槽,1 个500L 工作液储罐甲基磺酸锡生产线甲基磺酸锡电解线非标4 条丙类车间 1 楼硫酸铜

17、产品储罐产品混合罐10m34清洗液产品过滤储罐产品过滤储罐3000L16产品过滤储罐6000L8过滤柜18研磨液生产线表面改性反应釜1200L6氧化硅改性混合釜3000L12氧化硅混合混合釜1600- 2000L12氧化硅混合合成反应釜1000L2铈盐溶解氨溶液罐150L2氧化铈用氨水配置混合釜800 -1000L4氧化铈湿法研磨混合釜130 -150L4氧化铈湿法研磨混合釜800 -1000L2氧化铈离心后存储混合釜300 -500L2氧化铈离心稀释釜4500 -5000L2氧化铈稀释釜稀释釜4500 -5000L2添加剂稀释釜真空干燥箱500 * 500 * 500(mm),4kW*22氧

18、化铈脱水烘焙箱700* 700 * 1000(mm),165kW1氧化铈煅烧离心机1090*800*350 (mm) ,3.7kW1氧化铈分散后离心离心机1350*990*750 (mm) ,3kW1合成氧化铈后离心湿法研磨机1380*840(mm),12.55kW1氧化铈湿法研磨7粉碎气流磨1350 *500 *1588(mm),0.37kW1氧化铈干法研磨灌装机3100*2000*900(mm)6氧化硅2000*1800*900(mm)2氧化铈2025*2000*900(mm)2添加剂丙类车间 2 楼硫酸铜洗桶、罐装工段抓提机500Kg2灌装机200L2洗桶机200L2清洗液洗桶、罐装工段

19、洗桶机20L1洗桶机200L2抓提机非标1灌装机200L3灌装机4L1质检设备光刻胶系列检测用光刻机ArF/KrF/Iline3电感耦合等离子体质谱仪安捷伦 7900ICP- MS1电感耦合等离子体质谱仪IPC- AES1液体颗粒测试仪RION KS- 41A3旋转粘度计Brookfield DV2TLV1晶圆表面颗粒仪KLA SP11差热分析仪TA DSC 2501颗粒仪1800*750*800(mm)1颗粒仪1500*750*800(mm)1粒径测试仪2000*1000*800(mm)1研磨液质检分析设备X 射线衍射仪Bruker D8A,12kW1晶圆表面颗粒仪KLA SP2,1.92k

20、W1颗粒仪1800*750*800(mm)1颗粒仪1500*750*800(mm)1粒径测试仪2000*1000*800(mm)1zeta 电势测量仪380*600*210(mm)1CMP 研磨机300*300*250(mm)1原子力显微镜60*60*100(mm)1粉碎机145*145*160(mm)1台阶仪100*100*80(mm)1其它产品检测ICP- AESICAP63001ICP- MSAgilent77001TOC 总有机碳分析仪Multi N/C UV HS1全自动电位滴定仪9051COD 多元速测仪5B- 3(B)v818测厚仪XDLM- PCB1离子色谱仪ICS- 1500

21、1CVS 分析仪797 VA Computrace1碳硫分析仪CS- 8001气相色谱仪7890A1原子吸收分光谱仪240AA1四探针RG- 120N1pH 计pHS- 251膜厚仪F501紫外可见分光光度计TU- 19011密度计DMA 35 Version 41水分仪915 KF Ti- Touch1表面张力仪1阿贝折光仪WYA- ZT1电导率仪DD- S3071动力站公用工程设备纯水制备装置20t/h1空压机/6冷却塔225m3/h3液氮储罐及供气设备1三废车间污水处理系统废水处理预装置成套设备,处理能力50t/d1污水综合处理站处理能力 250t/d1污泥压滤机/1废气处理设备乙类厂房

22、硫酸铜电解废气处理设施配套风机 3000m3/h1碱洗塔乙类厂房甲基磺酸锡电解废气处理设施配套风机 350m3/h1碱洗塔乙类厂房硫酸铜电镀液冷却结晶、配置工段废气处理设施配套风机 12000m3/h1碱液喷淋塔乙类厂房清洗液、常规化学品废气处理设施配套风机 32000m3/h1化学氧化+碱洗塔+活性炭吸附”装置乙类厂房光刻胶系列生产线废气处理设施配套风机 12000m3/h1化学氧化+碱洗塔+活性炭吸附”装置丙类厂房清洗液系列灌装废气处理设施配套风机 12000m3/h1化学氧化+碱洗塔+活性炭吸附”装置丙类厂房研磨液和添加剂系列生产废气配套风机 32000m3/h2化学氧化+碱洗塔+活性炭

