1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）（供生态环境部门信息公开使用）项目名称：年产半导体致冷片 84 万件项目建设单位 （盖章） ：泉州市依科达半导体致冷科技有限公司编制日期：2021 年 9 月中华人民共和国生态环境部制1一、建设项目基本情况建设项目名称年产半导体致冷片 84 万件项目项目代码2108-350598-04-03-577099建设单位联系人*联系方式*建设地点泉州市经济技术开发区孵化基地科技工业楼（崇仁街 2 号科技工业楼一、二层）地理坐标（东经：118 度 33 分 9.40 秒，北纬：24 度 52 分 42.14 秒）国民经济行业类别C3972 半导体分立器件制造建设项目行
2、业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39：电子器件制造 397；建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）泉州经济技术开发区管理委员会科技经济发展局项目审批（核准/备案）文号（选填）闽发改备2021C120040号总投资（万元）700 （新增 50 万元）环保投资（万元）11（新增 2 万元）环保投资占比（%）1.6施工工期/是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）总租赁面积 2187m2（新增租赁面积 560m2）专项评价设置情况无规划情况泉州经济技术开发区清濛园
3、区控制性详细规划规划环境影响评价情况文件名：泉州市清濛科技工业区环境影响报告书；审查单位：泉州市生态环境局（原泉州市环境保护局）；审批文号：泉环保1997134 号。2规划及规划环境影响评价符合性分析1、用地、用地规划符合性分析规划符合性分析本项目选址于泉州市经济技术开发区孵化基地科技工业楼，根据泉州经济技术开发区清濛园区控制性详细规划土地利用规划图 （附图 7） ， 项目所在地块属于公共服务设施用地；同时，本项目生产用房为租赁泉州市高新技术创业服务中心的孵化基地科技工业楼一层和二层厂房，出租方泉州市高新技术创业服务中心属于政府机构，项目所在地块为投产企业，属于工业用地，出租方泉州市高新技术创
4、业服务中心出具的关于本项目经营场所使用证明见附件 6。因此，项目用地符合泉州经济技术开发区用地规划要求。2、与泉州经济技术开发区（清濛区）规划环评符合性分析、与泉州经济技术开发区（清濛区）规划环评符合性分析本项目与泉州经济技术开发区（清濛区）规划环评相符性分析见表 1-1。表表 1-1 与泉州经济技术开发区（清濛区）规划环评符合性分析与泉州经济技术开发区（清濛区）规划环评符合性分析分析内容规划环评及审查意见要求项目情况符合性废水处置污水全部纳入泉州市清濛科技工业区投建过渡污水处理厂处理。中、远污水处理量为 4.3 万吨。项目生产废水经厂区内生产废水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污水一同排入
5、市政污水管网， 纳入泉州市清濛污水处理厂处理。符合总量控制在总量控制指标尚未下达前大气污染控制总量为：SO2637.3t/a、TSP2354.3t/a。供热：工业区应采取集中供热方式， 使用燃油锅炉。 在集中供热锅炉未建成前引进的企业需供热的应使用燃油锅炉。项目总量控制指标没有超过规划环评规定限值。项目生产工艺采用电能供热，不使用供热锅炉。符合固废处置固体废弃物应按报告书提出的方案， 分门别类进行处理： 固体废弃物经预处理后统一送城市垃圾处理厂进行无害化处理。项目废玻璃、 半导体材料废渣、研磨渣、生产废水处理站污泥暂存于一般固废暂存场所， 定期由相关单位回收处置； 生活垃圾由环卫部门统一清运；
6、废切削液、 废化学品包装物暂存于危废间， 定期由有资质单位回收处置。符合3噪声应合理规划， 项目的布局应符合规划要求， 防止工业小区之间及项目之间影响， 特别是对居住小区的影响。 工业企业厂界噪声控制在昼间65dB(A)，夜间55dB(A)以内。根据当地环保管理要求，本项目各厂界噪声均可达到 工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008) 2 类标准。符合产业定位清濛园区七大主导产业集群为电子信息、汽车制造、生物医药、机电一体化、轻纺化纤、体育用品、工艺礼品产业。项目主要从事半导体致冷片的生产属于 “电子信息产业”。符合根据表 1-1 分析可知，项目建设符合泉州经济技术开发区（清濛区
7、）规划环评相关要求。其他符合性分析1、产业政策符合性、产业政策符合性分析分析项目主要从事半导体致冷片的生产，对照产业结构调整指导目录（2019 年本），项目属于第一类 鼓励类：二十八、信息产业：22、半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等）等电子产品用材料”，属于鼓励类项目。同时，泉州经济技术开发区管理委员会科技经济发展局于 2021 年 8 月 3 日通过了本项目的备案（备案文号：闽发改备2021C120040 号），故项目建设符合当前国家产业政策要求。2、与饮
8、用水源保护区符合性分析、与饮用水源保护区符合性分析本项目位于泉州市经济技术开发区孵化基地科技工业楼，东北面隔 420m 为南高干渠。 南高干渠水源保护区是城市集中式饮用水水源地， 福建省人民政府于 2009 年 2 月以闽政文 200948 号文给予批复，泉州市人民政府对南高干渠等中心市区饮用水源保护区范围进行调整，其中南高干渠水源保护区具体保护区划分情况如下：一级保护区：南高干渠渠首至加沙断面水域及其两侧栏杆外延 6 米、围墙外延 5 米范围陆域。准保护区：南高干渠一级保护区外延 50 米范围陆域。4根据中华人民共和国水污染防治法：“第六十条 禁止在饮用水水源准保护区内新建、扩建对水体污染严
