1、y%莠欀瀀栀琀洀氀听谀祔/Mi前台访问/d-2828478.html116.179.32.1320勈嚄和y劰椀搀栀琀洀氀听祕/Mg前台访问/p-2185281.html116.179.32.940勈嚄喸y劰椀瀀栀琀洀氀听祖/Mk前台访问/d-2743500.html220.181.108.1770囤y%莠匀洀眀愀瀀搀栀琀洀氀听葒祖/Ki前台访问/d-959933.html220.181.108.1000堐y最瀀栀琀洀氀听祘/Ie前台访问/p-76352.html216.244.66.2000堐y匀洀眀愀瀀瀀栀琀洀氀听祙/Mi前台访问/p-2822835.html185.191.171.250夼
2、y匀洀眀愀瀀瀀栀琀洀氀听栀祚/Mg前台访问/p-2878506.html43.226.148.740勈嚄婨y劰椀瀀栀琀洀氀听戀鑒祛5gwap前台访问/BookRead.aspx?id=272085236.110.199.520宔y%椀瀀栀琀洀氀听戀鑒祛5Kewap前台访问/Login.aspx39.105.223.120勈嚄宔y声礀鄀挀栀琀洀氀听葒祜/Me前台访问/p-2668699.html113.94.19.530峀y%最瀀栀琀洀氀听祜5Siwap前台访问/p-2879651.html60.8.123.390勈嚄巬y挀瀀栀琀洀氀听祝/Mk前台访问/p-2833832.html175.154
3、.207.1980聠弘y最紀眀愀瀀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀听祠/Me前台访问/p-2830127.html36.237.134.20勈嚄恄y开瀀栀琀洀氀听祠/Mg前台访问/p-1619684.html157.55.39.1980慰y%莠欀瀀栀琀洀氀听瀀祡5Siwap前台访问/p-2832003.html47.93.42.860抜y%欀瀀栀琀洀氀听葒鱖祢/Kg前台访问/d-109200.html185.191.171.330勈嚄抜y声最瀀栀琀洀氀听祤5Sqwap前台访问/d-2748983.html220.181.108.1590擴y%椀搀栀琀洀氀听祦楣/Mi前台访问/d-2438334.ht
4、ml185.191.171.120映y愀缀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀听戀祦/a前台访问/BookRead.aspx?id=2854946111.206.198.830映y%椀瀀栀琀洀氀听祦徳/K_前台访问/p-138233.html49.7.21.850勈嚄杌y犰最瀀栀琀洀氀听葒祧/Mi前台访问/p-2802804.html116.179.32.2370桸y攀瀀栀琀洀氀听祩/Mi前台访问/p-2260500.html185.191.171.190勈嚄櫐y犰欀瀀栀琀洀氀听葒祪/前台访问/c-0000200010-159-12837-0-0-0-0-9-0-2.html112.87.5.2360毼
5、y%莠椀瀀栀琀洀氀听祭5Sqwap前台访问/d-2846761.html220.181.108.1440洨y%莠椀瀀栀琀洀氀听持祭/Mi前台访问/p-2259629.html123.183.224.640澀y最瀀栀琀洀氀听葒聖祯慲/Mg前台访问/p-2105912.html207.46.13.1690勈嚄澀y犰椀瀀栀琀洀氀听葒聖祯/A前台访问/c-0.html116.179.32.2180燘y%莠椀瀀栀琀洀氀听葒屖祵慲/Mi前台访问/d-2858520.html116.179.32.1010畜y%莠椀搀栀琀洀氀听祷/Mi前台访问/d-2613726.html116.179.32.1390瞴y%
6、莠椀瀀栀琀洀氀听葒祸/K_前台访问/p-114275.html49.7.21.830眰磠y最搀栀琀洀氀吭囓祻/s前台访问/c-00004-6-2400-0-0-0-0-9-1-1.html207.46.13.360勈嚄笸y犰椀瀀栀琀洀氀吭葒祻/Mi前台访问/p-2561334.html220.181.108.900笸y%最瀀栀琀洀氀吭葒祻/前台访问/c-0001200004-113-140180-0-0-0-0-9-1-1.html183.92.254.950籤y犀最瀀栀琀洀氀吭退祽/Mg前台访问/p-2762763.html116.179.32.170綐y莠攀瀀栀琀洀氀吭葒祾/Mi前台访问/
