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平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批环评报告表.pdf

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资源描述

1、平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表中南安全环境技术研究院股份有限公司建设项目环境影响报告表(污染影响类)项目名称:平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)建设单位(盖章): 合肥微睿光电科技有限公司编制日期:2022 年 2 月中华人民共和国生态环境部制平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表3一、建设项目基本情况建设项目名称平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)项目代码2020-340163-35-03-037818建设单位联系人刘和元联系方式13645516994建设地点安徽省合肥市合肥新站高新技术

2、产业开发区县(区)站北社区乡(街道)九顶山路1766 路(具体地址)地理坐标(东经: 117 度 18 分 48.749 秒,北纬: 31 度 57 分 7.741 秒)国民经济行业类别C3569 其他电子专用设备制造C3989 其他电子元件制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 81 电子元件及电子专用材料制造 398建设性质新建(迁建)改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)合肥新站高新技术产业开发区经贸局项目审批(核准/备案)文号(选填)2020-340163-35-0

3、3-037818总投资(万元)5300环保投资(万元)590环保投资占比(%)12施工工期2021 年 4 月至 2022 年 2 月是否开工建设否是: 已批,正在建设厂房中,因工艺发生重大变动,重新报批。用地(用海)面积(m2)约 2585m2(现有厂区内)专项评价设置情况无规划情况文件名称:合肥新站高新技术产业开发区总体规划(2010-2030 年)审查机关:安徽省人民政府;审查文件名称及文号:安徽省人民政府关于印发合肥新站高新技术产业开发区总体规划(2010 2030)的批复,皖政秘2016100 号。规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称:合肥新站高新技术产业开发区总体规划 (2

4、010-2030)环境影响报告书召集审查机关:安徽省生态环境厅审查文件名称及文号:安徽省生态环境厅关于印发合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境影响报告书审查意见的函(皖环函2020596 号)平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表4规划及规划环境影响评价符合性分析1、与合肥新站高新技术产业开发区总体规划相符性、与合肥新站高新技术产业开发区总体规划相符性本项目位于合肥新站高新技术产业开发区,根据合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)规划,规划主导产业为:以打造高端化、集群化、融合型、总部型的现代产业体系为目标,以建设国家级新型

5、平板显示产业基地为抓手,形成以战略性新兴产业为核心、以现代制造业和高新技术产业为主导、以现代服务业、观光型现代农业为支撑的产业发展格局,建设具有国际影响力的先进制造和高新技术产业基地。本项目从事平板显示及半导体设备备品备件的生产,属于新型显示产业,与主导产业相符。根据规划用地布局图,项目用地属于工业用地,根据规划功能片区划分示意图,项目位于 B 功能分区(淮南铁路线以北、合六叶高速公路以南、新蚌埠路以西)。B 功能分区以“低碳工业、综合商贸、科技研发、生态居住”为重点发展职能,建议入区主导项目行业包括:平板显示及相关配套产业;集成电路、高分子材料等相关电子信息技术产业;轨道交通,工业机器人等相

6、关高端装备制造产业;新能源汽车及配套产品相关新能源汽车制造业;智能技术、测控装置、制造装备等相关智能制造企业;太阳能组件、光伏玻璃及相关配套产业本项目属于平板显示及相关配套产业,与功能分区相符。综上,本项目建设符合新站高新技术产业开发区的产业定位和功能分区的要求。2、与与合肥新站高新技术产业开发区总体规划合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境环境影响报告书影响报告书(以下简称以下简称“新站总规环评报告书新站总规环评报告书”)及其)及其审查意见符合审查意见符合性分析性分析表表 1 1 入区主导项目行业参考建议一览表入区主导项目行业参考建议一览表行业门类允许入园行业类别禁止入园

7、行业类别(环境负面清单)现代制造关键基础零部件和基础制造装备、 智能列入产业结构调整指导平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表5业制造装备、高端机电装备、节能和新能源汽车设备、船舶及海洋工程装备、轨道交通装备、民用航空航天装备、节能环保装备、新能源装备、环保装备、绿色照明装备、资源循环利用装备。目录中限制类、淘汰类装备制造业。高新技术产业液晶显示器件、智能语音开发、存储器研发和制造、激光显示及激光照明光源。列入产业结构调整指导目录中限制类、淘汰类材料制造产业;化工新材料等涉及重金属污染的新材料产业。现代服务业大力发展现代物流、科技服务、金融服务、信息服务、商务服

