1、证券研究报告行业月报专用设备 东吴证券研究所东吴证券研究所 1 / 21 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 半导体设备行业月报 预期差仍然存在，板块具备配置价值预期差仍然存在，板块具备配置价值 2022 年年 06 月月 22 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 证券分析师证券分析师 黄瑞连黄瑞连 执业证书：S0600520080001 行业走势行业走势 相关研究相关研究 天合光能垂直一体化布局，利好各环节龙头设备商 2022-06-20 高景再扩 50GW 拉晶、30GW切片，利好龙头硅片
2、设备商 2022-06-07 华润电力 12GW 异质结项目开启基建招标，设备订单有望年内落地利好龙头设备商 2022-05-27 增持（维持） Table_Summary 投资要点投资要点 晶圆制造环节景气度较高晶圆制造环节景气度较高，半导体设备，半导体设备行业景气度有望延续行业景气度有望延续 2022 年 1-4 月全球&中国大陆半导体销售额分别为 2023 和 673 亿美元，分别同比+24%和+19%，延续高速增长。短期来看，新能源等需求旺盛&疫情缓解，2022 全年本土半导体行业景气度不必悲观。1）2022 年 5月我国新能源汽车销量、 产量分别达到 44.7 和 46.6 万辆，
3、分别同比+106%和+115%；2022 年 1-5 月累计销量、产量分别达到 199.5 和 206.3 万辆，分别同比+113%和+113%，需求依旧旺盛，对半导体需求持续大幅提升。2）随着上海封控解除、物流全面恢复，短期压制因素也正在快速缓解。 对于半导体设备，高基数背景下，市场普遍担心半导体行业景气度拐点向下，下游客户资本开支下降。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高，本土晶圆厂开工率依旧较高，2022Q1 中芯国际、华虹半导体产能利用率中芯国际、华虹半导体产能利用率均超均超 100%，产能吃紧。，产能吃紧。2022 年下游客户资本开支仍有保
4、障年下游客户资本开支仍有保障，本土半导体，本土半导体设备行业景气度有望延续设备行业景气度有望延续。 晶圆厂招标追踪：晶圆厂招标追踪：下游招标下游招标快速推进快速推进，1-5 月月国产化率国产化率约约 30% 我们以近期规模化公开招标的华虹无锡、积塔半导体、福建晋华、华力集成和华虹宏力为统计标本。1）整体来看，）整体来看，2022 年 1-5 月 5 家晶圆厂合计完成招标 520 台，其中 1-5 月份分别完成招标 57、8、171、178 和 106台，3 月份以来明显提升。2）细分设备来看，）细分设备来看，2022 年 1-5 月份薄膜沉积设备、 刻蚀设备、 检测/量测设备、 炉管设备招标完
5、成量较大， 占比分别为 17%、14%、13%和 18%。3）细分晶圆厂来看，）细分晶圆厂来看，2022 年 1-5 月份华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成招标 325、170 和 20 台。 国产化率方面，国产化率方面，2022 年年 1-5 月份月份 5 家晶圆厂合计完成国产设备招标家晶圆厂合计完成国产设备招标160 台，国产化率约台，国产化率约 31%。1）细分晶圆厂来看）细分晶圆厂来看，2022 年 1-5 月华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成国产设备招标 59、93 和 8 台，国产化率分别为 18%、55%和 40%；2）细分设备来看）细分设备来看，涂胶显影设备、刻蚀设备、
6、CMP 设备、炉管设备、去胶机、剥离设备、刷片机等环节国产化率较高，分别为 37%、44%、47%、35%、83%、60%和 56%。3）细分供应商来看）细分供应商来看， 2022 年 1-5 月北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技、华海清科在上述5 家晶圆厂分别完成中标 55、13、12、14 和 8 台，表现十分突出。 行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔空间广阔 短期来看，短期来看，本土本土半导体设备半导体设备企业企业已经进入业绩兑现期。已经进入业绩兑现期。2021-2022Q1十家半导体设备企业合计实现营业收入237和60亿元， 同比+56
