1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）（供生态环境部门信息公开使用）项目名称： 胜科纳米集成电路专业分析测试平台项目建设单位 （盖章） ：胜科纳米（福建）有限公司编制日期：2021 年 12 月中华人民共和国生态环境部制1一、建设项目基本情况建设项目名称胜科纳米集成电路专业分析测试平台项目项目代码2111-350582-04-03-703660建设单位联系人*联系方式*建设地点福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路 17 号地理坐标（东经：118 度 31 分 46.600 秒，北纬：24 度 42 分 52.830 秒）国民经济行业类别M7452 检测服务建设项目行业类别四十五、研究和试
2、验发展：98、专业实验室、研发（试验基地）建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）晋江市发展和改革局项目审批（核准/备案）文号 （选填）闽发改备2021C050773 号总投资（万元）35000环保投资（万元）100环保投资占比（%）0.29施工工期/是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）租赁厂房面积 7370.24m2专项评价设置情况无规划情况文件名：福建经济开发区（五里园）总体规划；审批机关：福建省人民政府；审批文件名及文号： 晋江市人民政府关于晋江经济开发区 （五里园
3、）总体规划的批复（晋政文（2007）282 号）。规划环境影响评价情况文件名：福建晋江经济开发区（五里园、安东园）规划环境影响报告书；审批机关：福建省生态环境厅（原福建环保厅）；2审查文件名及文号：关于福建晋江经济开发区（五里园、安东园）规划环境影响报告书的审查意见的函（闽环保监2010153号）。规划及规划环境影响评价符合性分析1、用地规划符合性分析用地规划符合性分析（1）与福建）与福建经济开发区（五里园）经济开发区（五里园）规划用地符合性分析规划用地符合性分析本项目选址于晋江市经济开发区（五里园）泉源路 17 号，根据福建经济开发区（五里园）总体规划用地规划图（见附图 9），项目用地规划为
4、一、二类工业用地，周边以工业用地和交通道路为主，项目选址符合园区用地规划要求。（2）与与晋江市城市总体规划晋江市城市总体规划规划符合性分析规划符合性分析项目选址于晋江市经济开发区（五里园），根据晋江市城市总体规划 （2010-2030） 市域城乡用地规划图 （见附图 7） ，项目用地规划为工业用地，根据项目土地证：晋国用2007第01211 号（见附件 4），项目土地用途为工业用地，因此符合晋江市城市总体规划。（3）与与晋江市晋江市土地利用土地利用总体规划总体规划符合性分析符合性分析根据晋江市土地利用总体规划（2006-2020）（见附图 8），项目所在地属于现状建设用地，项目建设符合晋江市土
5、地利用总体规划。2、与、与福建经济开发区（五里园）福建经济开发区（五里园）产业定位符合性分析产业定位符合性分析五里园规划定位为“以发展高新技术产业及当地传统优势产业第一、二类工业为主，优先发挥在那电子信息、机电一体化、生物医药、新材料等高新技术产业，鼓励投资纺织、服装、机械加工、食品、精细化工、制鞋等传统优势产业。”项目位于五里园一、二类工业用地，主要从事半导体材料芯片检测分析，属于高新技术产业，在产业定位上与园区规划的产业定位相符，故项目建设符合园区产业规划要求。3、与与福建晋江经济开发区（五里园、安东园）福建晋江经济开发区（五里园、安东园）规划环评要求规划环评要求3符合性分析符合性分析福建
6、晋江经济开发区（五里园、安东园）规划环境影响报告书相关内容：（1）五里园鼓励引进项目鼓励发展“电子信息、机电一体化、生物医药、新材料等”高新技术产业中污染影响较小的一、二类工业企业。鼓励发展“纺织、服装、机械加工、制鞋、食品等”传统优势产业，优先布置位于城乡的一、二类工业企业。不饱和树脂、聚酞胺树脂、油墨等精细化工企业为晋江市服装、制鞋、印刷、人造革等行业的上游产业，属晋江市的传统支柱产业之一。五里园可有条件引进这类污染影响相对较小的精细化工产业，但应严格把关，重点对规划布局、污染治理措施、清洁生产、环境风险防范、周边环境相容性等进行分析、论证。（2）限制、禁止引进项目限制引进废气污染严重及高