8、务、服务外包等主要面向生产的服务业, 积极发展休闲旅游、 现代商贸等主要面向生活的服务业, 引导支持服务业商业模式创新和业态创新, 增强现代服务业对战略性新兴产业、先进制造业的推动作用,提高现代服务业对周边开发区的配套服务能力,使现代服务业与产业体系建设、城市功能培育有机融合、互动发展。/禁止新建污水排放量大的造纸、酒精、印染、制革、化工和食品加工等项目,允许发展与主导行业相配套的低能耗和低污染行业。对照“入区主导行业参考建议一览表”本项目属于高新技术产业中与平板显示相关的产业,为允许入园行业类型,不属于禁止入园项目,符合新站入区准入要求。(2)与新站总规环评报告书审查意见符合性分析一览表如下

9、:表表 2 2 与与新站总规环评报告书新站总规环评报告书审查意见的相符性对比表审查意见的相符性对比表要求相符性分析加强与在编合肥市国土空间规划和合肥市“三线一单”的协调衔接, 按照省政府对开发区的批复要求和最新生态环境管理要求,着力推进开发区产业转型升级和结构优化。现有不符合开发区发展定位、国土空间规划和生态环境保护要求的企业应逐步改造、搬迁、淘汰,确保产业发展与区域生态环境保护、人居环境质量保证相协调。项目位于开发区范围内,用地属于工业用地,项目符合“三线一单”要求严守环境质量底线,落实区域环境质量管控措施。根据国家和我省大气、水、土壤、固体废物等污染防治相关要求,结合开发区现有生态环境问题

10、,制定污染防控方案、污染物总量管控要求和现有环境问题整改方案。进一步削减区域大气污染物排放,完成重点行业污染治理升级改造、 燃煤小锅炉淘汰、燃气锅炉低氮燃烧改造、“散乱污”企业综合整治等工作;落实区域水污染防治工作,严格执行合肥市水污染防治工作方案合肥新站区板桥河、二本项目不使用燃煤锅炉、燃气锅炉,产生的废气经处理后达标排放,废水经预处理后可满足污水处理厂接管标准,固废得到妥善处置,对厂区实施分区防渗。平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表6十埠河水质达标方案和南淝河水质达标方案等,并完善相关配套工程。切实保障区域固定污染源达标排放,区域环境质量持续优化,区域环

11、境问题得到妥善解决。优化产业布局,加强生态空间保护。进一步明晰开发区产业定位,确定产业发展布局和发展范围,合理规划各工业片区、工业区与城镇生活区等不同功能区的环境保护空间。加强生态空间保护,严禁不符合管控要求的各类开发建设活动。做好开发区生产、生活服务空间之间的隔离和管控,切实解决居住与工业布局混杂问题,实现产业发展与区域生态环境保护相协调。规划范围内涉及生态保护红线,应严格按照生态保护红线管控要求加强管理。对照合肥市生态红线图,本项目不在生态红线范围内完善环保基础设施建设,强化环境污染防控。结合区域供水、排水和供气(供热)等规划,合理确定开发规模。结合区域环境质量现状,细化污染防治基础设施的

12、建设要求。实施开发区内清污分流、雨污分流,所有污水实行全收集、全处理,推进污水处理厂提标改造、中水厂建设,提高污水收集和水资源利用率,减少污染物排放量。加快集中供热和天然气规划实施进度,限期对生物质锅炉、天然气锅炉进行改造,加强废气收集和处理,严格控制挥发性有机物、恶臭等气体的排放。本项目实施雨污分流,污水经厂区预处理后全部纳入蔡田埔污水处理厂深度处理,项目使用电作为生产能源,不使用生物质锅炉、天然气锅炉细化生态环境准入清单,推动高质量发展。根据国家和区域发展战略,结合区域生态环境质量等,严格产业的环境准入,限制与开发区工业区主导产业和城镇生活区发展不想关,且污染物排放量大的项目入区。本项目属

13、于平板显示的相关配套行业,因此本项目的建设符合新站高新技术产业开发区的产业定位和功能分区的要求完善环境监测体系,加强生态环境风险防控。统筹考虑区内污染物排放、水环境保护、环境风险防范、环境管理等事宜。考虑区域内存在大量居住和商业片区,产城融合特征明显,开发区务必健全区域风险防范体系和生态安全保障体系,加强开发区内重要风险源的管控,完善环境风险防范应急措施。坚持预防为主,防控结合,入园企业在开发区环境风险应急处置框架下,制定环境风险应急预案,在具体项目中细化实施。项目现有厂区于 2018 年11 月制定应急预案并备案,已满三年到期,目前已开展新一版预案编制及向相关主管单位备案工作。其他符合性分析