23、吸附”装置污水处理站废气处理设施配套风机 5000m3/h1生物滤池除臭装置93.4 主要原辅材料消耗及理化性质主要原辅材料消耗及理化性质3.4.1 原辅材料耗量原辅材料耗量项目原辅材料见表 4。表表4 项目主要原辅材料一览表项目主要原辅材料一览表序号序号产品产品化学品名称化学品名称成分成分/规格规格形态形态 年耗量(年耗量(t)包装包装包装规格包装规格最大最大周转周转储存位置储存位置形式形式储量储量频次频次1硫酸铜电镀液、硫酸铜晶体铜板99%固398.4托盘1000kg3312丙类仓库2硫酸96%液648塑料桶380kg1086丙类仓库3盐酸36%液4.2塑料桶4kg16丙类仓库4甲基磺酸锡

24、电镀液甲基磺酸70%液100塑料桶200kg176丙类仓库5锡锭99%固40瓦楞纸箱20kg/箱76丙类仓库6清洗液系列羟胺50%液381塑料桶200 kg646乙类仓库7四甲基氢氧化铵25%液75塑料桶200 kg136丙类仓库8二甘醇胺99%液300塑料桶200 kg506丙类仓库9单乙醇胺99%液300塑料桶200 kg506丙类仓库10异丙醇胺99%液300塑料桶200 kg506丙类仓库11三乙醇胺99%液600塑料桶200 kg1006丙类仓库12五甲基二乙烯三胺98%液240塑料桶200 kg406乙类仓库13三氟乙酸99%液120塑料桶200 kg206丙类仓库14氟化铵液12

25、0塑料桶200 kg206丙类仓库15EDTA(乙二胺四乙酸)固9袋装25kg26丙类仓库16磷酸88%液3002塑料桶320kg25012丙类仓库1017硼酸99%液200塑料桶200 kg336丙类仓库18研磨液系列氧化硅98%固180.6塑料桶200kg306丙类仓库19添加剂 BTA(苯丙三氮唑)固18袋装25kg36丙类仓库20硝酸60%液0.12塑料桶200kg06乙类仓库21氢氧化钾40%液0.012塑料桶200kg06丙类仓库22铈盐99%固176编织袋300kg296丙类仓库23氨水25%液168塑料桶200kg286丙类仓库24聚丙烯酸(PAA)99%液14塑料桶200kg

26、26丙类仓库25聚乙二醇(PEG)99%液4.5塑料桶200kg16丙类仓库26光刻胶系列溶剂(丙二醇甲醚醋酸酯)99%液270.30塑料桶200L456乙类仓库27溶剂(丙二醇甲醚)99%液152.70塑料桶200L256乙类仓库28ArF 光刻胶用主体树脂甲基丙烯酸甲酯共聚物液3.53塑料桶20L16丙类仓库29ArF 光刻胶用光酸光致产酸剂固0.71袋装3kg06丙类仓库30ArF 光刻胶用添加剂三烷基胺液0.71塑料瓶1kg06丙类仓库31KrF 光刻胶用树脂聚苯乙烯液15.08塑料桶20L36丙类仓库32KrF 光刻胶用光酸光致产酸剂固3.02袋装3kg16丙类仓库33KrF 光刻胶

27、用添加剂双环烷基甲基胺液2.01塑料瓶1kg06丙类仓库34I 线光刻胶用树脂酚醛树脂液33.15塑料桶20L66丙类仓库35I 线光刻胶用光酸光电活性化合物固6.64袋装3kg16丙类仓库36I 线光刻胶用添加剂三乙醇胺液1.66塑料瓶1kg06丙类仓库37KrF Thick 光刻胶用树脂聚苯乙烯液99.34塑料桶20L176丙类仓库1138KrF Thick 光刻胶用光酸光致产酸剂固2.14袋装3kg06丙类仓库39KrF Thick 光刻胶用添加剂双环烷基甲基胺液0.71塑料瓶1kg06丙类仓库40I- Line Thick 线光刻胶用树脂酚醛树脂液17.57塑料桶20L36丙类仓库41