9、重的建设项目；改建建设项目，不得增加排污量。”本项目距南高干渠 420m，不在其饮用水水源准保护区内，且生产废水经厂区内生产废水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污水一同排入市政污水管网，纳入泉州市清濛污水处理厂处理达标后排入晋江金鸡闸-鲟埔段， 不排入饮用水水源水体。因此，本项目符合饮用水水源准保护区的规定要求，符合南高干渠水源保护区划分要求。3、与挥发性有机物排放相关要求的符合性分析、与挥发性有机物排放相关要求的符合性分析（1）与与泉州市泉州市 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案年挥发性有机物治理攻坚实施方案的符合性分析的符合性分析根据泉州市 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案
10、，项目涉及的挥发性有机污染物治理攻坚实施方案重点任务如下：1、大力推进源头替代，有效减少 VOCs 产生；2、全面落实标准要求，强化无组织排放控制；3、聚焦治污设施“三率”，提升综合治理效率。项目采取符合要求的原辅料，电火花切割机切割过程产生的少量有机废气采用车间整体抽风方式收集后拟经 1 套活性炭吸附净化装置处理后通过 1 根 15m 高排气筒高空排放，严格落实了挥发性有机物的治理要求。因此，项目的建设符合泉州市 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案文件的要求。（2）与泉州市关于建立与泉州市关于建立 VOCS废气综合治理长效机制废气综合治理长效机制的的符符合性分析合性分析2018 年，泉
11、州市环境保护委员会办公室制定了“关于建立VOCS废气综合治理长效机制的通知”（泉环委函20183 号）。该通知中主要要求如下所示： “新建涉 VOCS排放的工业项目必须入园， 实行区域内 VOCS排放等量或倍量消减替代。 新改扩建项目要使用低（无）VOCS含量原辅材料，采取密闭措施，加强废气收集，配套安装高效治理设施后，减少污染排放”。5本项目废气排放涉及有机废气排放，项目所在地为泉州经济技术开发区，为工业园区；项目电火花切割过程会产生少量非甲烷总烃，切割车间密闭，切割废气采用车间整体抽风方式收集后拟经 1 套活性炭吸附净化装置处理后通过 1 根 15m 高排气筒高空排放；项目使用的原料属于低
12、（无）VOCs 含量原辅材料。项目的选址及原辅材料选用、有机废气治理措施、园区要求等符合“泉州市环境保护委员会办公室关于建立 VOCs 废气综合治理长效机制的通知” （泉环委函20183 号）的相关要求。（3） 与与 福建省重点行业挥发性有机物污染防治工作方案福建省重点行业挥发性有机物污染防治工作方案的符合性分析的符合性分析根据福建省重点行业挥发性有机物污染防治工作方案（闽环保大气（2017）6 号）：“新改扩建项目要使用低 VOCs含量原辅材料，采取密闭措施，加强废气收集，配套安装高效治理设施，减少污染排放。”本项目电火花切割过程会产生少量非甲烷总烃，切割车间密闭，切割废气采用车间整体抽风方
13、式收集后拟经 1 套活性炭吸附净化装置处理后通过 1 根 15m 高排气筒排放；项目使用的原料属于原料使用低(无)VOCs 含量原辅材料。项目原辅材料选用、有机废气治理措施等符合福建省重点行业挥发性有机物污染防治工作方案（闽环保大气（2017）6 号）的相关要求。综上所述，项目符合福建省、泉州市挥发性有机物相关文件的规定要求，符合地方挥发性有机物排放标准的规定要求，项目建设合理。4、与生态环境分区管控符合性分析、与生态环境分区管控符合性分析福建省人民政府于 2020 年 12 月 22 日发布了福建省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的通知（闽政202012 号），实施“三线一单”生
14、态环境分区管控，对全省生态环境总体准入提出要求，详见表 1-2。6表表 1-2 本项目与本项目与“全省生态环境总体准入要求全省生态环境总体准入要求”对比一览表对比一览表准入要求本项目是否符合空间布局约束1.石化、汽车、船舶、冶金，水泥、制浆造纸、印染等重点产业，要符合全省规划布局要求。2.严控钢铁、水泥、平板玻璃等产能过剩行业新增产能，新增产能应实施产能等量或减量置换。3.除列入国家规划的大型煤电和符合相关要求的等容量替代项目，以及以供热为主的热电联产项目外，原则上不再建设新的煤电项目。4.氟化工产业应集中布局在关于促进我省氟化工产业绿色高效发展的若干意见中确定的园区，在上述园区之外不再新建氟
15、化工项目，园区之外现有氟化工项目不再扩大规模。5.禁止在水环境质量不能稳定达标的区域内，建设新增相应不达标污染物指标排放量的工业项目。本项目为半导体致冷片生产项目，不涉及重点产业及产能过剩行业，项目的建设与空间布局约束要求不相冲突。符合污染物排放管控1.建设项目新增的主要污染物排放量应按要求实行等量或倍量替代。涉及总磷排放的建设项目应按照要求实行总磷排放量倍量或等量削减替代。涉及重金属重点行业建设项目新增的重点重金属污染物应按要求实行“减量置换或“等量替换。涉新增 VOCs 排放项目，VOCs 排放实行区域内等量替代， 福州、厦门、漳州、泉州、莆田、宁德等 6 个重点控制区可实施倍量替代。2.