7、p-2406673.html185.191.171.130勈嚄纼y犰椀搀栀琀洀氀吭祿5Sqwap前台访问/p-2879655.html111.225.149.2410勈嚄翨y欀搀栀琀洀氀y%最瀀栀琀洀氀吭怃禁5gwap前台访问/BookRead.aspx?id=2879655111.225.149.2410艀y%莠椀瀀栀琀洀氀吭葒禂/Mk前台访问/d-2807401.html220.181.108.1660勈嚄荬y愀紀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀吭氀禃5Sowap前台访问/p-1887430.html39.106.116.1460荬y%椀瀀栀琀洀氀吭葒汖禃5Smwap前台访问/p-2087597
8、.html39.105.223.120荬y%椀瀀栀琀洀氀吭頀禄/Mi前台访问/d-2692550.html185.191.171.240勈嚄藄y欀瀀栀琀洀氀吭禈/Mk前台访问/p-2813451.html220.181.108.1140勈嚄蠜y攀瀀栀琀洀氀吭葒禉/Me前台访问/d-1581601.html207.46.13.360詴y椀瀀栀琀洀氀吭葒禋/y前台访问/c-00002-432-42708-0-0-0-0-9-2-1.html114.106.134.1280勈嚄讠y挀瀀栀琀洀氀吭福/E_前台访问/login.aspx222.188.99.230勈嚄輤y愀笀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀吭
9、葒福/Mg前台访问/p-2724976.html27.158.126.700輤y儀最眀愀瀀瀀栀琀洀氀吭葒偖禐5Qkwap前台访问/p-206919.html39.105.98.2150酼y%愀瀀栀琀洀氀吭禒楣/Mg前台访问/d-2536133.html116.179.32.750鏔y%掠饩最瀀栀琀洀氀吭禕楣/Kg前台访问/p-444217.html185.191.171.250销y%莠椀瀀栀琀洀氀吭禕/Mk前台访问/d-2796088.html220.181.108.1740销y噺开礀琀愀最樀椀搀甀樀椀愀漀栀甀椀猀栀椀栀琀洀氀吭堀禗/前台访问/c-0000800003-124-3883-0-0
10、-0-0-9-0-2.html122.192.226.2200靘y最瀀栀琀洀氀吭萀禘/Mg前台访问/p-2763893.html116.179.32.480勈嚄预y犰挀瀀栀琀洀氀吭禚/Mk前台访问/p-2822943.html220.181.108.1830勈嚄髜y銰愀缀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀吭葒禝/u前台访问/c-0-985-2515926-0-0-0-0-9-0-1.html183.148.178.2000龌y愀瀀栀琀洀氀吭禠/Mi前台访问/p-2756560.html116.179.32.1540y欀搀栀琀洀氀吭禠/Mi前台访问/p-2695967.html123.183.224.3
11、10y匀焀眀愀瀀瀀栀琀洀氀吭葒禡/Ki前台访问/p-114534.html123.183.224.1720勈嚄y犰最瀀栀琀洀氀吭怃禡5gwap前台访问/BookRead.aspx?id=2879647110.249.201.1820y莠匀漀眀愀瀀搀栀琀洀氀吭栀禥5Sowap前台访问/d-2850005.html220.181.108.850y最瀀栀琀洀氀吭栀禥/Me前台访问/p-2828967.html1.175.102.940剣y铰开椀栀琀洀氀吭持鑒禦/Mi前台访问/p-2660933.html122.192.227.560y%开瀀栀琀洀氀吭禧/Mi前台访问/p-2837312.html11
12、6.179.32.1360y%攀瀀栀琀洀氀吭葒禪/Mi前台访问/d-1222528.html185.191.171.360勈嚄y犰欀瀀栀琀洀氀吭葒禫/前台访问/search.html?page=3&tc=171&q=%E6%BD%9C%E6%B5%81%E6%B9%BF%E5%9C%B0%E8%A1%A8%E6%B561.227.233.390y%椀搀栀琀洀氀吭鰀禭/K_前台访问/p-187257.html49.7.20.890y%最搀栀琀洀氀吭禮/Mk前台访问/p-2785715.html124.113.193.1940y%最瀀栀琀洀氀吭禯/Me前台访问/p-2876876.html218.