7、%和+57%，延续高速增长。截至 2022Q1 末，十家企业存货和合同负债合计分别达到208 和 95 亿元，均达到历史最高值，保障 2022 年业绩延续高速增长。 中长期来看，中长期来看，晶圆产能东移晶圆产能东移&国产替代逻辑长期国产替代逻辑长期存在存在，驱动，驱动本土本土半导半导体设备市场需求稳定增长， 行业需求景气度有望体设备市场需求稳定增长， 行业需求景气度有望长期长期延续。延续。 1） 晶圆产能东） 晶圆产能东移：移：2021-2022 年全球新增晶圆厂 29 座，其中中国大陆 8 座，占比达到27.59%。集微咨询预计中国大陆未来 5 年还将新增 25 座 12 英寸晶圆厂，总规划
8、月产能将超过 160万片， 本土对半导体设备需求有望长期维持高位；2）国产替代：）国产替代：2020 年中国大陆晶圆设备国产化率仅 7.4%，大部分环节不足 10%，国产替代空间广阔。在半导体行业增速放缓的背景下，设备环节进口替代逻辑将日益凸显。中长期来看，本土半导体设备企业的业绩驱动力更多来自市场份额提升，有望表现出高于行业整体的业绩弹性。 投资建议投资建议：下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022 年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐【拓荆科技-U】 、 【华海清科】 、【长川科技】 、 【芯源微】 、 【至纯科技】 、 【北方华创】 、 【中微公司】 、 【华峰测控】 、
9、【盛美上海】 。建议关注【万业企业】 、 【精测电子】 。 风险提示：风险提示：下游资本开支不及预期、设备国产化不及预期等。 -27%-22%-17%-12%-7%-2%3%8%13%18%2021/6/222021/10/212022/2/192022/6/20专用设备沪深300更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 2 / 21 内容目录内容目录 1. 晶圆制造环节景气度较高，半导体设备需求有望维持较高水平晶圆制造环节景气度较高，半导体设备需求有望维持较高水平 . 4 1.1. 新能源等需
10、求旺盛&疫情缓解，本土半导体行业景气度不必悲观 . 4 1.2. 晶圆厂资本开支仍处于高位，半导体设备需求维持在较高水平. 7 2. 晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，1-5 月国产化率约月国产化率约 30% . 9 2.1. 招标量：1-5 月份合计完成招标 520 台，华虹无锡贡献主要份额 . 9 2.2. 国产化率：1-5 月份达到 31%，涂胶显影&刻蚀等环节表现优异 . 12 2.3. 部分本土半导体设备企业中标明细汇总. 15 3. 行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔空间广阔 . 17 3.1. 存货
11、&合同负债达到历史最高峰，2022 年业绩高增长有强支撑 . 17 3.2. 晶圆产能东移&国产替代双轮驱动，本土设备企业有望持续扩张 . 18 3.2.1. 晶圆产能东移背景下，本土半导体设备需求有望长期维持高位. 18 3.2.2. 国产替代为另一成长逻辑，设备企业具备更大业绩增长弹性. 19 4. 投资建议投资建议 . 19 5. 风险提示风险提示 . 20 更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 3 / 21 图表目录图表目录 图 1： 2022 年 4 月全球半导体销售额同比+21.
12、09% . 4 图 2： 2022 年 4 月中国大陆半导体销售额占比为 32.86% . 4 图 3： 2022Q1 台积电智能手机行业收入占比约 40% . 5 图 4： 2020Q4 以来汽车电子行业收入环比持续增长 . 5 图 5： 2022Q1 中芯国际智能手机行业收入占比约 28.7% . 5 图 6： 2022Q1 华虹半导体电子消费品行业收入占比 66.3% . 5 图 7： 2022 年 5 月我国智能手机产量同比-5% . 6 图 8： 2022 年 4 月我国平板电脑销量同比+10% . 6 图 9： 2022 年 4 月我国笔记本电脑销量同比-28% . 6 图 10：
13、 2022 年 5 月我国智能手表产量同比+14% . 6 图 11： 2022 年 5 月我国新能源汽车销量同比+106% . 7 图 12： 2022 年 5 月我国新能源汽车产量同比+115% . 7 图 13： 长三角公路物流运价指数已经回落至正常区间. 7 图 14： 2022Q1 全球半导体设备销售额同比+5% . 8 图 15： 2022Q1 中国大陆半导体设备销售额同比+27% . 8 图 16： 2022Q1 中芯国际产能利用率达到 100.4% . 8 图 17： 2022Q1 华虹半导体产能利用率达到 106.0% . 8 图 18： 2022Q1 台积电资本性支出同比+