16、新建水泥、有色金属项目应执行大气污染物特别排放限值，钢铁项目应执行超低排放指标要求，火电项目应达到超低排放限值。3.尾水排入近岸海域汇水区域、“六江两溪”流域以及湖泊、水库等封闭、半封闭水城的城镇污水处理设施执行不低于一级 A 排放标准。项目涉及VOCs 的排放，且位于重点控制区，应施行倍量替代，本项目VOCs 排放由泉州经济技术开发区管理委员会自然资源和规划建设局按 1.2 倍调剂。符合5、“三线一单三线一单”控制要求的符合性分析控制要求的符合性分析（1）生态保护红线项目选址不涉及自然保护区、风景名胜区、重要湿地、生态公益林、重要自然与人文景观、文物古迹及其他需要特别保护的区域，项目用地红线
17、不在饮用水源保护区范围内。项目选址符合生态保护红线要求。7（2）环境质量底线项目所在区域环境质量底线为：环境空气质量目标为环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准，水环境质量目标为海水水质标准（GB3097-1997）第三类水质标准，声环境质量目标为声环境质量标准（GB3096-2008）2 类标准。本项目废水、废气、噪声经治理之后对环境污染较小，固废可做到无害化处置。采取本环评提出的相关防治措施后，本项目排放的污染物不会对区域环境质量底线造成冲击。（3）资源利用上线项目从事半导体致冷片的生产，能源以液化石油气和电为主，水资源及液化石油气能源消耗量均不大，不属于高耗能和资源消耗型企业
18、。且项目运营后通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效的控制污染及资源利用水平。因此，项目的水、电等资源利用不会突破区域的资源利用上线。（4）环境准入负面清单本环评依据国家、地方产业政策及市场准入负面清单（2020 年）及泉州市内资投资准入特别管理措施（负面清单）（试行）进行分析说明。根据“产业政策符合性分析”，项目建设符合国家和地方当前产业政策。经查市场准入负面清单（2020 年），本项目不在其禁止准入类和限制准入类之中。另外，检索泉州市内资投资准入特别管理措施（负面清单）（试行），项目采用的生产设备、工艺、产品
19、均不在名单内。综上所述，项目建设符合“三线一单”控制要求。8二、建设项目工程分析建设内容一、扩建后一、扩建后项目项目基本情况基本情况（1）项目名称：年产半导体致冷片 84 万件项目（2）建设单位：泉州市依科达半导体致冷科技有限公司（3）建设地点：泉州经济技术开发区孵化基地科技工业楼（4）建设规模：租赁泉州市高新技术创业服务中心孵化基地科技工业楼一、二层厂房作为生产经营场所，租赁面积共 2187m2（一层 560m2，二层1627m2），其中一层厂房为此次扩建项目新增厂房；扩建后建设规模为年产半导体致冷片 84 万件。（5）总投资：现有工程总投资 650 万元，新增 50 万元，扩建后总投资70
20、0 万元（6）员工人数：总职工数 43 人，无新增职工（7）工作制度：年工作 300 天，日工作 8 小时（8）平面布置情况：依科达公司现有工程位于科技工业楼二层，总建筑面积约 1627m2，本项目将科技工业楼一层也租赁作为生产场所，新增建筑面积约 560m2，扩建后总建筑面积 2187m2，项目厂区平面布置图见附图 4。项目扩建前后变化情况见表 2-1。表表 2-1项目扩建前后变化情况一览表项目扩建前后变化情况一览表项目扩建前扩建后备注产品及产量年产半导体致冷片 60 万件年产半导体致冷片 84 万件产能扩大总投资650 万元700 万元新增 50 万元建筑面积总建筑面积 1627m2总建筑
21、面积 2187m2新增建筑面积 560m2主要生产设备详见表 2-7详见表 2-4新增 2 台多线切割机原辅材料详见表 2-6详见表 2-3原辅材料用量增大废气处理设施采用喷火枪对玻璃管加热封口时产生的燃料废气经油烟机收集后通过 1 根 15 m 高排气筒排放； 电火花切割机切割时产生的切割废气采用车间采用喷火枪对玻璃管加热封口时产生的燃料废气经油烟机收集后通过 1 根 15 m 高排气筒排放； 电火花切割车间密闭， 切割废气采用车间整体抽拟新增一套活性炭吸附净化装置，电火花切割废气排气筒9整体抽风的方式收集后通过2 根 15m 高排气筒排放风的方式收集后拟经 1 套活性炭吸附净化装置处理后通