14、1.产业政策符合性分析产业政策符合性分析本项目属于产业结构调整指导目录(2019)中第一类:“鼓励类二十八、信息产业 41、薄膜晶体管液晶显示(TFT-LCD)、发光二极管(LED)及有机发光二极管显示(OLED)、电子纸显示、激光显示、平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表73D 显示等新型显示器件生产专用设备”。合肥新站高新技术产业开发区经贸发展局已对本项目予以备案(2020-340163-35-03-037818)。综上所述,本项目符合国家和地方产业政策要求。2、与合肥市打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的相符性分析、与合肥市打赢蓝天保卫战三年行动计划实施

15、方案的相符性分析表表 3 3 与合肥市打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的相符性对比表与合肥市打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的相符性对比表分类要求行动计划实施方案要求相符性分析调整优化产业结, 推进产业绿色发展完成生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线、环境准入清单编制工作,明确禁止和限制发展的行业、生产工艺和产业目录。积极推行区域、规划环境影响评价,新、改、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等项目的环境影响评价,应满足区域、规划环评要求。加大落后产能淘汰和过剩产能压减力度。严格执行质量、环保、能耗、安全等法规标准。严格按照产业结构调整指导目录,执行过剩产能淘汰标准。严防“地条钢”死

16、灰复燃项目位于合肥新站高新技术产业开发区, 满足新站区规划环评及产业政策, 项目符合“三线一单”要求;根据产业结构调整目录 项目属于鼓励类, 不属于过剩产能淘汰类严控“两高”行业产能。严格执行国家关于“两高”产业准入目录和产能总量控制政策措施。 严禁新增钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产能;严格执行钢铁、水泥、平板玻璃等行业产能置换实施办法;新、改、扩建涉及大宗物料运输的建设项目,原则上不得采用公路运输本项目不属于“两高”项目加快调整能源结构, 构建清洁低碳高效能源体系实施“煤改气”和“以电代煤”。在落实气源、保障民生的前提下,在陶瓷、玻璃、铸造等行业积极推进天然气替代煤气化工程,有

17、序实施燃煤设施煤改气。结合区域和行业用能特点,积极推进工业生产、建筑供暖供冷、交通运输、农业生产、 居民生活五大领域实施“以电代煤”,着力提高电能占终端能源消费比重。 对新增“煤改气”项目,要坚持增气减煤,以气定改,在签订供气合同的前提下,有序实施。项目使用电作为能源3、 与与 巢湖流域水污染防治条例巢湖流域水污染防治条例 及及 巢湖流域禁止和限制的产业巢湖流域禁止和限制的产业、产品目录产品目录的相符性的相符性巢湖流域水污染防治条例中指出:巢湖流域水环境实行三级保护。巢湖湖体,巢湖岸线外延一千米范围内陆域,入湖河道上溯至一万米及沿岸两侧各二百米范围内陆域为一级保护区;巢湖岸线外延一千至三千米范

18、围内陆域,入湖河道上溯至一万米沿岸两侧各二百至一千米范围内陆域为二级保护区;其他地区为三级保护区。平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表8根据第二十三条,水环境一、二、三级保护区内禁止下列行为:新建化学制浆造纸企业;新建制革、化工、印染、电镀、酿造、水泥、石棉、玻璃等水污染严重的小型项目;销售、使用含磷洗涤用品;围湖造地;法律、法规禁止的其他行为。严格限制在水环境三级保护区内新建制革、化工、印染、电镀、酿造、水泥、石棉、玻璃等水污染严重的大中型项目;确需新建的,应当事先报经省人民政府生态环境主管部门同意。其中,排放含氮、磷等污染物的项目,按照不低于该项目氮、磷等

19、重点水污染物年排放总量指标,实行减量替代。本项目位于巢湖流域三级保护区,本项目从事平板显示及半导体设备备品备件的生产,不涉及巢湖流域三级保护区禁止行为。项目原辅料不涉及磷元素,生产废水污染因子不涉及 TP,本项目氨氮纳入蔡田铺污水处理厂总量指标中。与“关于印发巢湖流域禁止和限制的产业产品目录的通知”(皖发改环资20216 号)核对,本项目产业、产品不属于禁止和限制类。4、与挥发性有机物相关政策符合性、与挥发性有机物相关政策符合性表表 4 4 项目与挥发性有机物相关政策符合性相符性分析一览表项目与挥发性有机物相关政策符合性相符性分析一览表政策名称政策名称相关要求相关要求符合性分析符合性分析相符相