14、6% . 9 图 19： 2022Q1 中芯国际资本性支出同比+63% . 9 图 20： 2022 年 1-5 月份 5 家晶圆厂合计完成招标 520 台设备 . 10 图 21： 2021 年 1-5 月份华虹半导体（无锡）共完成招标 325 台设备 . 10 图 22： 2022 年 1-5 月份积塔半导体共完成招标 170 台设备 . 11 图 23： 2022 年 1-5 月份福建晋华共完成招标 20 台设备 . 11 图 24： 2022 年 1-5 月份 5 家晶圆厂完成招标设备国产化率为 31% . 12 图 25： 2022 年 1-5 月份华虹半导体（无锡）完成招标设备国产
15、化率为 18% . 13 图 26： 2022 年 1-5 月份积塔半导体完成招标设备国产化率为 55% . 14 图 27： 2022 年 1-5 月份福建晋华完成招标设备国产化率为 40% . 15 图 28： 2022 年 1-5 月份本土部分半导体设备企业中标情况汇总 . 16 图 29： 2021/2022Q1 十家半导体设备企业合计营业收入同比+56%/+57% . 17 图 30： 2022Q1 十家半导体设备企业存货合计 208 亿元 . 17 图 31： 2022Q1 十家半导体设备企业合同负债共 95 亿元 . 17 图 32： 2021 年底中国大陆晶圆产能全球占比仅 1
16、6% . 18 图 33： 2021 年中国大陆半导体销售额全球占比为 35% . 18 图 34： 2022 年中国大陆 12 寸晶圆厂扩产空间较大. 19 图 35： 2022-2026 年中国大陆将再新增 25 座晶圆厂 . 19 图 36： 2020 年大部分半导体设备环节国产化率不足 10% . 19 更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 4 / 21 1. 晶圆制造环节景气度较高，半导体设备需求有望维持较高水平晶圆制造环节景气度较高，半导体设备需求有望维持较高水平 1.1. 新能
17、源等需求旺盛新能源等需求旺盛&疫情缓解，本土半导体行业景气度不必悲观疫情缓解，本土半导体行业景气度不必悲观 受益新能源汽车、受益新能源汽车、HPC、IoT 等行业需求旺盛，全球半导体行业需求仍处于快速增等行业需求旺盛，全球半导体行业需求仍处于快速增长阶段。长阶段。1）全球范围内来看）全球范围内来看：2022 年 1-4 月全球半导体销售额累计为 2023 亿美元，同比+24%；2022 年 4 月半导体销售额为 509 亿美元，同比+21%，延续高速增长，景气度依旧较高。 2） 对于） 对于本土本土市场：市场： 2022 年1-4 月半导体销售额累计为 673 亿美元， 同比+19%，其中 1
18、 月、2 月、3 月和 4 月分别同比+24%、+22%、+17%和+13%，3 月份以来增速有月份以来增速有所下降，我们判断主要系上海等地疫情短期拖累所致。所下降，我们判断主要系上海等地疫情短期拖累所致。 图图1：2022 年年 4 月全球半导体销售额同比月全球半导体销售额同比+21.09% 图图2：2022 年年 4 月中国大陆半导体销售额占比为月中国大陆半导体销售额占比为 32.86% 数据来源：SIA，东吴证券研究所（单位：十亿美元） 数据来源：SIA，东吴证券研究所 全球范围内来看，智能手机、全球范围内来看，智能手机、HPC 领域仍为半导体行业主要需求终端，汽车电子领域仍为半导体行业
19、主要需求终端，汽车电子行业需求正在持续快速放量。行业需求正在持续快速放量。微观层面来看，若以台积电收入构成为指引：1）2022Q1台积电对智能手机、HPC（高性能计算，包含 CPU、GPU 等）行业的收入占比分别为40%和 41%，构成收入主体，仍是半导体行业主要需求来源。2）2020Q4 以来台积电对汽车电子行业收入持续增长， 2020Q4-2022Q1 环比增速分别为+27%、 +31%、 +12%、 +5%、+10%和+26%，市场需求持续旺盛，已经成为半导体行业增长重要驱动力。 0102030405060亚太/其他地区中国大陆日本欧洲美洲0%10%20%30%40%50%60%70%8
20、0%90%100%亚太/其他地区中国大陆日本欧洲美洲更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 5 / 21 图图3：2022Q1 台积电智能手机行业收入占比约台积电智能手机行业收入占比约 40% 图图4：2020Q4 以来汽车电子行业收入环比持续增长以来汽车电子行业收入环比持续增长 数据来源：台积电公告，东吴证券研究所 数据来源：台积电公告，东吴证券研究所（注：纵轴为“QoQ”收入环比增速） 对于中国大陆晶圆厂而言，智能手机（电子消费品）行业仍为主要收入来源。对于中国大陆晶圆厂而言，智能手机（电