7、耗水型企业。禁止引进不符合国家相关法律法规、产业政策和清洁生产要求的项目。禁止引进电镀、漂染、皮革造纸等三类工业企业。本项目主要从事半导体材料芯片检测分析，属于高新技术产业，属于五里园鼓励类项目，不属于五里园限制、禁止引进项目。项目所采用工艺、技术为国内目前普遍采用的工艺，工艺技术成熟、可靠。项目使用电能等清洁能源，废气经处理设施处理后，废气排放量小，生活污水经处理后可达标排放，污染物排放水平可达到同行业国内先进水平。因此，项目建设符合规划环评要求。4其他符合性分析1、产业政策符合性、产业政策符合性分析分析项目主要从事半导体材料芯片检测分析，对照产业结构调整指导目录（2019 年本），本项目属
8、于“三十一、科技服务业：6、分析、试验、测试以及相关技术咨询与研发服务”，属于鼓励类项目；同时，晋江市发展和改革局于 2021 年 11 月2 日通过了本项目的备案（备案文号：闽发改备2021C050773号），项目建设符合当前国家产业政策要求。2、环境功能区划合理性环境功能区划合理性分析分析水环境项目位于晋江市经济开发区（五里园）泉源路 17 号，区域纳污水域为安海湾， 根据 2020 年度泉州市生态环境状况公报，项目纳污海域安海湾符合区域水质环境功能区要求，项目选址符合水环境功能区划要求。大气环境根据2020 年泉州市城市质量通报，评价区环境空气现状质量较好，项目正常生产运营阶段，区域大气
9、环境质量仍能满足大气环境功能区划要求，故项目选址与大气环境功能区划相适应。声环境根据项目厂界环境质量现状的监测结果，评价区声环境质量良好，符合声环境质量标准（GB3096-2008）3 类标准要求， 生产噪声经厂房隔声、 距离衰减后对周边环境影响不大。故项目选址与声环境功能区划相适应。3、生态功能区划生态功能区划符合性分析符合性分析根据晋江生态市建设规划修编（2011-2020 年）（详见附图 10），项目位于“晋江中心城区城市生态功能小区”范围内，其主导生态功能为城市生态环境；生态保育和建设方向主要是完善城市基础设施建设，包括污水处理厂及园区污水管5网建设、垃圾无害化的建设，合理规划城市布局
10、与功能，建设城区公共绿地和工业区与居住办公区之间的生态隔离带，各组团之间建设生态调节区。以新区建设为重点，推动新的城市空间格局形成，通过新的城市功能的配置和良好的城市环境的营造，加大城区景观生态建设，提升城市生态建设水平，改变原有“城乡混杂”局面，改善人居环境。本项目无生产废水排放，外排废水仅生活污水，生活污水经化粪池处理达标后排入晋江泉荣远东污水处理厂，对周边地表水环境影响不大。另外，项目废气、噪声经采取相应的治理措施治理达标后排放对周围环境影响不大。因此，本项目建设符合城市生态建设的方向，与晋江生态市建设规划修编不冲突。4、与晋江引水管线保护符合性分析、与晋江引水管线保护符合性分析晋江供水
11、工程供水主通道供水管线总长 28.573km， 在南高干渠 15km 处的田洋取水口取水输送至东山水库、溪边水库、龙湖，并由溪边分水枢纽连通草洪塘水库。在南高干渠和各调蓄湖库建泵站和输水管道与各镇水厂接轨。晋江市引水管线管理范围为其周边外延 5m，保护范围为管理区外延 30m。晋江引水二通道，自金鸡水闸取水，沿途流经泉州鲤城、清濛开发区，最终进入晋江市供水公司位于池店镇的田洋取水口，再输送到晋江的 3 个水库，设计输水规模为 21m3/s，全长 17km。晋江市引水管线管理范围为其周边外延 5m，保护范围为管理区外延 30m。本项目位于晋江市经济开发区（五里园）泉源路 17 号，不在晋江引水管
12、线的保护范围内。因此项目选址符合晋江引水管线保护的相关要求。5、与与“泉州市环境保护委员会办公室关于建立泉州市环境保护委员会办公室关于建立 VOCs 废气综废气综合治理长效机制的通知合治理长效机制的通知”（泉环委函（泉环委函20183 号）符合性分析号）符合性分析根据“泉州市环境保护委员会办公室关于建立 VOCs 废气6综合治理长效机制的通知”（泉环委函20183 号）：“新建涉 VOCs 排放的工业项目必须入园，实行区域内 VOCs 排放等量或倍量消减替代。新改扩建项目要使用低（无）VOCs 含量原辅材料，采取密闭措施，加强废气收集，配套安装高效治理设施后，减少污染排放”。本项目位于五里园工
13、业区内，所使用原辅材料均为低（无）VOCs 含量的材料，产生的有机废气采取集气措施后经活性炭吸附浄化处理后通过排气筒排放。项目的选址及有机废气治理措施符合当地的环境准入要求。因此，项目的选址符合“泉州市环境保护委员会办公室关于建立 VOCs 废气综合治理长效机制的通知”（泉环委函20183 号）相关要求。6、与与泉州市泉州市 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案年挥发性有机物治理攻坚实施方案符合符合性分析性分析根据泉州市 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案，项目涉及的挥发性有机污染物治理攻坚实施方案重点任务如下：1、大力推进源头替代，有效减少 VOCs 产生；2、全面落实标准要求，强