20、符性性十三五”挥发性有机物污染防治工作方案新建涉 VOCs 排放的工业企业要入园区。严格涉 VOCs 建设项目环境影响评价,实行区域内 VOCs 排放等量或倍量削减替代,并将替代方案落实到企业排污许可证中,纳入环境执法管理。新、改、扩建涉VOCs 排放项目,应从源头加强控制,使用低(无)VOCs 含量的原辅材料,加强废气收集,安装高效治理设施。项目位于合肥新站高新技术产业开发区九顶山路以东、珠城西路以南、通宝路以西、龙子湖路以北,本项目产生的有机废气经收集后,采用了二级活性炭吸附处理,由 20m 高排气筒排放符合大力推广使用高固体分涂料,到2020 年底前,使用比例达到 50%以上。大力推广高

21、压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂等涂装技术,限制空气喷涂使用。逐步淘汰钢结构露天喷涂,推进钢结构制造企业在车间内作业,建设废气收集符合平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表9与治理设施。安徽省挥发性有机物污染整治工作方案优化产业布局。结合城市总体规划、主体功能区划要求, 优化调整 VOCs产业布局。 在城市建成区、 自然保护区、水资源保护区、风景名胜区、森林公园、 重要湿地、 生态敏感区和其他重要生态功能区实行强制性保护,禁止新建 VOCs 高污染企业。本项目位于合肥新站高新技术产业开发区九顶山路以东、珠城西路以南、通宝路以西、 龙子湖路以北,区域内未涉及自

22、然保护区,不属于安徽省生态保护红线划定红线范围内。严格建设项目准入, 将控制挥发性有机物排放列入建设项目环境影响评价重要内容, 严格环境准入, 严控“两高”行业新增产能。 新建、 迁建 VOCs排放量大的企业应入工业园区并符合规划要求, 必须建设挥发性有机物污染治理设施, 安装废气收集、 回收或净化装置, 原则上总净化效率不得低于 90%,建立 VOCs 排放总量控制制度。本项目位于合肥新站高新技术产业开发区九顶山路以东、珠城西路以南、通宝路以西、 龙子湖路以北,项目废气配套废气收集治理措施后不会对环境造成较大污染。5、选址符合性分析选址符合性分析合肥微睿光电科技有限公司选址于合肥新站高新技术

23、产业开发区九顶山路以东、珠城路以南,本项目在现有厂区内建设。项目北侧紧邻珠城路,西侧紧邻九顶山路,南侧为光华电力设备制造有限责任公司、安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司,东侧为空地。厂区现有项目设置 100m环境防护距离,项目厂界 300m 范围内无特别需要保护的敏感点。本项目建成后废气采取相应的污染防治措施后对环境影响较小;生活污水、生产废水处理后达标排放;噪声采取相应的降噪措施;固废得到妥善处置不外排,因此项目建成后对周边环境影响不大。本项目地理位置优越,交通便利,同时项目周围无饮用水源保护区、自然保护区、名胜风景区、生态环境敏感区等敏感目标。本项目选址符合当地总体规划和环境保护规划要求。因此

24、,本项目的建设符合当地用地的规划要求,选址是可行的。6、“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析(1)生态保护红线平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表10对照合肥市生态保护红线区域分布图,本项目不在合肥市生态保护红线区域内。因此项目符合环境功能区划及合肥市生态红线区域保护规划要求。(2)环境质量底线根据2020 年合肥市环境质量公报,区域环境空气质量为不达标区,PM2.5年均浓度未到国家环境空气质量二级标准,超标 0.03 倍,合肥市通过实施合肥市空气质量达标阶段性工作方案、合肥市打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案(合肥市人民政府,合政201920 号),确定

25、的各项工作任务,紧抓落实采取加快以细颗粒物(PM2.5)为重点的大气污染治理。项目纳污水体板桥河满足地表水环境质量标准(GB3838-2002)中标准要求。根据本报告分析表明:本项目排放的废气经过处理设施处理达到相关标准后排放,对周围空气质量影响较小;项目营运期废水经厂区预处理达标后排入蔡田铺污水处理厂处理达标后排入板桥河,对地表水环境影响较小;项目采取一定的隔声、消声等措施后满足相关标准要求,对周围声环境影响较小;项目产生的固废均可进行合理处理处置。因此,本项目的建设具有环境可行性,符合项目所在地环境质量底线。(3)资源利用上线项目运营过程中消耗定量的水、电等资源,项目用水来源为市政自来水,

26、使用量较小,当地自来水厂能够满足本项目新鲜水使用要求。本项目设备使用能源为电能,采用市政供电网,区域电网能够满足本项目供电需要。综上,项目原辅材料及资源供应充足,生产过程应做到合理利用资源和节约能耗,符合资源利用上限要求。(4)环境准入清单本项目属于产业结构调整指导目录(2019)中第一类:鼓励类,平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表11合肥新站高新技术产业开发区经贸发展局已对本项目予以备案(2020-340163-35-03-037818)。本项目从事平板显示及半导体设备备品备件的生产,属于平板显示的相关配套行业,本项目的建设符合合肥新站高新技术产业开发区的