22、过 1 根 15m 高排气筒排放合并为 1 根排气筒生活污水处理设施化粪池化粪池不变生产废水处理站絮凝沉淀-中和絮凝沉淀-中和不变工作制年生产 300 天， 日工作 8 小时年生产 300 天， 日工作 8 小时不变职工人数43 人，均不住厂43 人，均不住厂不变二、扩建后工程组成二、扩建后工程组成本项目工程组成包括主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程等，工程建设内容及规模见表 2-2。表表 2-2 项目组成及主要建设内容一览表项目组成及主要建设内容一览表项目组成项目名称建设内容备注主体工程厂房二层建筑面积约 1627m2，主要为清洗、封口、粉碎、退火、封胶、喷码等工序已建厂房一层建筑面积约
23、 560m2，主要为多线切割工序拟建辅助工程检测室位于厂房二层，建筑面积约 50m2，主要为检测产品物理性能已建公用工程给水工程由市政给水管网供给已建排水工程生产废水和生活污水由不同管道收集，分别排入盛泰路市政污水管网已建供电工程开发区供电线路直接供电已建供热工程采用电能加热已建环保工程废水生产废水经厂区内生产废水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污水一同排入盛泰路市政污水管，生产废水处理站处理能力为 1m3/h已建废气采用喷火枪对玻璃管加热封口时产生的燃料废气经油烟机收集后通过 1 根 15 m 高排气筒排放；电火花切割车间密闭，切割废气采用车间整体抽风的方式收集后拟经 1 套活性炭吸附净化
24、装置处理后通过 1 根 15m 高排气筒排放切割废气处理设施拟建噪声减震垫、车间隔声已建固废垃圾桶、一般固废堆场（20m2）、危废间（10m2）已建其他事故应急池，由三个空储罐组成，位于厂区东侧，容积约 10m3已建三、三、主要的原辅材料及年用量主要的原辅材料及年用量（1）主要原辅材料及水电用量10扩建前后所用的主要原辅材料及用量对比情况见表 2-3。表表 2-3 扩建前后扩建前后原辅材料及用量一览表原辅材料及用量一览表序号名称扩建前用量（t/a） 扩建后用量（t/a） 变化量（t/a）备注1碲粒56.43+1.43固体颗粒状，袋装2锑粒0.951.22+0.273硒粒0.090.12+0.0
25、34铋粒2.733.51+0.785锡膏0.50.64+0.14/6助焊剂0.20.26+0.06/7陶瓷片65 万套/a84 万套/a+19 万套/a/8金刚砂7.59.6+2.1/9虫胶0.30.39+0.09/10玻璃管33.9+0.9/11电子线40 万米/a51 万米/a+11 万米/a/12704 硅胶1200 支/a1543 支/a+343 支/a/13清洗剂0.30.39+0.09/14切削液11.3+0.3/15PAC220絮凝剂16PAM0.0240.024017水3000t/a3390t/a+390t/a/18电36 万 kwh/a38 万 kwh/a+2 万 kwh/a
26、/19液化石油气510m3/a630m3/a+120m3/a/部分原料理化性质：碲粒：元素符号为 Te，原子序数为 52。碲为斜方晶系银白色结晶。在所有的非金属同伴中，它的金属性是最强的。熔点 452，沸点 1390，密度6.25 克/立方厘米。溶于硫酸、硝酸、王水、氰化钾、氢氧化钾；不溶于冷水和热水、二硫化碳。以碲粉为原料，用多硫化钠抽提精制而得，制得高纯碲纯度为 99.999%。供半导体器件、合金、化工原料及铸铁、橡胶、玻璃等工业作添加剂用。锑粒：元素符号为 Sb，原子序数为 51。银白色有光泽硬而脆的金属（常制成棒、块、粉等多种形状），有鳞片状晶体结构。相对密度 6.68，熔点 6301
27、1，沸点 1635。在潮湿空气中逐渐失去光泽，强热则燃烧成白色锑的氧化物。易溶于王水，溶于浓硫酸。远离火种、热源，防止阳光直射。切忌与氧化剂、食用化学品、酸类等共储混运。灭火：干粉、砂土。禁止 CO2和酸碱灭火剂。锑在室温下的空气中是稳定的，但加热时能与氧气反应生成三氧化二锑。硒粒：元素符号是 Se，原子序数为 34，是一种非金属。灰色带金属光泽的固体，熔点 221，沸点 684.9，密度 4.81 克/立方厘米。不溶于水、醇，溶于硫酸、硝酸、碱。能导电，且其导电性随光照强度急剧变化。可以用作半导体和光敏材料、电解锰行业催化剂、动物体必需的营养元素和植物有益的营养元素等。铋粒：元素符号是 Bi