14、化无组织排放控制；3、聚焦治污设施“三率”，提升综合治理效率。项目采取符合要求的原辅料，本项目有机废气由通风橱、集气管道收集后经活性炭吸附浄化处理后通过1根20m高排气筒 DA001 排放。严格落实了挥发性有机物的治理要求。因此，项目的建设符合泉州市 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案文件的要求。7、“三线一单三线一单”控制要求的符合性分析控制要求的符合性分析（1）生态保护红线本项目不在自然保护区、风景名胜区、饮用水源保护地和其他需要特别保护等法律法规禁止开发建设的区域。因此，项目建设符合生态红线控制要求。7（2）环境质量底线项目所在区域的环境质量底线为：环境空气质量目标为环境空气质量标
15、准（GB3095-2012）二级，地表水环境质量目标为海水水质标准（GB3097-1997）三类水质标准，声环境质量目标为声环境质量标准（GB3096-2008）3 类标准。本项目废水、废气、噪声经治理之后对环境污染较小，固废可做到无害化处置。采取相关防治措施后，本项目排放的污染物不会对区域环境质量底线造成冲击。（3）资源利用上线本项目分析研发过程中所用的资源主要为水、电，且本项目不属于高耗能项目。项目运营后通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效的控制污染及资源利用水平。因此，项目的水、电、气等资源利用不会突破区
16、域的资源利用上线。（4）环境准入负面清单根据“产业政策符合性分析”，项目建设符合当前国家产业政策要求。“ 负面清单” 符合性 经检索市场准入负面清单（2020年） 及 泉州市内资投资准入特别管理措施 （负面清单） （试行），项目不在上述清单的禁止准入类和限制准入类。因此，项目建设符合国家产业政策和市场准入负面清单（2020 年）及泉州市内资投资准入特别管理措施（负面清单）（试行）相关要求。根据泉州市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的通知（泉政文202150 号），项目位于福建晋江经济开发区，属于重点管控单元，具体分析见表 1-1。8表表 1-1 与生态环境分区管控符合性分析一览表与
17、生态环境分区管控符合性分析一览表适用范围准入要求本项目符合性泉州市总体准入要求陆域空间布局约束1.除湄洲湾石化基地外， 其他地方不再布局新的石化中上游项目。2.泉州高新技术产业开发区 （鲤城园） 、泉州经济技术开发区、 福建晋江经济开发区五里园、 泉州台商投资区禁止引进耗水量大、重污染等三类企业。3.福建洛江经济开发区禁止引入新增铅、汞、镉、铬和砷等重点重金属污染物排放的建设项目， 现有化工 （单纯混合或者分装除外） 、 蓄电池企业应限制规模， 有条件时逐步退出； 福建南安经济开发区禁止新建制浆造纸和以排放氨氮、总磷等主要污染物的工业项目；福建永春工业园区严禁引入不符合园区规划的三类工业， 禁
18、止引入排放重金属、持久性污染物的工业项目。4.泉州高新技术产业开发区（石狮园）禁止引入新增重金属及持久性有机污染物排放的项目； 福建南安经济开发区禁止引进电镀、 涉剧毒物质、 涉重金属和持久性污染物等的环境风险项目。5.未经市委、市政府同意，禁止新建制革、造纸、电镀、漂染等重污染项目。项目位于福建晋江经济开发区五里园，项目建设不属于耗水量大、重污染等三类企业。符合污染物排放管控涉新增 VOCs 排放项目，实施区域内VOCs 排放 1.2 倍削减替代。项目新增VOCs 排放按1.2倍削减替代符合福建晋江经济开发区重点管控单元空间布局约束1.五里园禁止引入三类工业。2.安东园安置散布于城乡的皮革、
19、染整、 电镀等重污染企业， 三类工业用地优先安置晋江市制革、 染整、 电镀等 “退二进三”企业。本项目不属于三类工业。符合污染物排放管控1.加快污水管网建设， 确保区内工业企业所有废(污)水全部纳管集中处理，鼓励企业中水回用。2.印染、 发酵类制药建设项目新增污染物排放量，应实行化学需氧量不低于1.2 倍、 氨氮不低于 1.5 倍的削减替代。3.新、 改、 扩建涉重点重金属建设项目，重金属污染物须“等量置换”或“减量置换”。4.新（迁、改、扩）建企业须达到国内清洁生产先进水平。项目所在区域污水管网建设完善，污水可排入污水处理厂处理；项目不属于涉重点重金属建设项目；项目可达到国内清洁生产先进水平