27、产业定位和功能分区的要求。本项目不属于合肥新站高新技术产业开发区中的“负面清单”项目。本项目产业、产品不属于巢湖流域禁止和限制的产业、产品目录项目。综上,项目符合关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知(环评(2016) 150 号)中“三线一单”相关要求。平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表12二、建设项目工程分析建设内容1、项目由来、项目由来合肥微睿光电科技有限公司成立于 2016 年 7 月, 现有已建工程主要为京东方提供平板显示及半导体设备中的上部电极、LINER、DIFFUSER、SUSCERTOR、SHADOW FRAWE 等备品备件。为

28、满足不断扩大的市场需求, 合肥微睿光电科技有限公司拟投资 5300 万元建设平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目。 项目于 2020 年 11 月 20 日在合肥新站高新技术产业开发区经贸局备案(2020-340163-35-03-037818),项目环境影响报告表于 2021 年 2 月 22 日取得“关于合肥微睿光电科技有限公司平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目环境影响报告表的批复”(批复文号:环建审202112006 号)。二期变更前工程产品方案为:年产熔射干刻上部电极 400 块、下部电极 300块、腔体壁板 5000 块、陶瓷件 3000 件,年清洗 MASK 产品 120

29、 件,产品包含新品生产和维修件两种类型,维修件主要来自京东方。后经市场调查发现,很多OLED 工厂为了节约生产成本,开始自主购买设备清洗 MASK,MASK 清洗业务量骤减;另一方面,半导体企业在国内快速发展,配套的半导体设备零部件清洗业务需求量增大, 现拟承接长鑫等半导体制造公司半导体设备零部件的清洗任务,待加工的零部件主要为陶瓷、石英、不锈钢、铝材四大类,原 MASK 清洗生产线不能满足对应工件的清洗任务, 拟将 MASK 清洗生产线变更为半导体零部件清洗生产线,其它产品及工艺不变。变更后二期产品方案为:年产熔射干刻上部电极400 块、下部电极 300 块、腔体壁板 5000 块、陶瓷件

30、3000 件,年清洗半导体设备零部件 1000 件。对照关于印发的通知(环办环评函2020688 号):表表 5 5 项目项目重大重大变动变动清单判定清单判定一览表一览表项目项目污染影响类建设项目综合重大变动清单污染影响类建设项目综合重大变动清单(试行)(试行)本项目变动内容本项目变动内容是否属于是否属于重大变动重大变动性质1.建设项目开发、使用功能发生变化的不变不属于规模2.生产、处置或储存能力增大 30%及以上的。原件数共计8820件,取消年清洗MASK产品120不属于平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表13件, 新增年清洗半导体设备零部件1000件。 增

31、加件数未达到30%3.生产、处置或储存能力增大,导致废水第一类污染物排放量增加的。无废水第一类污染物不属于4.位于环境质量不达标区的建设项目生产、处置或储存能力增大,导致相应污染物排放量增加的(细颗粒物不达标区,相应污染物为二氧化硫、氮氧化物、可吸入颗粒物、挥发性有机物;臭氧不达标区,相应污染物为钢氧化物、挥发性有机物;其他大气、水污染物因子不达标区,相应污染物为超标污染因子);位于达标区的建设项目生产、处置或储存能力增大,导致污染物排放量增加 10%及以上的。项目位于细颗粒物不达标区,氮氧化物、可吸入颗粒物增加属于地点5.重新选址;在原厂址附近调整(包括总平面布置变化.)导致环境防护距离范围

32、变化且新增敏感点未进行重新选址,无新增敏感点不属于生产工艺6.新增产品品种或生产工艺(含主要生产装置、设备及配套设施)、主要原辅材料、燃料变化,导致以下情形之一(1)新增排放污染物种类的(毒性、挥发性降低的除外);(2) 位于环境质量不达标区的建设项目相应污染物排放量增加的;(3)废水第一类污染物排放量增加的;(4)其他污染物排放量增加10%及以上的。新增半导体设备零部件清洗工艺导致废水新增氟化物、 废气中新增氮氧化物、颗粒物属于7.物料运输、装卸、贮存方式变化,导致大气污染物无组织排放量增加 10%及以上的。物料运输、装卸、贮存方式未变化。不属于环境保护措施8.废气、废水污染防治措施变化,导