28、，原子序数为 83，是一种非金属。银白色至粉红色的金属，质脆易粉碎，铋的化学性质较稳定。熔点 271.3，沸点 1560。铋的硒化物和碲化物具有半导体性质。铋不溶于水，不溶于非氧化性的酸（如盐酸）即使浓硫酸和浓盐酸，也只是在共热时才稍有反应，但能溶于王水和浓硝酸。锡膏：锡膏是焊锡粉、助焊剂以及其它的添加物混合而成的膏体。焊锡膏在常温下有一定的粘性，可将电子元器件初粘在既定位置，在焊接温度下，将被焊元器件与印制电路焊盘焊接在一起形成永久连接。助焊剂：本项目采用进口免清洗助焊剂，主要成分包括异丙醇溶剂、高分子丙烯酸树脂、及表面活性剂、缓蚀剂和防氧化剂等。虫胶： 虫胶树脂是一种由羟基羧酸脂肪酸和倍半
29、萜烯酸构成的一个具有弹性的网络，空隙中还含有低分子脂肪酸的混合物。虫胶漆片是一种生物制品，用在家具上和家庭室内涂料具有无污染物、无刺激性气味无毒、对皮肤无过敏症状是一种高档次涂料，避免了普通涂料中的甲醛隐患，覆盖在普通油漆和涂料上，可阻止甲醛气体外泄对人体造成伤害，避免有毒物质直接接触到人的皮肤。对光滑的表面如玻璃、金属、云母等具有强烈的粘附力，其醇溶液或碱溶液能很好地粘附于各种物体表面，并形成一层光滑、光亮和耐久的漆膜，及其无毒 ，所以可广泛用于食品、医药、军工、电气、油墨、皮革、冶金、机械、木器、橡胶等行业。12704 硅胶：一种粘接性好，高强度，无腐蚀的单组份室温硫化硅橡胶。具有优良的电
30、绝缘性能、密封性能和耐老化性能，可在-50-+250的范围内长期使用。最常见的 704 硅胶是用金属牙膏管包装，也有少部分采用类似硅酮橡胶的塑料尖嘴筒包装。704 室温硫化硅橡胶不仅有突出的耐高、低温性和耐老化性，优异的电器绝缘性和防潮抗震性，还具有优良的粘接性，它能广泛粘合各种金属、非金属、塑料和橡胶。具有优异的耐高温和耐热水性能，是耐热器件密封的理想材料。清洗剂：主要成分表面活性剂（如烷基苯磺酸钠、脂肪醇硫酸钠）和各种助剂（如三聚磷酸钠）、辅助剂，在洗涤物体表面上的污垢时，能降低水溶液的表面张力，提高去污效果的物质。切削液：切削液是一种用在金属切削、磨加工过程中，用来冷却和润滑刀具和加工件
31、的工业用液体，具备良好的冷却性能、润滑性能、防锈性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀释特点，主要成分为乙二醇、四硼酸钠、偏硅酸钠、磷酸钠。PAC：聚合氯化铝（PAC）是一种无机物，一种新兴净水材料、无机高分子混凝剂，简称聚铝。它是介于 AlCl3和 Al(OH)3之间的一种水溶性无机高分子聚合物，化学通式为Al2(OH)nCl6-nm，其中 m 代表聚合程度，n 表示 PAC产品的中性程度。n=15 为具有 Keggin 结构的高电荷聚合环链体，对水中胶体和颗粒物具有高度电中和及桥联作用，并可强力去除微有毒物及重金属离子，性状稳定。PAM：聚丙烯酰胺（PAM）为白色粉状物，密度为 1.320g/
32、cm，是一种线型高分子聚合物，是水溶性高分子化合物中应用量为广泛的品种之一，聚丙烯酰胺和其它生物可以用作有效的絮凝剂，增稠剂，纸张增强剂，以及液体的减阻剂等，广泛应用于水处理，造纸，石油，煤炭，矿治，地质，轻纺，建筑等工作部门。四、四、主要生产设备主要生产设备根据企业提供资料，影响产品产能的设备主要为多线切割机，故本次扩建项目通过增加 2 台多线切割机来提高产能，项目扩建前后主要生产设备见表132-4。表表 2-4扩建前后扩建前后主要生产设备一览表主要生产设备一览表序号设备名称型号或规格数量（台/套）备注扩建前扩建后增减量1摇摆炉自制10100位于厂房二层2拉晶炉自制4403液压机U-60T4