13、2.204.950勈嚄y声欀搀栀琀洀氀吭禯/前台访问/c-0000800001-997-21392-0-0-0-0-9-1-0.html61.190.160.1510勈嚄y儀欀猀椀琀攀洀愀瀀栀琀洀氀吭禲/Ka前台访问/p-155720.html49.7.21.1200勈嚄y愀紀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀伀吭禲/Mi前台访问/d-2738981.html116.179.32.1040勈嚄y愀礀漀漀欀刀攀愀搀愀猀瀀砀椀搀儀吭禵/Mk前台访问/p-2853679.html220.181.108.1720y%椀瀀栀琀洀氀0 归属于母公司净利润(%) 32.2 73.7 55.7 38.2 28.4 获
14、利能力获利能力 毛利率(%) 40.5 36.7 37.8 37.8 38.4 现金现金流量流量表表（百万元） 净利率(%) 7.6 8.9 9.1 9.2 8.9 会计年度会计年度 2019A 2020A 2021E 2022E 2023E ROE(%) 6.1 8.9 11.8 14.2 15.5 经营活动现金流经营活动现金流 -941 1385 793 -836 1113 ROIC(%) 4.1 5.9 6.0 6.8 7.3 净利润 370 631 946 1320 1699 偿债能力偿债能力 折旧摊销 307 364 439 597 767 资产负债率(%) 55.6 59.4 71
15、.7 73.7 76.4 财务费用 99 -43 179 159 264 净负债比率(%) 17.8 6.8 30.9 64.9 73.9 投资损失 0 -1 0 0 0 流动比率 1.8 1.4 1.1 1.1 1.0 营运资金变动 -1744 -11 -772 -2912 -1617 速动比率 1.0 0.6 0.6 0.6 0.6 其他经营现金流 27 446 0 1 1 营运能力营运能力 投资活动投资活动现金流现金流 -190 -673 -2553 -2524 -2887 总资产周转率 0.3 0.4 0.4 0.4 0.4 资本支出 171 668 2114 1927 2120 应收
16、账款周转率 2.8 3.1 3.1 3.1 3.1 长期投资 -20 -14 0 0 0 应付账款周转率 1.4 1.7 1.7 1.7 1.7 其他投资现金流 -39 -19 -439 -597 -767 每股指标（元）每股指标（元） 筹资筹资活动现金流活动现金流 2951 -953 -150 -36 -173 每股收益(最新摊薄) 0.62 1.08 1.68 2.33 2.99 短期借款 326 -356 0 0 0 每股经营现金流(最新摊薄) -1.90 2.79 1.60 -1.68 2.24 长期借款 785 -1103 144 116 86 每股净资产(最新摊薄) 11.79 1
17、3.66 15.23 17.49 20.41 普通股增加 33 6 0 0 0 估值比率估值比率 资本公积增加 1993 570 0 0 0 P/E 519.2 298.8 191.9 138.9 108.2 其他筹资现金流 -185 -70 -295 -152 -259 P/B 27.4 23.7 21.2 18.5 15.8 现金净增加额现金净增加额 1818 -244 -1911 -3396 -1947 EV/EBITDA 205.7 161.1 105.9 70.4 52.8 资料来源：Wind，国盛证券研究所 注：股价为 2021 年 7 月 19 日收盘价 更多投研资料 微信公众号