28、I- Line Thick 线光刻胶用光酸光致产酸剂固1.51袋装3kg06丙类仓库42I- Line Thick 线光刻胶用添加剂三乙醇胺液1.00塑料瓶1kg06丙类仓库43传统封装系列甲基磺酸70%液99塑料桶200kg176丙类仓库44阳离子表面活性剂0.25塑料桶200kg06丙类仓库45甲醛0.05塑料桶200kg06丙类仓库46硫酸96%液45.5塑料桶380kg86丙类仓库47硝酸60%液80.5塑料桶200kg136丙类仓库48水合肼80%液180塑料桶200kg306乙类仓库49聚乙二醇99%液40塑料桶200kg76丙类仓库50-吡咯烷酮液60塑料桶200kg106丙类仓

29、库51单乙醇胺99%液160塑料桶200 kg276丙类仓库52N-甲基吡咯烷酮液140塑料桶200 kg236丙类仓库53N,N 二甲基甲酰胺液30塑料桶200 kg56丙类仓库54氢氟酸液23塑料桶200 kg46丙类仓库55包装、过滤材料滤芯高纯固860 个纸盒1 个1436丙类仓库56包装瓶棕色加仑瓶固130000 个纸盒1 个216676丙类仓库57包装桶塑料桶固13334 个丙类仓库123.4.2 主要原辅材料的理化性质表主要原辅材料的理化性质表 5 项目使用的主要化学品的理化特性和毒性项目使用的主要化学品的理化特性和毒性化学品名称化学品名称成分成分/规格规格CAS 号号沸点沸点(

30、)闪点闪点()蒸气压蒸气压(kPa)燃爆危险性燃爆危险性急性毒性急性毒性硫酸96%7664- 93- 9330无意义0.009本品不燃LD50:2140 mg/kg (大鼠经口)LC50:510 mg/m3/2h (大鼠吸入)氨水30%1336- 21- 638无意义0.892(20)非易燃品LD50:350 mg/kg (大鼠经口)LC50:1.46 mg/L/4h (大鼠吸入)盐酸37%7647- 01- 0110无意义13.3(20)本品不燃LD50:无资料LC50: 4701ppm(30min大鼠吸入)硼酸99.5%10043- 35- 3300无意义无意义 固体本品不燃LD50:26

31、60 mg/kg (大鼠经口)磷酸88%7664- 38- 2158- 213无意义2.2mmHg(20)本品不燃LD50:2740 mg/kg (兔子经口)四甲基氢氧化铵99%75- 59- 235无意义97mmHg (20C)爆炸限%(V/V):36无资料单乙醇胺99%141- 43- 5170.5930.8(60)爆炸限%(V/V):无资料LD50:2050 mg/kg (大鼠经口)LC50:20120mg/m3/4h(大鼠吸入)三乙醇胺99%102- 71- 63351850.67(190)爆炸限%(V/V):无资料LD50:5000mg/kg(大鼠经口)LC50:无资料二甘醇胺99%

32、929- 06- 6222.612710mBar爆炸限%(V/V): 2.0- 15.5LD50:3000mg/kg (大鼠经口)LC50:无资料异丙醇胺99%78- 96- 616080无资料爆炸限%(V/V):无资料LD50:4260 mg/kg (大鼠经口)LC50:无资料五甲基二乙烯三胺95- 99%3030- 47- 5200无资料0.027(20)爆炸限%(V/V):无资料LD50:1330 mg/kg (大鼠经口)LC50: 2060mg/m3/6h (大鼠吸入)羟胺50%/无资料不适用14mBar爆炸限%(V/V):无资料LD50:516 mg/kg (大鼠经口)LC50:无资

33、料三氟乙酸99%76- 05- 172无资料11(20)爆炸限%(V/V):无资料无资料氟化铵40%12125- 01- 8115C不易燃5990mmHg(25C) 爆炸限%(V/V):无资料无资料丙二醇甲醚醋酸酯100%107- 98- 2120353.7mmHg爆炸限%(V/V):无资料无资料丙二醇甲醚100%108- 65- 6146421.2爆炸限%(V/V):无资料无资料13主体树脂苯乙烯类聚合物9003- 53- 6386.2175.21.18E- 6mmHg/25C 爆炸限%(V/V):无资料无资料甲基丙烯酸聚合物9011- 14- 7无资料无资料基本不含游离单体 爆炸限%(V/