20、。符合环境风险1.建立健全环境风险防控体系， 制定环境风险应急预案， 建立完善有效的环境项目按要求建立健全环境风符合9防控风险防控设施和有效的拦截、 降污、 导流等措施， 防止泄漏物和事故废水污染地表水、地下水和土壤环境。2.单元内现有具有潜在土壤污染环境风险的企业， 应建立风险管控制度， 完善污染治理设施， 储备应急物资。 污染地块列入修复地块名单， 应当进行修复的， 由造成污染的单位和个人负责被污染土壤的修复。险防控体系、制定应急预案、完善风险防控措施、储备应急物资等，可做到防止泄漏物污染地表水、地下水、土壤环境。资源开发效率要求具备使用再生水条件但未充分利用的化工、 印染等项目， 不得批
21、准其新增取水许可。不涉及符合根据以上分析， 本项目符合 泉州市人民政府关于实施 “三线一单”生态环境分区管控的通知（泉政文202150 号）的相关要求。综上所述，项目选址和建设符合“三线一单”控制要求。10二、建设项目工程分析建设内容一、项目由来一、项目由来胜科纳米（福建）有限公司位于晋江市经济开发区（五里园）泉源路 17 号，主要从事对半导体材料芯片进行检测分析的业务， 该公司租赁晋江五里电商产业园有限公司的闲置厂房用于生产，租赁厂房总建筑面积 7370.24m2，其中生产厂房建筑面积约 6111.84m2，宿舍建筑面积约 1258.4m2，生产规模为年检测半导体材料芯片 100000 件，
22、 企业已进行投资项目备案， 备案号： 闽发改备2021C050773号。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年）规定，本项目属于“四十五、研究和试验发展：98、专业实验室、研发（试验基地）：其他（不产生实验废气、废水、危险废物的除外）”，应编制环境影响报告表。我公司接受委托后，组织有关人员进行现场踏勘，在对项目开展环境现状调查、资料收集等和调研的基础上，按照环境影响评价有关技术规范和要求，编制完成本项目环境影响报告表，供建设单位报送生态环境主管部门审批。表表 2-1 建设环境影响评价分类管理名录建设环境影响评价分类管理名录环评类别项目类别报告书报告表登记表四十五、研究和试验发展98
23、、专业实验室、研发（试验）基地P3、 P4 生物安全实验室；转基因实验室其他（不产生实验废气、废水、危险废物的除外）/二、二、项目项目概况概况（1）项目名称：胜科纳米集成电路专业分析测试平台项目（2）建设单位：胜科纳米（福建）有限公司（3）建设地点：福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路 17 号（4）建设规模：租赁出租方厂房总建筑面积 7370.24m2，其中检测分析、办公场所位于租赁厂房 1F，建筑面积约 6111.84m2，宿舍位于租赁厂房西侧的出租方宿舍楼 5F、6F，建筑面积约 1258.4m2；建设规模为年检测半导体材料芯片100000 件。（5）总 投 资：35000 万元
24、11（6）员工人数：拟定员总职工数 120 人，均住厂（7）工作制度：年工作 340 天，日工作 24 小时，三班制（8）出租方概况：本项目所租赁的厂房是晋江五里电商产业园有限公司租赁金保利（泉州）包装科技有限公司的闲置厂房，本项目与晋江五里电商产业园有限公司签订租赁合同，即出租方为晋江五里电商产业园有限公司，出租方仅进行厂房出租，没有进行生产活动。三、工程组成三、工程组成本项目工程组成包括主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程等，工程建设内容及规模见表 2-2，厂区平面布置图见附图 4，车间平面布置图见附图 5。表表 2-2项目组成项目组成一览表一览表工程组成建设内容备注主体工程实验室位于厂
25、房内南侧、东侧，建筑面积约 2720m2，主要有 SEM精密实验室、EFA 精密实验室、FIB 精密实验室、老化实验室、环境实验室等拟建辅助工程办公区位于厂房内北侧，建筑面积约 1656m2拟建宿舍楼位于出租方厂区西侧，出租方宿舍楼的 5F、6F，建筑面积约 1258.4m2依托出租方食堂位于出租方厂区西侧，出租方宿舍楼 1F依托出租方仓储工程样品间设有 2 间样品间，位于厂房东南侧，面积约 120m2，主要用于暂存分析材料拟建仓库位于车间西北侧，面积约 50m2拟建气瓶间位于车间东北侧，面积约 20m2，用于暂存气体类原辅材料拟建试剂室位于厂房内东北侧，面积约 25m2，用于暂存化学品试剂，