18、mtachn 2021 年 07 月 21 日 P.3 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 内容目录内容目录 一、北方华创：深耕刻蚀、沉积 20 年，半导体设备全面布局 . 5 1.1 国内半导体高端装备领导者 . 5 1.2 半导体领域全面布局，前道工艺覆盖广泛 . 6 1.3 国资背景，股权激励凝聚人心 . 7 1.4 营收业绩高速增长，盈利能力逐步提升 . 9 二、刻蚀：集成电路图形转移方式 . 11 三、刻蚀设备：国内领先，重点布局金属及硅刻蚀 . 16 四、刻蚀需求不断增长，国产刻蚀设备加速导入 . 18 五、盈利预测 . 23 六、风险提示 . 24 图表目录图表目录
19、 图表 1：公司历史沿革 . 5 图表 2：北方华创的主要产品及应用领域 . 6 图表 3：公司主要全资子公司 2020 年营收及业绩情况（亿元） . 6 图表 4：集成电路前道工艺对应设备 . 7 图表 5：公司股权结构（2020 年年报） . 8 图表 6：北方华创 2019 年股票期权与限制性股票激励计划授予情况 . 8 图表 7：2019 年限制性股票及股票期权授予业绩考核目标 . 9 图表 8：北方华创营业收入情况 . 9 图表 9：北方华创归母净利润情况 . 9 图表 10：北方华创单季度营业收入情况 . 10 图表 11：北方华创单季度归母净利润情况 . 10 图表 12：北方华
20、创研发投入情况 . 11 图表 13：北方华创资本开支情况 . 11 图表 14：刻蚀的目的是把图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上 . 12 图表 15：刻蚀工艺分类 . 12 图表 16：不同刻蚀设备主要技术指标 . 13 图表 17：电容性等离子体刻蚀反应腔 . 13 图表 18：电感性等离子体刻蚀反应腔 . 13 图表 19：刻蚀类别 . 14 图表 20：多重成像技术 . 14 图表 21：刻蚀设备步骤增加 . 14 图表 22：刻蚀步骤逐渐增加（步骤数量） . 15 图表 23：北方华创刻蚀设备发展进程图 . 16 图表 24：北方华创刻蚀产品介绍 . 17 图表 25：干法刻蚀市场（
21、百万美元） （20202023 年为预测数据） . 18 图表 26：刻蚀在晶圆设备市场比重提升 . 18 图表 27：刻蚀市场主要驱动力将来自于存储 . 18 图表 28：全球刻蚀业务收入规模分别（百万美元） . 19 图表 29：干法刻蚀市场份额 . 19 图表 30：Conductor Etch 市场份额 . 19 更多投研资料 微信公众号mtachn 2021 年 07 月 21 日 P.4 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 31：Dielectric Etch 市场份额 . 19 图表 32：中国大陆刻蚀市场需求测算（亿元） . 20 图表 33：长江存储中标信
22、息统计（截止至 2021.06）-Lam 中标机台类别 . 21 图表 34：长江存储中标信息统计（截止至 2021.06）-北方华创中标机台类别 . 21 图表 35：长江存储中标刻蚀机国产化率（以机台数量计算） . 22 图表 36：华虹无锡中标刻蚀机国产化率（以机台数量计算） . 22 图表 37：华力集成中标刻蚀机国产化率（以机台数量计算） . 22 更多投研资料 微信公众号mtachn 2021 年 07 月 21 日 P.5 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 一、北方华创：一、北方华创：深耕刻蚀、沉积深耕刻蚀、沉积 20 年，年，半导体设备全面布局半导体设备全面布局