34、V):无资料无资料酚醛树脂9003- 35- 4无资料无资料基本不含游离单体 爆炸限%(V/V):无资料无资料添加剂三烷基胺/无资料无资料高炭数(R=C16- 18)无资料无资料三乙醇胺102- 71- 63351850.67(190)爆炸限%(V/V):无资料LD50:5000- 9000mg/kg(大鼠经口)LC50:无资料双环烷基甲基胺/无资料无资料高炭数(R=C16- 18)无资料无资料光酸二苯基碘三氟甲烷磺酸盐98%66003- 76- 7不适用无资料不适用,固体爆炸限%(V/V):无资料无资料重氮奈醌磺酸酯/不适用无资料不适用,固体爆炸限%(V/V):无资料无资料显影液四甲基氢氧化

35、铵 2.38%200882- 91022002.1(25)/LD50:35- 50 mg/kg (大鼠经口)稀释剂丙二醇甲醚70%;丙二醇甲醚乙酸酯 30%/34/易燃液体LD50:8532 mg/kg (大鼠经口)LC50:4350mg/L (大鼠吸入)143.4.3 主要物料挥发性分析主要物料挥发性分析本项目涉及的主要液态化学品的成分及其含量详见表8。根据DB31/933- 2015中对于VOCs的定义和鉴别方式:1)参与大气光化学反应的有机化合物,或根据规定的方法测量或核算确定的有机化合物;2)在20时蒸气压不小于10Pa的有机化合物;3)在101.325kpa标准大气压下,沸点不高于2

36、60的有机化合物;4)实际生产条件下具备以上相应挥发性的有机化合物(不包括甲烷)。据此,本项目使用物料的挥发性分析见表6。表表 6 主要化学品的挥发性分析主要化学品的挥发性分析化学品名称化学品名称成分成分/规格规格沸点沸点()蒸气压蒸气压(kPa)是否是否 VOCs单乙醇胺99%170.50.05(20)是三乙醇胺99%3350.67(190)否二甘醇胺99%2180.0014否异丙醇胺99%1600.063是五甲基二乙烯三胺95- 99%2000.027(20)是三氟乙酸39- 41%7211(20)是四甲基氢氧化铵99%3597mmHg (20C)是丙二醇甲醚醋酸酯100%1203.7mm

37、Hg(20C)是丙二醇甲醚100%1461.2(20C)是光刻胶添加剂三乙醇胺3350.67(190)否三烷基胺无资料高炭数(R=C16- 18)否双环烷基甲基胺无资料高炭数(R=C16- 18)否显影液四甲基氢氧化铵 2.38%1022.1(25)是稀释剂丙二醇甲醚 70%;丙二醇甲醚乙酸酯 30%同上同上是光刻胶丙二醇甲醚 30%;丙二醇甲醚乙酸酯 70%甲基磺酸50- 75%1350.4是阳离子表面活性剂脂肪醇 22%,环氧乙烷 75%,氢氧化钠 0.1%;冰醋酸 0.12%,双氧水 2.0%,水 0.78%环氧乙烷:10.8冰醋酸:117.9环氧乙烷:145.91冰醋酸:1.5是(环氧

38、乙烷、冰醋酸)PEG40099%250未知否N,N- 二甲基甲酰胺99%1530.492是水合肼80%120.15mmHg是- 吡咯烷酮100%250.20.0018否N- 甲基吡咯烷酮99%2030.29mmHg是二甲亚砜99.9%1890.056是SOLVESSO 200100%2320.0018否154、平面布置及合理性分析表、平面布置及合理性分析表7 项目主要构筑物一览表项目主要构筑物一览表楼号建筑物名称规划布置内容层数占地面积(m2)建筑面积(m2)1门卫室门卫及消防控制室11321322综合楼办公及生活区582841403丙类厂房研磨液生产,硫酸铜、清洗液配制及灌装36264187

39、924丙类仓库丙类化学材料及成品仓库2268553705乙类厂房硫酸铜电解及结晶、甲级磺酸铜生产、常规产品及光刻胶生产、清洗液配制35082152466乙类仓库乙类化学材料及成品仓库1198719877动力站(丙类)2140028008三废车间动力、三废车间120482048合计2042650515项目厂区按功能分为公用工程区、仓储区、生产区、办公生活区。东南侧为办公生活区,布置办公综合楼及厂前绿化区,靠近人流出入口;生产区位于西侧,布置一座乙类厂房和一座丙类厂房;仓储区位于中间东侧,布置一座乙类仓库和一座丙类仓库;公用工程区位于北侧,布置动力站、事故水池、三废车间等。各功能单元布置合理设置安