26、其中易制爆类化学品和易制毒类化学品与其他化学品分开存放拟建公用工程供水市政供水依托出租方供电市政供电排水雨污分流环保工程废水食堂废水经隔油池处理后与生活污水一同经化粪池处理后排入园区污水管网废气有机废气由实验操作台上方的通风橱、集气管道收集后经活性炭吸附净化装置处理后通过 1 根 20m 高排气筒（DA001）排放拟建酸性废气、氨气由实验操作台上方的通风橱、集气管道收集后与有机废气一同通过 1 根 20m 高排气筒（DA001）排放拟建食堂油烟废气经静电油烟净化器处理后通过 1 根 20m 高排气筒 （DA002）排放依托出租方噪声生产设施采取减振、消音措施，厂房隔音，加强设备的维护管理拟建1
27、2固废危险废物危险废物暂存间位于厂房东北侧，建筑面积 20m2拟建生活垃圾垃圾收集桶拟建四、检测方案四、检测方案本项目主要对半导体材料芯片进行检测，检测品来源于相关企业的委托检测，检测方案及检测规模详见表 2-3。表表 2-3项目项目检测检测方案及规模方案及规模检测品主要检测类别检测能力备注半导材料芯片样品完好性检查和烘烤预处理回流焊模拟试验年检测量100000 件/样品烘烤处理/失效定位分析类检测OM 光学观测光学显微镜 OpticalMicroscope，简称 OM声学扫描分析/X 射线检验/铜线工艺封装 IC 样品开封集成电路 IntegratedCircuit，简称 IC硅胶封装 IC
28、 样品开封环氧树脂封装 IC 样品开封聚酰胺酯封装 IC 样品开封激光刻蚀/俄歇电子能谱分析/扫描电子显微镜/能谱分析/垂直型微电极控制仪/多功能显微锻针磨针仪/EMMI/OBIRCH 漏电流及短路检测EMMI：微光显微镜；OBIRCH： 光束诱导电阻变化增强型热成像分析/FIB 离子束聚集观察截面聚焦离子束：FocusedIon beam，简称 FIB离子束减薄仪样品表面减薄微米级减薄后待用/IC 样品研磨集成电路 IntegratedCircuit，简称 IC离子刻蚀（RIE）反应离子刻蚀：Reactive ion etching，简称 RIE样品染色试验/IC 工艺解剖集成电路 Inte
29、gratedCircuit，简称 IC环境可靠性试验/13ESD 分析静电放电： ElectrostaticDischarge，简称 ESD材料表征分析类检测原子层薄膜沉积（ALD）原子层沉积：Atomiclayer deposition，简称ALD透射电子显微镜/能谱分析/AES 表面成分检测（nm 级检测）俄歇电子能谱：Augerelectron spectroscopy，简称 AESSEM 表面观察（um 级检测）扫描电子显微镜：Scanning ElectronMicroscope， 简称 SEM五、五、主要检测设备主要检测设备项目主要检测设备见表 2-4。表表 2-4 项目主要项目主
30、要检测检测设备一览表设备一览表序号设备名称型号数量(台)1加热台ET-302052切割机SYJ-200H13体式显微镜(高清视频显微镜)H2601UT2VS-2601UST24科能光固化机/25去离子水机STU51200RE26离子减薄仪EM TIC 3X17基恩士 3D 显微镜VHX-700028OM 尼康LV150N29激光刻蚀机Global Etch II110离子刻蚀机（RIE）/111特鲁利磨抛机A1pha-100B412标乐单盘磨抛机Ecomet30213ALLIED 磨抛机M-PREPS214离子溅射镀膜仪108Auto215扫描电子显微镜SU8230&Oxford(牛津探头)1
31、SU5000116EDXELECT SUPER217双束聚焦离子束显微镜（FIB）G5&Oxford118透射电子显微镜（TEM）TalosF200XG2119FIB/TEM 减震台14x-911R1320TEM 消磁器AMC-331121数字源表IT6333C114241012450322半导体分析仪B15051B1500A223EMMI/OBBICHPHEMOS-1000124探针设备（高压）SH-81252DX 射线扫描显微镜CHEETAH EV0126声学扫描显微镜GEN-6127回流焊HOTFLOW3/20128快速温变箱TCC-151W229高温实验箱SEG-041H530高度加速