23、 1.1 国内半导体高端装备国内半导体高端装备领导者领导者 国内领先的半导体高端装备及一体化解决方案供应商。国内领先的半导体高端装备及一体化解决方案供应商。北方华创是由七星电子和北方微 电子战略合并而成。其前身为 2001 年 9 月成立的北京七星华创电子股份有限公司。公 司深耕于芯片制造刻蚀领域、 薄膜沉积领域近 20 年， 现已成为国内领先的半导体高端工 艺装备及一站式解决方案的供应商。公司主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备 及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现立足四大 产业制造基地布局，实现了营销服务辐射欧、美、亚等全球主要国家和地区，致力于成 为国
24、际领先的高端电子工艺装备和精密电子元器件服务商。 图表 1：公司历史沿革 资料来源：公司官网，国盛证券研究所 公司发展主要经历公司发展主要经历 3 3 个阶段：个阶段： （1 1）20012001- -20102010 年，初创探索阶段：年，初创探索阶段：2001 年七星电子、北方微电子先后成立，其中七星 电子以七星集团为主发起人发起设立，设立时主营半导体装备及精密电子元器件业务； 北方微电子由北京电控联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院 光电技术研究所共同出资设立，主营高端半导体装备业务。2010 年登陆深交所主板，同 年公司成为国家“02 专项”的主要承担单位之一。 （
25、2 2）2 2011011- -20172017 年年，快速成长期，快速成长期：2015 年，公司开启七星电子与北方微电子重组，次年 8 月战略重组完成；同年引进国家集成电路产业基金、京国瑞基金等多方战略投资者， 跨越式成长为国内规模最大的高端半导体设备公司。2017 年正式更名为北方华创，形成 北方华创微电子、北方华创真空、北方华创新能源和北京七星精密电子四家全资子公司 构成的业务结构。 （3 3）2 2018018 年至今，内生外延扩版图，向高端设备进军年至今，内生外延扩版图，向高端设备进军：2018 年北方华创微电子收购美 国 Akrion Systems LLC 公司收购业务，进一步丰
26、富了高端集成电路设备产业线；2019 年 10 月，公司定增募资加码高端集成电路研究和高精密电子元器件研究项目；2020 年 收购北广科技射频应用技术相关资产，提升射频应用技术水平，进一步增强半导体装备 技术开发及应用能力。 更多投研资料 微信公众号mtachn 2021 年 07 月 21 日 P.6 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 1.2 半导体领域全面布局，前道工艺覆盖广泛半导体领域全面布局，前道工艺覆盖广泛 半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件构成公司四大核心事业集群。构成公司四大核心事业集群。公 司业务范围
27、广泛，主要产品可分为电子工艺装备和电子元器件，其中电子工艺装备为营 收主要来源，依据应用领域可划分为半导体装备、真空装备及新能源锂电装备三大类。 1) 半导体颗萀愀(嬺渁匀坥嬺渁渀讀缁仌怀缀椀秀鬂猃鴃漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘漘噥敻瀀搀昀挀愀挀昀挀戀搀最椀昀噥敻瀀搀昀尀尀愀攀挀挀挀昀昀愀攀攀攀昀戀愀猀礀猀挀栀昀堀洀欀漀匀栀唀刀瀀攀樀爀一瘀攀眀倀搀爀礀倀匀搀戀栀夀眀洀吀砀嘀娀圀眀儀嘀敻桵琀琀瀀猀眀眀眀眀攀渀欀甀渀攀琀挀漀洀椀氀攀刀漀漀琀尀圀攀渀欀甀渀攀琀椀氀攀刀漀漀琀尀戀愀昀愀搀戀攀攀攀戀镸镸噥敻噥敻掋蝫葔噥敻噥敻嘀敻筵譼噗敻筵譼葨葨嘀敻嚏敻唀嘀攀唀嘀攀稀摛魰術葓捙撀魰鑏鹞豧桛e擿佰摒蝵执斗餰艙睬吀伀獎捭灾蝵戀灾窚拿彫圀嘀攀圀嘀攀刀刀稀稀魏噥煻荔蹶挀偛窋坧拿彫睰刀稀稀睰梔睰桓鮔Q麗蹒癎睰窋睰坹拿彫阰噣敻执貗联执熗董噶敻镸镢镸呟
