1、 表 4：中国大陆主要晶圆厂商的产能和远期规划 . 11 表 5：我国特气行业有关政策整理 . 13 表 6：部分国产特气公司概况 . 18 表 6：国际国内主要的气体公司对比 . 18 表 7：华特气体主营业务 . 21 表 8：华特气体特气产能、产量及销量 . 21 表 9：公司科创板募集资金拟投项目 . 21 表 10：华特气体主力产品参数与同行比较 . 22 表 11：金宏气体主营业务 . 23 表 12：金宏气体特气产能及规划 . 24 表 13：金宏气体部分产品市场份额 . 24 表 14：金宏气体主力产品参数与同行比较 . 24 表 15：南大光电主营业务 . 25 表 16：昊
2、华科技特气业务 . 26 表 17：昊华科技特气产能、产量及销量 . 27 表 18：昊华科技特气产能扩张规划 . 27 表 19：派瑞特气现有产能及规划产能 . 28 行业深度报告 5 / 30 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 1. 电子工业的“血液”电子工业的“血液”电子特气电子特气 工业中，常温常压下呈气态的产品被人们统称为工业气体产品。根据制备方 式和应用领域的不同，工业气体可分为大宗气体和特种气体。大宗气体主要包括 氧、氮、氩等空分气体，及乙炔、二氧化碳等合成气体，特种气体主要包括电子 气体、高纯气体和标准气体。大宗气体产销量大，但是对纯度要求不高。特种气 体产销量虽小，但根
3、据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允 许的最高含量、产品的包装贮运等，都有极其严格的要求，属于高技术、高附加 值产品。 图图 1：工业气体分类工业气体分类 资料来源：金宏气体招股书，德邦研究所 在半导体在半导体的的生产中，大宗气体和电子特气都有应用。生产中，大宗气体和电子特气都有应用。大宗气体主要包括空分 气体中的氧气、氮气，品种少、用量大，对纯度要求不高（99.99%左右甚至是普 通纯度） ，可用于助燃、防氧化等，供应方式以现场制气、集中供应为主。电子特 气主要包括氢化物、氟化物、氟代烷烃、金属有机化合物等等，是超大规模集成 电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、
4、光纤等电子工业生产不 可缺少的基础性支撑原材料，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散 等工艺，供应方式以零售分散供应为主。 随着半导体和微电子工业的迅猛发展，随着半导体和微电子工业的迅猛发展，业界业界对电子对电子特气特气的品种、数量、质量的品种、数量、质量 及纯度及纯度都都提出了提出了更更高的要求高的要求。一般而言，对电子特气的纯度要求达到了 4.5N、5N 甚至 6N、8N（N 指纯度百分比中 9 的个数，小数点后的 5 表示最后一位不满 9 的小数，4.5N 表示 99.995%，8N 表示 99.999999%） ，同时还要求将金属元素净 化到 10-9级至 10-12级。纯度每
5、提升一个 N，以及粒子、金属杂质含量浓度每降低 一个数量级，都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。一旦电子特气的纯度或是 净度不达标，轻则使得产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，甚至报废， 造成巨额损失。电子特气在半导体工业中起到举足轻重的作用，被称为电子工业电子特气在半导体工业中起到举足轻重的作用，被称为电子工业 的“血液” 。的“血液” 。 表表 1：气体纯度分类气体纯度分类 气体等级气体等级 纯度要求纯度要求 杂质含量杂质含量 应用领域应用领域 普通气体 3N 100010-6 一般器件 纯气体 4N 10010-6 晶体管和晶闸管等 工业气体工业气体 大宗气体大宗气体 氧气氧气 氮气