32、寿命试验箱（小）EHS-222MD231高度加速寿命试验箱（大）EHS-431M-L232高低温湿热试验箱GPS-4233高低温冲击试验箱（气态）TSA-73EH-W134高低温湿热试验箱GPS-31六、主要原辅材料用量六、主要原辅材料用量主要原辅材料及用量见表 2-5，原辅材料理化性质见表 2-6。表表 2-5 项目项目原辅材料及用量一览表原辅材料及用量一览表序号名称单位年用量规格/位置备注1氮气L/a800040L/瓶，气瓶间原子层薄膜沉积、 离子束减薄仪样品表面减薄微米级减薄后待用研磨2氧化铝g/a100100g/瓶，试剂室原子层薄膜沉积3氧化铪g/a200200g/瓶，试剂室原子层薄膜
33、沉积4高纯氮气L/a810040L/瓶，气瓶间原子层薄膜沉积、离子刻蚀、离子束减薄仪样品表面减薄微米级减薄后待用研磨5高纯氩气L/a12040L/瓶，气瓶间离子刻蚀、 离子束减薄仪样品表面减薄微米级减薄后待用研磨6液氮L/a4800175L/罐，气瓶间离子束减薄仪样品表面减薄微米级减薄后待用研磨7氧气L/a8040L/瓶，气瓶间离子刻蚀8四氟化碳L/a1340L/瓶，气瓶间离子刻蚀9氦气L/a12040L/瓶，气瓶间离子刻蚀10六氟化硫L/a2040L/瓶，气瓶间离子刻蚀11丙酮L/a500含量 99.5%， 试剂室铜线工艺封装 IC 样品开封、硅胶封装 IC 样品开封、环氧树脂封装 IC 样
34、品开封、聚酰胺酯封装 IC 样品开封、样品染色1512无水乙醇L/a50含量 99.9%， 试剂室设备清洗13树脂溶解剂Dynasolve218L/a10液体，试剂室硅胶封装 IC 样品开封14树脂溶解剂Dynasolve711L/a10液体，试剂室环氧树脂封装 IC 样品开封15树脂溶解剂DynasolveCu-7L/a10液体，试剂室聚酰胺酯封装 IC 样品开封16氢氧化钾g/a1500固体，试剂室IC 工艺解剖17双氧水L/a5含量 30%，试剂室样品染色18氢氧化钠g/a4500固体，试剂室IC 工艺解剖19浓硫酸L/a60含量 98%，试剂室铜线工艺封装 IC 样品开封29盐酸L/a
35、20含量 36%，试剂室IC 工艺解剖21发烟硝酸L/a200含量95%，试剂室铜线工艺封装 IC 样品开封22醋酸L/a6含量 36%，试剂室样品染色23硝酸L/a15含量 68%，试剂室铜线工艺封装 IC 样品开封24二氧化硅抛光液L/a80液体，试剂室IC 工艺解剖25氢氟酸L/a7含量 40%，试剂室样品染色26磷酸L/a8含量 85%，试剂室IC 工艺解剖27BOEkg/a10氟化铵 2.5%、氢氟酸 44.1%、 水 53.4%，试剂室IC 工艺解剖28氨水L/a10含量 25.0%-28.0%，试剂室IC 工艺解剖29红墨水kg/a5液体，试剂室样品染色30去锡液kg/a10液体
36、，试剂室聚酰胺酯封装 IC 样品开封31无水乙二胺L/a50液体，试剂室铜线工艺封装 IC 样品开封32乙二醇丙醚L/a10液体，试剂室环氧树脂封装 IC 样品开封主要能耗、资源消耗33水吨/年7480/34电Kwh/年50 万/表表 2-6原辅材料理化性质一览表原辅材料理化性质一览表名称理化性质燃烧爆炸性毒性毒理氮气无色无味压缩气体。熔点-209.9，沸点-196，相对密度（水=1）：0.81，相对蒸气密度 （空气=1） ： 0.97， 微溶于水、乙醇，溶于液氨。不燃。若遇高热， 容器内压增大， 有开裂和爆炸的危险。空气中氮气含量过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。氧化铝白色结晶性粉末。
37、 沸点 2980，熔点2000，相对密度 4.0，不溶于水用非极性有机溶剂。不燃。 具有刺激性。毒性低，对眼睛、皮肤具有机械性刺激。氧化铪用于光谱分析及催化剂体系，耐熔材料。熔点：2810。/刺激皮肤和粘膜。16高纯氮气无色无味压缩气体。熔点-209.9，沸点-196，相对密度（水=1）：0.81，相对蒸气密度 （空气=1） ： 0.97， 微溶于水、乙醇，溶于液氨。不燃。若遇高热， 容器内压增大， 有开裂和爆炸的危险。空气中氮气含量过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。高纯氩气无色无味的惰性气体。熔点-189.2，沸点-185.9，相对密度（水=1）：1.40，相对蒸气密度（空气=1）：1