33、致第6条中所列情形之一(废气无组织排放改为有组织排放、 污染防治措施强化或改进的除外)或大气污染物无组织排放量增加10%及以上的。废气污染防治措施工艺变动导致废水新增氟化物、 废气中新增氮氧化物、颗粒物属于9.新增废水直接排放口;废水由间接排放改为直接排放;废水直接排放口位置变化, 导致不利环培影响加重的不变不属于10.新增废气主要排放口 (废气无组织排放改为有组织排放的除外) ;主要排放口排气筒高度降低10%及以上的。无新增废气主要排放口不属于11.噪声、土填或地下水污染防治措施变化,导致不利环境影响加重的。不变不属于12.固体废物利用处置方式由委托外单位利用处置改为自行利用处置的(自行利用

34、处置设施单独开展环境影响评价的除外) ;固体废物自行处置方式变化,导致不利环境影响加重的。不变不属于13.事故废水暂存能力或拦截设施变化, 导致不变不属于平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表14环境风险防范能力弱化或降低的。综上,项目部分变动属于重大变动清单中的重大变动,根据中华人民共和国环境影响评价法第二十四条“建设项目的环境影响评价文件经批准后,建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的,建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件”。为此, 合肥微睿光电科技有限公司于2021年8月11日委托中南安全环境技术

35、研究院股份有限公司承担“平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批) ”环境影响评价工作。 我单位接受委托后, 认真研究了该项目的有关变更材料,据国家有关法律、法规、条例、技术导则等,主要对建设内容变化情况进行分析,在此基础上编制了合肥微睿光电科技有限公司平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响报告表。2、项目建设概况项目建设概况项目名称:平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)建设内容及规模: 将年清洗 MASK 产品 120 块变更为年清洗半导体设备零部件 1000 件,其它产品及工艺不变。变更后二期产品方案为:年产熔射干刻上部电极 400 块、下部

36、电极 300 块、腔体壁板 5000 块、陶瓷件 3000 件,年清洗半导体设备零部件 1000 件。建设单位:合肥微睿光电科技有限公司项目性质:扩建(重大变动-重新报批)投资总额:5300 万元建设地点:合肥新站高新技术产业开发区九顶山路以东、珠城路以南,详见附图 1:项目地理位置图。周边关系:合肥微睿光电科技有限公司位于合肥新站高新技术产业开发区九顶山路以东、珠城路以南,项目北侧紧邻珠城路,西侧紧邻九顶山路及日益和半导体材料有限公司,南侧为光华电力设备制造有限责任公司、安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司,东侧为空地。详见附图 2:项目周边关系图。生产班制及劳动定员:二期项目生产班制及劳动定员不

37、进行变更:(1) 生产班制: 项目生产实行两班 10 小时工作制, 一年工作时间 7000 小时,平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表15350 天。(2)劳动定员:现有项目职工 130 人,二期项目新增职工 60 人。3、拟建工程内容、拟建工程内容项目拟将二期工程 MASK 清洗生产线变更为半导体零部件清洗生产线, 其它产品工艺不变。二期项目与现有主体工程无相互依托,部分辅助、环保工程依托厂区现有已建工程,表 3 仅列出二期建设相关工程内容及变化情况。表表 6 6 二期二期工程建设内容工程建设内容变化情况变化情况一览表一览表工程类别二期工程内容及规模变化情况

38、 备注变更前变更后主体工程建设 1 栋占地 2585m2生产厂房,一层布置上部电极、腔体壁板、陶瓷件新品生产线,下部电极、陶瓷件维修生产线; 二层布置 MASK 清洗线 1 条, 陶瓷维修件清洗线 1 条。建设1栋占地2585m2生产厂房,一层布置上部电极、腔体壁板、陶瓷件新品生产线,下部电极、陶瓷件维修生产线; 二层布置布置半导体零部件清洗线 1 条, 陶瓷维修件清洗线 1 条。二层 1 条MASK 清洗线变更为半导体零部件清洗线, 其它不变在建辅助工程办公楼生产厂房一层、二层各设置办公室1 间,总建筑面积为约 90m2生产厂房一层、 二层各设置办公室 1 间,总建筑面积为约 90m2不变建

39、设中食堂依托厂区现有 1 栋四层建筑,总建筑面积为 2720m2依托厂区现有 1 栋四层建筑, 总建筑面积为 2720m2不变已建公用辅助工程供电新增用电 400 万 Kwh新增用电 400 万 Kwh不变/给水生产厂房一层设置纯水室 1 间,建筑面积约 80m2, 设置 3t/h 的纯水机1 台,新增用水纯水 5529t/a,设置规模为 10t/h 的冷水机 4 台(制冷剂为 R22,氢氯氟烃类)生产厂房一层设置纯水室 1 间,建筑面积约 80m2,设置 3t/h 的纯水机 1 台,新增用水纯水3549t/a,设置规模为 10t/h 的冷水机 7 台(制冷剂为 R22,氢氯氟烃类)冷水机增加