33、404多线切割机BH222635+2位于厂房一层，用于晶粒切割5电火花切割机DK773011110位于厂房二层，用于晶片切割6焊片机自制12120位于厂房二层7研磨机X61 640B、1M59004408切片机/2209喷码机/22010烘干箱DL-10266011热压机U-60T99012粉碎机XS-2522013退火炉SX2-15-622014超声波发生器/1212015生产废水处理设施1m3/h110位于厂房一层16高温喷火枪/110玻璃管封口17活性炭吸附净化装置/01+1切割废气处理设施五、五、项目水平衡项目水平衡（1）给水本项目新鲜水用水包括生产用水和生活用水， 根据企业提供资料及
34、类比验收数据，项目新鲜水用量约为 11.3t/d（3390t/a），统一由市政给水管网供水。生产用水：项目生产用水包括晶棒切头尾冷却用水、玻璃管清洗用水、切片清洗用水、切粒清洗用水以及焊接后的清洗用水，根据企业提供资料及类比验收数据，项目生产用水量约为 9.15t/d（2745t/a）。生活用水：项目聘有职工 43 人，均不住厂，日工作 8 小时，年工作日300 天，根据福建省行业用水定额（DB35/T772-2018），不住宿人员按50L/(人天)，则需用水量为 2.15t/d（645t/a）。（2）排水项目运营后产生的废水为冷却废水、清洗废水废水以及职工生活污水，其中清洗废水包括有玻璃管清
35、洗废水、切片清洗废水、切粒清洗废水以及焊接后14的清洗废水。生产废水：类比验收数据，项目冷却废水产生量约为 0.64t/d（192t/a），清洗废水产生量约为 6.07t/d（1821t/a），则项目生产废水总产生量为 6.71t/d（2013t/a）。生活污水：项目生活用水量为 2.15t/d，排放系数按 80%计，则项目生活污水排放量为 1.72t/d（516t/a）。项目生产废水经厂区内生产废水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污水一同排入盛泰路市政污水管网，纳入泉州市清濛污水处理厂处理，处理达标后尾水排入晋江金鸡闸-鲟埔段。综上所述，项目总用水量为 3390t/a，废水总产生量为 25
36、29t/a，项目水平衡图如下：图图 2-1 项目水平衡图（项目水平衡图（t/d）经厂区生产废水处理站处理后排入市政污水管6.71生产废水生产用水9.156.71新鲜水生活用水生活污水经化粪池处理后排入市政污水管网蒸发损耗 2.44蒸发损耗 0.432.151.721.7211.315图图 2-2半导体致冷片生产工艺流程及产污环节图半导体致冷片生产工艺流程及产污环节图16工艺流程和产排污环节一、工艺流程一、工艺流程半导体致冷片由许多 N 型和 P 型半导体颗粒互相排列而成，N 型和 P 型半导体成分不同，N 型半导体成分为碲、铋、硒，P 型半导体成分为碲、铋、锑，而 N-P 之间以一般的导体相连
37、接而形成一完整线路，本项目采用铜导体，最后用两片陶瓷片夹起来。接通直流电源后，电子由负极(-)出发，首先经过 P型半导体，在此吸收热量，到了 N 型半导体，又将热量放出，每经过一个 N-P模组，就有热量由一边被送到另外一边，造成温差，从而形成冷热端。生产工艺流程及产污环节见图 2-2。玻璃管清洗：碲粒、锑粒、硒粒、铋粒采用玻璃管盛装，外购玻璃管在使用前需进行清洗，产生清洗废水，清洗后进行烘干，烘干箱热源由电能提供。配料：碲粒、锑粒、硒粒、铋粒四种原料按照一定比例，分别称重后装入玻璃管，原料均为颗粒状固体，配料过程不会产生粉尘。封口：玻璃管一端封闭，另外一端开口，原料颗粒装入玻璃管后，采用液化石
38、油气喷火枪加热开口段，玻璃软化后抽真空封口。加热封口过程中会产生少量燃料燃烧废气。摇摆、成型：将配料后的玻璃管置入摇摆炉中加热，碲粒、锑粒、硒粒、铋粒融合成型，形成晶棒，成型过程为密闭操作，无烟尘产生。敲碎：将成型后的晶棒的玻璃外壳敲掉，过程会产生废玻璃。N 型拉晶：对于 N 型晶棒（即热端晶棒），成型后采用拉晶炉对晶棒缓慢上引，以对晶格重排。切头尾：拉晶后的晶棒切除头尾不平整部分，得到规则圆柱体。P 型粉碎：对于 P 型晶棒（即冷端晶棒），成型后采用粉碎机破碎成粉。粉碎过程密闭，无粉尘外逸。破碎后的粉末通过密闭管道转移至容器中，然后加盖储存，转移过程无粉尘外逸。退火：将容器中的粉末放在电加热