38、.66，微溶于水。不燃。若遇高热， 容器内压增大， 有开裂和爆炸的危险。常压下无毒。高度浓时，使氧分压降低而发生窒息。液氮压缩液体，无色无臭。熔点-209.8，沸点-195.6，相对密度（水=1）：0.81，相对蒸气密度（空气=1）：0.97，微溶于水、乙醇。不燃。若遇高热， 容器内压增大， 有开裂和爆炸的危险。皮肤接触液氮可致冻伤，如在常压下汽化产生的氮气过量，可使空气中氧分压下降，极端情况下可能引起缺氧窒息。氧气无色无味气体，熔点-218.8，沸点-183.1，相对密度 1.14（-183，水=1），相对蒸气密度 1.43（空气=1），饱和蒸气压 506.62kPa（-164）。本品助燃。
39、人类吸入 TCLo：100pph/14H。四氟化碳无色无味气体，化学式 CF4， 分子量 88。 熔点： -183.6， 沸点：-127.8，相对密度（水=1）：1.96（-184）。不溶于水，溶于苯和氯仿。不燃气体， 遇高热后容器内压增大，有开裂、爆炸危险。LCLo： 895000ppm （大鼠吸入，15min）。氦气无色无臭的惰性气体。熔点：-272.1C 沸点：-268.9C，蒸气密度 (空气=1)：0.14。不溶于水、乙醇。不燃气体。本品为惰性气体，高浓度时可使氧分压降低而有窒息危险。六氟化硫无色气体，化学式 SF6，分子量146.05。 相对密度 （水=1） ： 1.67（-100）
40、，相对蒸气密度（空气=1）：6.602，熔点-50.8，微溶于水、醇及醚，可溶于氢氧化钾。不燃气体， 遇高热后容器内压增大，有开裂、爆炸危险。兔子静脉注射 LD50：5790mg/kg。 纯品急性毒性低，主要危害为高浓度时引起窒息。丙酮无色液体。熔点-94.6，沸点56.48，溶于苯、水、醇、二甲基甲酰胺、醚、氯仿及多数油互溶。相对密度 0.79(水=1)。本品极度易燃，具刺激性。 闪点-4，自燃点465，爆炸极限 2.512.8%。急性毒性 LD50：5800mg/kg（大鼠经口）；5340mg/kg（兔经口）。无水乙醇无色流动性液体，具有愉快的酒香。熔点-114.1沸点：78.3，相对密度
41、(水=1)0.79，与水、醚、氯仿及甘油等溶剂互溶。本品易燃， 具刺激性。 爆炸极限3.319。 闪点13(闭杯)，自燃点 363。急性毒性 LD50：小鼠经口 3450 mg/kg。树脂溶解剂Dynasolve218琥珀色液体，沸点185；闪点 65； 相对密度 （ （水=1） ） ：不易燃， 遇水会产生酸。避免实际接触眼睛和皮肤，避免吸入和吞170.84。下试剂。树脂溶解剂Dynasolve711蓝色液体，沸点 120；闪点：40.6，相对密度（水=1）：0.99。不易燃无毒；避免实际接触眼睛和皮肤，避免吸入和吞下试剂。树脂溶解剂DynasolveCu-7白色液体，沸点 200，闪点95.
42、6， 相对密度 （水=1） 1.03。不易燃无毒；避免实际接触眼睛和皮肤，避免吸入和吞下试剂。氢氧化钾白色固体。沸点 1327，熔点380，相对密度 2.044，不溶于醚，易溶于乙醇及水。本品不燃， 具强腐蚀性、 强刺激性， 可致人体灼伤。强碱性，可以造成皮肤及眼睛严重灼伤。LD50：大鼠经口1230mg/kg 或273mg/kg。双氧水无色液体。低温时为结晶性固体。沸点 152，熔点-0.43，相对密度 1.44，与水互溶，溶于乙醚、乙醇，不溶于石油醚。本品助燃， 具强刺激性。吸入本品蒸气或雾对呼吸道有强烈刺激性。长期接触本品可致接触性皮炎。氢氧化钠白色具吸湿性固体。沸点1388，熔点 32
43、3，具强烈的腐蚀性，相对密度 2.13/25，无生物富集性，易溶于水，可溶于乙醇、甲醇及甘油。本品不燃， 具强腐蚀性、 强刺激性， 可致人体灼伤。LD50：小鼠腹腔注射40mg/kg。浓硫酸纯品为无色油状液体。能散发刺鼻烟雾，熔点-11(含SO320%)，沸点 166.6(含SO320%)，相对密度 1.9(含SO320%)，与水互溶，具强吸湿性。本品不燃， 具强腐蚀性、 强刺激性， 可致人体灼伤。LD50：8mg/kg(大鼠经口)。盐酸无色或微黄色发烟液体，有刺鼻的酸味，熔点-114.8，沸点108.6， 相对密度 （水=1） 1.20，相对密度（空气=1）1.26.与水混溶，溶于碱液。本品
44、不然， 具强腐蚀性、 强刺激性， 可致人体灼伤。LD50：900mg/kg(兔经口)，LC50：3124ppm。1 小时（大鼠吸入）。发烟硝酸无色透明发烟液体，常含氮氧化物呈红棕色，有酸味。沸点86，熔点-42，相对密度1.55，溶于水及醚。本品助燃， 具强腐蚀性、 强刺激性， 可致人体灼伤。对眼睛、皮肤、粘膜及呼吸道具有强烈的灼伤作用。LD50：大鼠经口90mL/kg。醋酸无色透明液体，有刺激性酸臭。熔点 16.7，沸点 118.1，相对密度（水=1）2.07，相对密度（空气=1）1.05，饱和蒸汽压1.52（20）。溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳。本品易燃， 具有强腐蚀性、 强刺激性。闪