6、氮气 氩气氩气 特种气体特种气体 电子特气电子特气 氢化物氢化物 氟化物氟化物 碳氟化物碳氟化物 高纯气体高纯气体 高纯氧气高纯氧气 高纯氢气高纯氢气 标准气体标准气体 行业深度报告 6 / 30 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 高纯气体 5N 1010-6 大规模集成电路和特殊器件等 超高纯气体 6N 110-6 超大规模集成电路和特大规模集成电路 6N 0.110-6 资料来源：公开资料，德邦研究所 1.1. 品种庞杂、功能多样，不可或缺的关键材料品种庞杂、功能多样，不可或缺的关键材料 电子特气下游的主要应用包括半导体、显示面板、光伏和电子特气下游的主要应用包括半导体、显示面板、光
7、伏和 LED。全球范围内 来看，半导体行业对电子特气的需求占到总量的 71%，显示面板需求占到 18%。 与其余地区相比，我国的晶圆代工产业的发展稍显滞后，而以京东方为代表的显 示面板企业则已经初具规模。因此，与全球范围相比，我国电子特气的下游应用 比例有所差别，其中半导体行业对电子特气需求占到国内总需求的 42%，显示面 板需求占到 37%。 图图 2：全球电子特气下游需求占比全球电子特气下游需求占比 图图 3：我国电子特气下游需求占比我国电子特气下游需求占比 资料来源：Linx Consulting，德邦研究所 资料来源：前瞻产业研究院，德邦研究所 在半导体工业中，常用的特种气体有 100
8、 多种，其中在集成电路制造中的硅 片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等核心工艺环节中，需要的特 种气体种类超过 50 种。 目前电子特气并没有形成国际通行的分类体系，通常根据 气体的用途对其进行区分，比如外延晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、 扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注人气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、 光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气（有的气体有多种用途）等。 表表 2：电子特气的分类和典型气体电子特气的分类和典型气体 分类 典型气体 掺杂气 AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、(CH3)2
9、Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te 晶体生长气 SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、 (C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2 气相蚀刻气 Cl2、HCl、HF、HBr、SF6 等离子蚀刻气 SiF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、N2、Ar、He 离子束蚀刻气 C
10、3F8、CHF3、CClF3、CF4 离子注入气 AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、N2、H2 化学气相沉积气 SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2 平衡气（稀释气） N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2 外延气 SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、N2、Ar、He、H2 资料来源：中国知网，德邦研究所 尽管半导体生产中要用的特种气体品种繁多， 但单种气体的用量并不是太大。尽管半导体生产中要用的特种气体品种繁多， 但单种气体的用量并不是太大。 根据统计， 一个月产量 5 万片的 8 英寸晶