39、炉中加热退火，退火过程密闭，无粉尘产生。粉末热压：退火后的粉末采用液压机进行热压成 P 型晶棒。晶棒检测：采用电脑自动监测设备对 N 型晶棒、P 型晶棒进行物理检测。17晶棒切片：采用电火花线切割机将 N 型晶棒、P 型晶棒分别切割成片，其基本工作原理是利用连续移动的细金属丝（称为电极丝）作电极，对工件进行脉冲火花放电蚀除金属、 切割成型， 切割过程中采用切削液对工作面进行冷却，高温切割过程中产生少量的颗粒物和非甲烷总烃。清洗、烘干：晶棒切片后的 N 型晶片、P 型晶片利用超声波发生器进行清洗，清洗过程会产生清洗废水。清洗后利用烘干箱烘干，烘干箱热源由电能提供。晶片切粒：采用多线切割机将 N
40、型晶片、P 型晶片切割成粒，形成 N 型晶粒和 P 型晶粒，然后在超声波发生器中进行清洗，过程会产生清洗废水，清洗后利用烘干箱烘干，烘干箱采用电能提供。晶粒筛选：采用振荡筛选机分别对 N 型晶粒、P 型晶粒进行筛选，体积小于标准要求的晶粒从筛网前端滤出，体积符合标准的晶粒从筛网中端滤出，体积大于标准要求的晶粒从筛网末端排出。晶粒排模：将符合要求的 N 型晶粒、P 型晶粒按一定序列排在模板上，待焊接使用。陶瓷片上锡：人工陶瓷片中铜片导体上涂上一层锡膏，备焊接使用。焊接：将排模好的晶粒与涂过锡膏的陶瓷片放入焊片机，通过加热将晶粒焊接在两片陶瓷片之间， 加热温度约 240， 焊接过程会产生极少量的焊
41、锡烟，可忽略不计。电阻外观检测：对焊接后的致冷片外观进行检查，并测量其电阻，判断其是否符合质量要求。清洗、 烘干： 将焊接后符合质量要求的致冷片在超声波发生器中进行清洗，过程会产生清洗废水，清洗后利用烘干箱烘干，烘干箱采用电能供热。磨片：根据客户的要求，将致冷片两侧的陶瓷片磨成特定厚度，采用研磨机配套金刚砂和水进行研磨。研磨后在超声波发生器中进行清洗，过程会产生清洗废水，清洗后利用烘干箱烘干，烘干箱采用电能供热。焊线： 将导线焊接在致冷片两侧的 N、 P 端， 焊接过程中蘸取少量助焊剂，本项目采用进口免清洗助焊剂， 焊接过程会产生极少量的焊锡烟， 可忽略不计。18半成品检测：采用电表等仪器检测
42、产品通电性能、热交换性能。封胶：采用虫胶对两片陶瓷片之间周边进行密封。喷码：采用喷码机将产品信息打印在产品上。成品检测：接通电流，最终测试产品的致冷效果，成品包装入库。二二、产污环节产污环节废水：项目废水为晶棒切头尾冷却废水、玻璃管清洗废水、切片清洗废水、切粒清洗废水以及焊接后的清洗废水以及职工生活污水。废气： 项目废气为喷火枪对玻璃管加热封口时产生的燃料废气以及电火花切割机切割时产生的废气。噪声：生产设备运行时产生的机械噪声。固废：项目固体废物主要为废玻璃、研磨渣、半导体材料废渣、生产废水处理站污泥、废切削液、废化学品包装物、废活性炭以及职工生活垃圾。与项目有关的原有环境污染问题一、扩建前企
43、业概况一、扩建前企业概况1、建设历程及环保手续情况、建设历程及环保手续情况泉州市依科达半导体致冷科技有限公司成立于 2012 年，位于泉州经济技术开发区孵化基地， 租赁泉州市高新技术创业服务中心孵化基地科技工业楼二楼厂房，租赁面积约 1627m2，主要从事半导体致冷片的生产。2018 年 1 月委托浙江中蓝环境科技有限公司编制了 泉州市依科达半导体致冷科技有限公司半导体致冷片研发项目环境影响报告表，并于 2018 年 3 月通过泉州经济技术开发区自然资源和规划建设局 （原泉州经济技术开发区管理委员会环境保护局）的审批，审批文号为：泉开环评函2018表 4 号（附件 4），批复规模为年产半导体致
44、冷片 60 万件。2018 年 4 月，依科达公司生产装置及配套环保设施全部竣工，投入试生产。2018 年 5 月，为节能减排及提高项目生产废水处理站的实用性，对原有生产废水处理站进行相应的技术升级改造， 租用泉州市高新技术创业服务中心孵化基地科技工业楼厂房一楼南侧场地，对项目生产废水进行物化治理（絮凝沉淀-中和），强化废水污染治理效果，确保废水稳定达标排放。2018 年 6 月至 8 月，依科达公司对厂内升级改造的废水等环保设施进行了调试。2018 年1911 月，编制了泉州市依科达半导体致冷科技有限公司半导体致冷片研发项目竣工环境保护验收监测报告，并通过了自主验收，验收规模为年产半导体致冷