40、全间距,符合现行防火、安全等规范的规定。综上,项目平面布置合理。项目总平面布置见附图 5。各生产车间的平面布置示意见附图 6。5、劳动定员及工作制度、劳动定员及工作制度项目劳动定员 120 人,全年工作 300 天,一线工人 24h 三班制。6、公用工程、公用工程(1)给水厂区供水管网以环形分部, 保证厂区用水。 生产/生活用水采用恒压变流变频供水系统;消防采用特种变流稳压消防泵供水系统,并辅以稳压系统。项目供应的新鲜水主要用于纯水制造、冷却塔补充水、废气处理设施补充水、地面清洗用水及职工生活用水、绿化用水等。项目生产工艺用水由纯水制备的纯水供应。16(2)排水项目排水系统采用分流制,按不同性

41、质分别排放。1) 雨水:厂区雨水经收集后排至市政雨水管道。2) 污水:本项目产生的废水包括生产废水、清下水和职工生活污水。废水经重金属废水预处理系统及全厂废水站处理后,纳管排放。(3)供电项目用电量约 900 万 KWh/a,来自新站区供电电网供给。(4)纯水制备系统在动力站设 1 套纯水制备系统, 工艺为 “砂滤+活性碳过滤+RO 反渗透+EDI 离子交换技术”,纯水制备率为 60%。纯水制备能力为 20t/h。(5)循环冷却系统在动力站顶部设置 3 台 225m3/h 冷却塔,总循环水量 675m3/h,主要用于夏季空调系统冷源和生产物料的降温。(6)空压系统在动力站空压机房内设置 6 台

42、空压机,设计总排气量为 112m3/min。(7)氮气供应项目年用氮气量为 600t/a,在动力站南侧设置 1 座液氮站,供气能力 200m3/h,主要用于洗桶后充氮。(8)储存、运输在厂房内设置乙类仓库和丙类仓库,用于储存原料和成品,运入运出、厂内运输由社会车辆及厂内车辆共同完成。7、产业政策及相关规划符合性分析、产业政策及相关规划符合性分析7.1 与产业政策的相符性分析与产业政策的相符性分析项目所属行业为 C39 计算机、通信和其他电子设备制造业中的 C3985 电子专用材料制造。(1)产业结构调整指导目录()产业结构调整指导目录(2019 年)年)对照产业结构调整指导目录(2019 年本

43、)有关条款的决定,其中鼓励类“二十八、信息产业:22、半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料”。本项目为电子专用材料的制造。因此,本项目属于鼓励类。17(2)与鼓励外商投资产业目录()与鼓励外商投资产业目录(2019 版)版)对照鼓励外商投资产业目录(2019 版)中有关条款,(二十二)计算机、通信和其他电子设备制造业“292. 电子专用材料开发与制造(光纤预制棒开发与制造除外)”,以及“中西部地区外商投资优势产业目录(安徽省)”中有关条款,“27.平板显示屏及上下游材料、零部件、装备的研发与制造”。本项目为电子专用材料的制造,为平板显示屏配套原材料。因此,本项目属于鼓励类。(3)

44、与外商投资准入特别管理措施(负面清单)()与外商投资准入特别管理措施(负面清单)(2019 版)的符合性版)的符合性根据外商投资准入特别管理措施(负面清单)(2019 版),项目不属于其中特别管理措施清单中的行业。综上,本项目的建设符合国家及地方产业政策综上,本项目的建设符合国家及地方产业政策7.2 与区域规划的相符性分析(与区域规划的相符性分析(1)与合肥新站高新技术产业开发区总体规划()与合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)的相符性)的相符性根据合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)用地规划布局图(见附图 3),项目用地属于工业用地,符合用地性质要求。项目