40、 3 台/排水实施雨污分流,雨水经厂区雨水管网接市政雨水管网,污水经厂内预处理后经市政管网至蔡田铺污水处理厂深度处理实施雨污分流, 雨水经厂区雨水管网接市政雨水管网排入板桥河, 污水经厂内预处理后经市政管网至蔡田铺污水处理厂深度处理不变/仓储工程原料库在生产厂房二层南侧设原料库,总建筑面积为 600m2在生产厂房二层南侧设原料库,总建筑面积为 600m2不变建设中化学品库依托厂区现有化学品暂存间(建筑面积 60m2),日常添加化学品等,各类化学品根据酸碱性、固液性分片存放,地面采用环氧树脂进行防渗。(硝酸、氢氟酸、双氧水随用随购,不进行贮存)依托厂区现有化学品暂存间 (建筑面积 60m2),日

41、常添加化学品等,各类化学品根据酸碱性、固液性分片存放, 地面采用环氧树脂进行防渗。 (硝酸硝酸、 氢氟酸氢氟酸、双氧水双氧水随用随购,不进行贮存随用随购,不进行贮存)不变已建平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表16成品库在生产厂房二层南侧设成品库,总建筑面积为 600m2在生产厂房二层南侧设成品库,总建筑面积为 600m2不变建设中环保工程废水二期工程新增废水全部依托厂区现有废水处理设施:新增陶瓷维修件清洗线脱脂废水(更换槽液)、酸洗废水(更换槽液) 及酸洗后清洗水及 MASK 清洗线脱脂废水(更换槽液)等高浓度废水(更换槽液)依托厂区现有预处理系统及酸碱废水

42、处理系统深度处理;新增纯水制备浓水、设备冷却循环排污水,进污水管网;新增其他生产废水依托现有酸碱废水处理系统处理;新增食堂废水依托油水分离池处理,生活污水经化粪池处理;处理后的废水经厂区污水总排口接市政污水管网,最终排入蔡田铺污水处理厂进行深度处理。二期工程废水依托厂区现有废水处理设施:陶瓷维修件清洗线脱脂废水(更换槽液)、酸洗废水(更换槽液) 及酸洗后清洗水等高浓度废水依托厂区现有预处理系统及酸碱废水处理系统深度处理;二期纯水制备浓水、 设备冷却循环排污水进污水管网;二期半导体零部件清洗生产线碱处理水洗废水等其他生产废水依托现有酸碱废水处理系统处理;食堂废水依托油水分离池处理,生活污水经化粪

43、池处理;处理后的废水经厂区污水总排口接市政污水管网, 最终排入蔡田铺污水处理厂进行深度处理。变更后不再产生MASK 清洗线废水,新增半导体零部件清洗生产线碱处理水洗废水等已建废气一楼喷砂设置在单独封闭负压车间内,废气经收集后引至滤筒除尘器进行处理后通过一根不低于25m 高排气筒(DA009)排放;一楼熔射设置在单独封闭负压车间内,废气经收集后引至滤筒除尘器进行处理后通过不低于 25m高排气筒(DA010)排放;陶瓷维修件清洗线(二楼)设置在单独车间内,酸洗过程产生废气经槽边抽风装置收集后引至碱液喷淋塔进行处理后通过一根不低于 25m 高排气筒(DA012)排放;擦拭、塑封和烘干工序(一楼)产生

44、的有机废气经两级活性炭吸附装置处理后经一根不低于 25m高排气筒(DA011)排放。一楼喷砂设置在单独封闭负压车间内, 废气经收集后引至滤筒除尘器进行处理后通过一根不低于 25m 高排气筒(DA009)排放;一楼 5 台熔射机分别设置在单独封闭负压车间内, 废气经收集后引至 1 套滤筒除尘器进行处理后通过不低于 25m 高排气筒(DA010)排放;陶瓷维修件清洗线(二楼)设置在单独车间内, 酸洗过程产生废气经槽边抽风装置收集后引至碱液喷淋塔进行处理后通过一 根 不 低 于 25m 高 排 气 筒(DA012)排放;擦拭、 塑封和烘干工序 (一楼)产生的有机废气经两级活性炭吸附装置处理后经一根不