11、圆厂一年要用的电子特气数量有 56 种， 金额约为 5000 万元。 具体到个别品种， 以下表中用量最大的三氟化氮气体为例， 一年用量为 628 瓶，常用的规格一瓶为 50Kg，一年大约消耗 31.4 吨，按某上市 公司出厂价 15 万元/吨左右计，折合金额 471 万元。 光伏, 3%化合物半导 体/LED, 8% 半导体, 71% 显示面板, 18% 光伏, 13% 化合物半导 体/LED, 8% 半导体, 42% 显示面板, 37% 行业深度报告 7 / 30 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 表表 3：月产月产 5 万片的万片的 8 英寸晶圆厂一年的特气用量（瓶）英寸晶圆厂一年的
12、特气用量（瓶） 气体 用量 气体 用量 气体 用量 气体 用量 NF3 628 CF4 62 C4F8 24 Ar+O2 1% 5 C2F6 551 BF3(3.4L) 59 ClF3(40kg) 18 Xe (30L) 4 SiH4(12kg) 458 WF6 51 SDS3 BF3(330g) 15 ND3 (2N 29.5L) 4 NH3 263 BF3(1L) 51 Xe 14 CH3F GAS 4 N2 258 Cl2 43 Ar(3.4L) 13 PH3 SAGE, B49/4.711kg 3 HCl(47L) 251 4%N2/H2 42 Kr+F2+Ne 12 50ppm PH
13、3/H2 3 He+SiH4 20% 198 BCl3 36 20ppm B2H6/H2 (5N) 12 He(10L, 5N, Purge Gas) 2 N2O 180 SiHCl3(TCS,41kg) 35 10% CH4+Ar 9 CH2F2 2 N2+SiH4 20% 147 HBr 32 PH3 8 C5F8 2 He 81 N2(6N) 31 AsH3 8 SiF4(SDS) 1 CO2(30kg) 77 SiH2Cl2 30 Ar(1L) 8 300ppm B2H6/H2(9.81 MPa) 1 1.25%Kr+Ne 73 C3F8 30 CO2(10L) 8 1.5% GeH4
14、/H2 1 SF6 66 He+PH3 1% 25 C4F6 GAS 5 1% CH3SiH3/H2 1 CO 66 CHF3 25 AsH3 SDS3 5N5 2.5L 5 1% AsH3/H2 (11.8 MPa) 1 资料来源：华特气体销售部宣传材料，德邦研究所 也正是由于电子特气多品种、小批量、高频次的特点，使得下游半导体产业 的客户希望气体供应商能够覆盖更多类别的产品， 并且提供包装容器处理、 检测、 维修及供气系统的设计、安装等专业化的配套服务，从而满足其一站式的用气需 求，这对气体公司的综合服务能力提出了较高的要求。因此，为了满足客户的需 求，气体公司不仅需要内生性地提升产能和产
15、品质量，还需要通过不断地研发新 品种的特气，或者通过外延并购其余气体公司拓展产品线。 1.2. 气体工业百年，垄断格局已成气体工业百年，垄断格局已成 工业气体行业起源于1886年的英国， Brins兄弟建立了BOC （英国氧气公司） ， 起初气体行业的主要产品包括氧气、氢气、一氧化碳、氮气等等重要的大宗工业 原料，对纯度要求并不高。 20 世纪 60 年代，随着电子工业等高新技术的发展，出现了电子气体及其它 特殊用途的高纯气和混合气， 统称为特种气体。 由于特种气体是当时的新兴行业， 涉及的气体品种繁多，应用范围又很广，各国对特种气体没有形成统一的定义和 分类。 到 20 世纪 80 年代，经
16、过十多年的发展，全球各主要气体公司都相继成立了 特种气体部，或设立专门生产和供应各种高纯气体及混合气体的类似机构，高纯 气体的种类扩展到 130 多种，半导体产业中， 高纯氨、氯化氢、 二氧化碳、硅烷、 乙硼烷、硒烷、磷烷、砷烷等气体得到广泛的应用。到 80 年代末，高纯气体的种 类膨胀到 260 多种。这一时代业界对气体的纯度要求达到 4.5-5N。彼时，我国的 电子气体工业发展还不完善，研究多是对国外技术的跟踪与翻译，特种气体品种 和纯度上大约落后于国外先进技术 10 年左右。国家通过“六五” 、 “七五”计划针 对高纯烷类气体、蚀刻气、三氟化氮等特种气体展开技术攻关，实现部分品种的 初步