45、位于 B 功能区,B 功能片区重点发展职能:低碳工业、综合商贸、科技研发、生态居住。发展策略: 加快现有三元工业集聚区的综合改造, 加快节能环保及新能源产业发展,兼顾发展新兴工业中的平板显示产业及生产配套企业 (包括与平板显示产业相关的化工产业);对三十头镇区进行有机更新,健全配套公共服务设施,围绕三十头镇区建设新站区城市级服务中心;依托鹤翔湖周边地区建设城市级生态主题公园,沿板桥河滨河地段加强生态景观建设;统筹布局服务于新站区发展的商业商贸、文化体育、教育医疗等公共服务设施。相容性分析:相容性分析:项目属于新兴工业中的平板显示产业及生产配套企业,符合合肥新站区的发展规划。(2)与合肥新站综合

46、开发试验区平板显示及电子信息产业配套化工集中区的批复(合政秘)与合肥新站综合开发试验区平板显示及电子信息产业配套化工集中区的批复(合政秘2014177号)符合性分析号)符合性分析根据 合肥市人民政府关于同意设立合肥新站新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区的批复可知,应本着配套原则,不得布局与产业配套无关的化工项目。本项目生产的电子专用材料属于电子信息产业配套项目。项目产品可供18应晶合电子、长鑫电子、富通微电、新汇成微电子、合肥捷敏、长电科技等合肥市企业。因此,本项目建设符合合肥新站综合开发试验区平板显示及电子信息产业配套化工集中区的批复(合政秘2014177号)要求。7

47、.3 与环保规划的相符性分析(与环保规划的相符性分析(1)与“十三五”生态环境保护规划的相符性)与“十三五”生态环境保护规划的相符性国家“十三五”生态环境保护规划指出:各省(区、市)要制定实施造纸、印染等十大重点涉水行业专项治理方案,大幅降低污染物排放强度。电力、钢铁、纺织、造纸、石油石化、化工、食品发酵等高耗水行业达到先进定额标准。以燃煤电厂超低排放改造为重点,对电力、钢铁、建材、石化、有色金属等重点行业,实施综合治理,对二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘以及重金属等多污染物实施协同控制。项目不属于其中的治污减排重点行业,与该规划协调一致。(2)与打赢蓝天保卫战三年行动计划的相符性)与打赢蓝天保卫战

48、三年行动计划的相符性打赢蓝天保卫战三年行动计划中提出“严控“两高”行业产能。重点区域严禁新增钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产能;严格执行钢铁、水泥、平板玻璃等行业产能置换实施办法;新、改、扩建涉及大宗物料运输的建设项目,原则上不得采用公路运输。深化工业污染治理。持续推进工业污染源全面达标排放,将烟气在线监测数据作为执法依据,加大超标处罚和联合惩戒力度,未达标排放的企业一律依法停产整治。建立覆盖所有固定污染源的企业排放许可制度,2020 年底前,完成排污许可管理名录规定的行业许可证核发。”项目不属于其中严控的“两高”行业,与该规划协调一致。(3)与巢湖流域水污染防治条例的相符性)与巢

49、湖流域水污染防治条例的相符性巢湖流域水污染防治条例中指出:巢湖流域水环境实行三级保护。巢湖湖体,巢湖岸线外延一千米范围内陆域, 入湖河道上溯至一万米及沿岸两侧各二百米范围内陆域为一级保护区;巢湖岸线外延一千至三千米范围内陆域,入湖河道上溯至一万米沿岸两侧各二百至一千米范围内陆域为二级保护区;其他地区为三级保护区。根据第二十三条,水环境一、二、三级保护区内禁止下列行为:新建化学制浆造纸企业;新建制革、化工、印染、电镀、酿造、水泥、石棉、玻璃等水污染严重的小型项目;销售、使用含磷洗涤用品;围湖造地;法律、法规禁止的其他行为。严格限制在水环境三级保护区内新建制革、化工、印染、电镀、酿造、水泥、石棉、

50、玻璃等水污染严19重的大中型项目; 确需新建的, 应当事先报经省人民政府生态环境主管部门同意。 其中,排放含氮、磷等污染物的项目,按照不低于该项目氮、磷等重点水污染物年排放总量指标,实行减量替代。本项目位于巢湖流域三级保护区,项目所属行业为 C39 计算机、通信和其他电子设备制造业中的 C3985 电子专用材料制造, 不属于巢湖流域三级保护区禁止和严格限制行业。7.4 与相关与相关 VOCs 控制政策及技术要求的符合性分析控制政策及技术要求的符合性分析关于印发的通知中提出,对石化/化工、包装印刷、工业涂装、储油库、加油站等 VOCs 排放重点行业的挥发性有机物提出综合治理要求,项目不属于其中的

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