45、低于25m 高排气筒(DA011)排放。半导体零部件清洗线(二楼)酸洗废气收集后依托陶瓷维修件清洗线(二楼)碱液喷淋塔处理后经 25m 高排气筒(DA012)排放;半导体零部件清洗线(二楼)两套喷砂、 两套熔射废气分别经滤筒除尘装置处理后由一个新增半导体零部件清洗线酸洗废气与陶瓷维修件清洗废气合并排气筒排放,新增喷砂、熔射废气一个排气筒建设中平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表1725m 高排气筒(DA013)排放。噪声厂房隔声、设备减震厂房隔声、设备减震不变/固废依托厂区现有一座 60m2危废库,位于一期生产厂房内部。二期项目新增研磨废渣、废包装材料、废砂外

46、售给物资公司;生活垃圾交由市政环卫部门处置;废离子交换树脂外委再生处置;污水处理站污泥、废活性炭、废有机溶剂擦拭布、废化学品包装材料交由有资质的单位处置;新建一座 20m2的一般固废暂存库依托厂区现有一座 60m2危废库,位于一期生产厂房内部。二期项目新增研磨废渣、 废包装材料、废砂外售给物资公司;生活垃圾交由市政环卫部门处置;废离子交换树脂外委再生处置;污水处理站污泥、废活性炭、废有机溶剂擦拭布、 废化学品包装材料交由有资质的单位处置;新建一座 20m2的一般固废暂存库不变已建,且本次扩建图图 1.1.二期工程在建现状图二期工程在建现状图4、公辅及仓储工程依托可行性、公辅及仓储工程依托可行性

47、(1)公用辅助工程:新增纯水机制备本项目纯水;水电依托现有市政管网。(2)仓储工程:新增原料库、成品库贮存本项目原辅材料及成品;本项目化学品依托现有化学品暂存间存放,根据建设单位提供资料,化学品暂存间面积为60m2,现已利用 45m2,剩余 15m2,可满足本项目化学品脱脂剂、柠檬酸、50%硫酸的存放,且本项目化学品与一期原辅材料部分化学品一致,目前化学品暂存间已按要求建设,通过安评及消防等相关评审、验收。根据本项目安评要求,硝根据本项目安评要求,硝平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目(重新报批)环境影响评价报告表18酸酸、氢氢氟氟酸酸、双双氧氧水水均均不不可可在在厂厂内内化化学学品品暂暂

48、存存间间储储存存,每每次次定定批批量量加加入入到到清清洗洗槽槽中中使使用用。表表 7 7一一期期工工程程现现有有化化学学品品库库使使用用情情况况一一览览表表序号名称主要成分性状年储存方式1.脱脂剂905%四硼酸钠的十水合物和 53%十三烷基聚氧乙烯醚,水液态桶装2.NaOH955%NaOH固体袋装3.酒石酸955%C4H5O6液态桶装4.柠檬酸955%C6H8O7液态桶装5.清洁剂乙醇/异丙醇液态桶装6.硫酸605% H2SO4液态袋装7.草酸105% (COOH)2液态桶装5、二二期期项项目目产产品品方方案案变变更更情情况况如如下下:表表 8 8 二二期期项项目目变变更更前前后后产产品品方方

49、案案一一览览表表序号变更前变更后变化情况产品名称单位数量产品名称单位数量1上部电极块/年400上部电极块/年400不变2下部电极块/年300下部电极块/年300不变3腔体壁板块/年5000腔体壁板块/年5000不变4陶瓷件件/年3000陶瓷件件/年3000不变5MASK件/年120半导体设备零部件件/年1000取消 MASK,新增半导体零部件合计88209700变更后新增半导体零部件清洗件:主要为陶瓷类、石英类、铝材类、不锈钢四种材质,四种零部件各形状、重量不一,代表图片如下:表表 9 9 四四种种半半导导体体零零部部件件代代表表图图片片材质图片陶瓷石英平板显示及半导体设备备品备件生产二期项目

50、(重新报批)环境影响评价报告表19铝材不锈钢5、主主要要生生产产设设备备二期项目变更前后主要生产设备明细见下表。表表 1 10 0 二二期期项项目目主主要要生生产产设设备备一一览览表表序号设备名称规格型号变更前变更后使用工序变化情况数量数量1.热处理炉55热处理不变2.喷砂系统15熔射喷砂新增 4 台3.(熔射)等离子喷涂系统57熔射新增 2 台4.MCTLP-5033YZ22研磨不变5.MCTLP-4033YZ11研磨不变6.MCTYGS-4325SCYZ11研磨不变7.陶瓷清洗槽3000*800*200077陶瓷清洗不变8.研磨机22研磨不变9.冷冻机采用R22制冷剂47熔射冷却新增 3

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