45、片 60 万件。依科达公司于 2020 年 7 月 14 日取得了排污 登记 （登记 编号：91350502058440690K001Y）。2、扩建前企业工程概况、扩建前企业工程概况扩建前项目组成及主要建设内容见表 2-5。表表 2-5 扩建前项目扩建前项目组成及主要建设内容一览表组成及主要建设内容一览表项目组成项目名称建设内容建筑面积（m2）工程内容主体工程生产车间1627致冷片生产，主要生产设备摇摆炉、拉晶炉、液压机、多线切割机、电火花切割机、焊片机、研磨机、喷码机辅助工程检测室50主要采用电脑检测产品物理性能办公生活设施办公区/办公场所公用工程给水工程/由市政给水管网供给排水工程/生产废
46、水和生活污水由不同管道收集，分别排入市政污水管网供电工程/开发区供电线路直接供电供热工程/采用电能加热环保工程废水治理/生产废水经厂区内生产废水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污水一同排入市政污水管网废气处理/液化石油气喷火枪产生的少量废气经收集后通过 1 根 15m 高排气筒引至楼顶高空排放；电火花切割机切割时产生的少量颗粒物和非甲烷总烃收集后通过 2 根15m 高排气筒引至楼顶高空排放固废处置/设置临时固废暂存场、危废间，定期外送处置3、扩建前主要原辅材料用量、扩建前主要原辅材料用量项目扩建前主要原辅材料用量情况见下表。表表2-6 扩建前主要原辅材料及用量扩建前主要原辅材料及用量序号主要
47、原辅材料用量（t/a）1碲粒52锑粒0.953硒粒0.09204铋粒2.735锡膏0.56助焊剂0.27陶瓷片65 万套/a8金刚砂7.59虫胶0.310玻璃管311电子线40 万米/a12704 硅胶1200 支/a13清洗剂0.314切削液115PAC216PAM0.02417水300018电36 万 kwh/a19液化石油气510m3/a4、扩建前主要生产设备、扩建前主要生产设备项目扩建前主要生产设备情况见下表。表表2-7 扩建前主要生产设备扩建前主要生产设备序号主要生产设备型号数量（台/套）1摇摆炉自制102拉晶炉自制43液压机U-60T44多线切割机BH222635电火花切割机DK7
48、730116焊片机自制127研磨机X61 640B、1M590048切片机/29喷码机/210烘干箱DL-102611热压机U-60T912粉碎机XS-25213退火炉SX2-15-6214超声波发生器/1215生产废水处理设施/116高温喷火枪/15、扩建前生产工艺及产污环节、扩建前生产工艺及产污环节21项目扩建前后生产工艺流程一致，详见图 2-2，这里不再赘述。二、扩建前污染源强二、扩建前污染源强根据该公司环保竣工验收报告及项目现状， 简要说明扩建前项目主要污染源强及其影响分析。1、废水、废水项目废水包括晶棒切头尾冷却废水、玻璃管清洗废水、切片清洗废水、切粒清洗废水、焊接后的清洗废水及生活
49、污水。（1）污染物排放源强生活污水根据项目现有工程的验收数据， 项目职工 43 人， 生活污水排放量为 1.72t/d（516t/a），生活污水主要污染物为 COD、BOD5、SS、氨氮等，生活污水的水质情况大体为 COD：400mg/L；BOD5：200mg/L；SS：220mg/L；NH3-N：30mg/L。生活污水经化粪池处理后与处理后的生产废水一同排入市政污水管网，纳入泉州市清濛污水处理厂处理。根据项目验收期间生活污水处理设施化粪池出口水质检测数据，污染源强见下表。*生产废水项目生产废水包括冷却废水和清洗废水，根据现有工程的验收数据可知，冷却废水量约 0.5t/d（150t/a），清洗
50、废水量约 4.72t/d（1416t/a），生产废水水质情况大体为： COD1100mg/L、 总磷18mg/L、 SS500mg/L、 NH3-N10mg/L、pH：711。生产废水排入厂区生产废水处理站处理后与处理后的生活污水一同排入市政污水管网，最终纳入泉州市清濛污水处理厂。项目生产废水处理采用“絮凝沉淀-中和”工艺进行处理，根据项目验收期间生产废水处理站进出口检测数据，污染源强见下表。*（2）废水污染物排放总量核算根据上述监测结果，项目外排废水水质可满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级排放标准及泉州市清濛污水处理厂进水水质要求，生产废水经厂区生产废水处理站处理后与