45、点39， 爆炸极限417%，临界温度 321.6。LD50：3530mg/kg（大鼠经口），1060mg/kg（兔经皮）；LC50：13791mg/m3，1 小时（小鼠吸入）。硝酸纯品为无色透明发烟液体，有酸味，熔点-42，沸点 86，相对密度（水=1）1.5，相对密度（空气=1）2.17，与水混溶。本品不燃， 具有强刺激性、 强腐蚀性， 可致人体灼伤。其蒸气有刺激作用，长期接触会造成人体灼伤。二氧化硅抛光液透明液体，主要成份氢氟酸，水；浓度 12%。本品不燃， 但与大多数金属反LC50：1044 mg/m3(大鼠吸入)。18应， 生成氢气而引起爆炸。 腐蚀性强。氢氟酸无色透明有刺激性臭味的液
46、体，熔点-83.1，沸点 120，相对密度（水=1）1.26，相对密度（空气=1）1.27，与水混溶。本品不燃， 具有强刺激性， 强腐蚀性， 可致人体灼伤。LC50：1276ppm，1 小时(大鼠吸入)。磷酸纯磷酸为无色结晶，无臭，具有酸味。熔点 42.4，沸点260，相对密度（水=1）1.87，相对密度（空气=1）3.38，与水混溶，可溶于乙醇。本品不燃， 具有强刺激性， 强腐蚀性， 可致人体灼伤。LD50：1530mg/kg（大鼠经口）；2740mg/kg（兔经皮）。氨水无色透明液体，有强烈的刺激性臭味。 相对密度 （水=1） 0.91.饱和蒸汽压 1.59/20， 溶于水、醇。本品可燃，
47、 具有刺激性， 爆炸极限 1625%。易分解释放氨气，可形成爆炸性气体。LD50：350mg/kg（大鼠经口）。无水乙二胺无色或微黄色油状或水样透明液体。熔点 8.5，自燃点385。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。遇热、明火、氧化剂易燃， 燃烧危险性中等。蒸气对粘膜和皮肤有强烈刺激性。乙二醇丙醚无色液体，微有芳香气味，烧灼味，与水互溶，相对密度(d2020)0.9112，沸点 151.3。可燃低毒七、七、项目水平衡项目水平衡（1）给水本项目新鲜水用水包括实验室用水和职工生活用水（包括食堂用水），由市政给水管网供水。实验室用水：项目实验室用水包括冷却水、IC 研磨用水及样品染色工艺中清洗用水等，类比
48、同类型实验室建设项目，项目实验室用水量约 4t/d，即1360t/a。生活用水（包括食堂用水）：项目职工定员 120 人，均住厂，日工作 24小时， 三班制， 年工作日 340 天， 根据 福建省行业用水定额（DB35/T772-2018） ，住宿人员按 150L/(人天)，则需用水量为 18t/d（6120t/a），其中食堂用水量约占生活用水量的 20%， 则食堂用水量为 3.6t/d （1224t/a） ， 其他生活用水量为 14.4t/d（4896t/a）。（2）排水19项目实验过程产生的实验室废水单独收集后作为危废处置； 实验室冷却水循环使用，不外排，外排废水为生活污水（包括食堂废水）
49、，排放系数按 80%计，则项目食堂废水排放量为 2.88t/d（979.2t/a），其他生活污水排放量为 11.52t/d（3916.8t/a）。项目外排废水为生活污水（包括食堂废水），食堂废水经隔油池处理后与生活污水一同排入化粪池处理，处理后排入园区污水管网，最终纳入晋江泉荣远东污水处理厂处理，处理达标后尾水排入安海湾。综上所述，项目总用水量为 7480t/a，总外排废水量为 4896t/a，项目水平衡图如下：图图 2-1 项目水平衡图（项目水平衡图（t/d）实验室用水4.0蒸发损耗 0.72新鲜水其他生活用水其他生活污水经化粪池处理后排入园区污水管网蒸发损耗 2.8814.411.5211
50、.5222食堂用水经隔油池处理后与生活污水一同排入化粪池处理后再排入园区污水管网循环使用或作为危废处置，不外排3.64.0食堂废水2.882.88工艺流程和产排污环节一、工艺流程一、工艺流程本项目检测类别根据检测目的，检测类别可分为两大类：失效定位分析和材料表征分析。失效定位分析是在不破坏样品或部分破坏样品的情况下，定位出失效问题的物理位置， 其中不破坏样品情况下的检测分析主要为 OM 光学观测、 声学扫描分析和 X 射线检验；部分破坏样品的检测分析主要包括俄歇电子能谱分析、垂直型微电极控制仪检测分析、IC 样品研磨等；材料表征分析包括原子层薄膜沉积（ALD）、透射电子显微镜/能谱分析等检测内