17、自主供应。 20 世纪 90 年代，业界对气体的纯度要求进一步提高到 6N 甚至 8N，国外的 大型气体公司逐步建立了具有自己特色的、 分工明确和门类齐全的气体控制体系。 尽管我国的气体工业也有了长足的发展，但在气体纯度、混配、贮运、分析、净 化和应用上，与国外仍然有着 10 年左右的技术代差。据统计，截止到 1997 年， 已经有 7 家国外大型气体公司在我国近三十个城市建厂。国内以光明院（上市公 司昊华科技的前身） 、南京大学（孵化上市公中国市场调研在线2020-2024年鱼粉行业市场竞争力调查及投资前景预测报告2020-2024年鱼粉行业市场竞争力调查及投资前景预测报告报告编号：1453
18、957中国市场调研在线 了解更多，欢迎访问：中国市场调研在线 行业市场研究属于企业战略研究范畴，作为当前应用最为广泛的咨询服务，其研究成果以报告形式呈现，通常包含以下内容：一份专业的行业研究报告，注重指导企业或投资者了解该行业整体发展态势及经济运行状况，旨在为企业或投资者提供方向性的思路和参考。一份有价值的行业研究报告，可以完成对行业系统、完整的调研分析工作，使决策者在阅读完行业研究报告后，能够清楚地了解该行业市场现状和发展前景趋势，确保了决策方向的正确性和科学性。中国市场调研在线基于多年来对客户需求的深入了解，全面系统地研究了该行业市场现状及发展前景，注重信息的时效性，从而更好地把握市场变化
19、和行业发展趋势。一、 基本信息报告名称2020-2024年鱼粉行业市场竞争力调查及投资前景预测报告报告编号1453957访问时，请说明此编号。报告类型报告版本发布机构多用户、行业、产业/市场研究报告2020版北京博研智尚信息咨询有限公司数据来源与研究方法：对行业内相关的专家、厂商、渠道商、业务（销售）人员及客户进行访谈，获取最新的一手市场资料；博研咨询对此产品长期监测采集的数据资料；产品相关的行业协会、国家统计局、海关总署、国家发改委、工商总局等政府部门和官方机构的数据与资料；行业公开信息；业内企业及上、下游企业的季报、年报和其它公开信息；各类中英文期刊数据库、图书馆、科研院所、高等院校的文献
20、资料；行业资深专家公开发表的观点；对行业的重要数据指标进行连续性对比，反映行业的运行和发展趋势；通过专家咨询、小组讨论、桌面研究等方法对核心数据和观点进行反复论证。二、内容介绍北京博研咨询信息咨询有限公司（简称博研咨询）是国内致力于“为企业战略决策提供专业解决方案”的顾问专家机构，公司成立于2010年，总部位于中国北京。市场需求行业的市场需求进行分析研究：1、市场规模：通过对过去连续五年中国市场行业消费规模及同比增速的分析，判断行业的市场潜力与成长性，并对未来五年的消费规模增长趋势做出预测。该部分内容呈现形式为“文字叙述+数据图表（柱状折线图）”。2、产品结构：从多个角度，行业的产品进行分类，
21、给出不同种类、不同档次、不同区域、不同应用领域的产品的消费规模及占比，并深入调研各类细分产品的市场容量、需求特征、主要竞争厂商等，有助于客户在整体上把握行业的产品结构及各类细分产品的市场需求。该部分内容呈现形式为“文字叙述+数据图表（表格、饼状图）”。3、市场分布：从用户的地域分布和消费能力等因素，来分析行业的市场分布情况，并对消费规模较大的重点区域市场进行深入调研，具体包括该地区的消费规模及占比、需求特征、需求趋势该部分内容呈现形式为“文字叙述+数据图表（表格、饼状图）”。4、用户研究：通过产品的用户群体进行划分，给出不同用户群体产品的消费规模及占比，同时深入调研各类用户群体购买产品的购买力
22、、价格敏感度、品牌偏好、采购渠道、采购频率等，分析各类用户群体产品的关注因素以及未满足的需求，并对未来几年各类用户群体产品的消费规模及增长趋势做出预测，从而有助于厂商把握各类用户群体产品的需求现状和需求趋势。该部分内容呈现形式为“文字叙述+数据图表（表格、饼状图）”。竞争格局本报告基于波特五力模型，从行业内现有竞争者的竞争能力、潜在竞争者进入能力、替代品的替代能力、供应商的议价能力以及下游用户的议价能力等五个方面来分析行业竞争格局。同时，通过行业现有竞争者的调研，给出行业的企业市场份额指标，以此判断行业市场集中度，同时根据市场份额和市场影响力对主流企业进行竞争群组划分，并分析各竞争群组的特征；此外，通过分析主流企业的战略动向、投资动态和新进入者的投资热度、市场进入策略等，来判断行业未来竞争格局的变化趋势。标杆企业对标杆企业的研究一直是博研咨询研究报告的核心和基础，因为标杆企业相当于行业研究