21、子消费品）行业仍为主要收入来源。1）中芯国际：中芯国际：2022Q1 对智能手机行业收入占比约 28.7%，较 2020Q1（48.3%）明显下降；2）华虹半导体：）华虹半导体：2022Q1 对电子消费品行业收入占比为 66.3%，占据过半份额。 图图5：2022Q1 中芯国际智能手机行业收入占比约中芯国际智能手机行业收入占比约 28.7% 图图6：2022Q1 华虹半导体电子消费品行业收入占比华虹半导体电子消费品行业收入占比 66.3% 数据来源：中芯国际公告，东吴证券研究所 数据来源：华虹半导体公告，东吴证券研究所 短期来看，对于电子消费品等半导体行业主要需求终端，本土市场增长略有承压。短
22、期来看，对于电子消费品等半导体行业主要需求终端，本土市场增长略有承压。1） 智能手机：） 智能手机： 2022 年 3-5 月份我国智能手机产量累计 3.04 亿台 （1-2 月份无统计数据） ，同比-0.46%，基本持平， 其中 2022 年 5 月份产量达到 9795 万台，同比-5%， 略有下降。2）平板电脑：）平板电脑：2022 年 1-4 月份我国平板电脑累计销量约 355 万件，同比+0.2%，其中2022 年 4 月份实现销售 79.5 万件，同比+10%。3）笔记本电脑：）笔记本电脑：2022 年 1-4 月份我国笔记本电脑累计销量约 446 万件，同比-21%，其中 2022
23、 年 4 月份销量约 89 万件，同比49%47%46%51%45%42%44%44%40%30%33%37%31%35%39%37%37%41%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q1其他DCE汽车电子IoTHPC智能手机-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q148.3%46.7% 46.1%36.7%35.2%31.6% 31.5% 31.2%28.7%0%10%20%30%40%50%60%70%80%
24、90%100%20Q1 20Q2 20Q3 20Q4 21Q1 21Q2 21Q3 21Q4 22Q1其他消费电子智能家居智能手机61.8%59.3%62.7% 63.0%62.0%63.7%62.2%66.1% 66.3%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q1计算机通讯工业及汽车电子消费品更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 6 / 21 -28%，明显下降。4）智能手表：）智能手表：202
25、2 年 3-5 月份我国智能手表累计产量 1500 万个（1-2 月份无统计数据） ，同比+0.85%，其中 5 月份产量约 572 万个，同比+14%。 图图7：2022 年年 5 月我国智能手机产量同比月我国智能手机产量同比-5% 图图8：2022 年年 4 月我国平板电脑销量同比月我国平板电脑销量同比+10% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 图图9：2022 年年 4 月我国笔记本电脑销量同比月我国笔记本电脑销量同比-28% 图图10：2022 年年 5 月我国智能手表产量同比月我国智能手表产量同比+14% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据
26、来源：Wind，东吴证券研究所 然而，新能源等需求旺盛然而，新能源等需求旺盛&疫情逐步缓解背景下，我们判断短期中国大陆半导体市疫情逐步缓解背景下，我们判断短期中国大陆半导体市场整体需求仍有望稳健增长，场整体需求仍有望稳健增长，2022 年行业景气度不必悲观。年行业景气度不必悲观。 1）新能源汽车需求依旧旺盛，已成为本土半导体行业增长新动力。）新能源汽车需求依旧旺盛，已成为本土半导体行业增长新动力。2022 年 5 月我国新能源汽车销量、产量分别为 44.7 和 46.6 万辆，分别同比+106%和+115%；2022 年1-5 月累计销量、产量分别为 199.5 和 206.3 万辆，分别同比
27、+113%和+113%，需求依旧旺盛，对半导体需求持续大幅提升，是半导体行业持续增长的重要驱动力。 -25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%020406080100120140160180产量:智能手机:当月值（百万台）同比（%）-60%-40%-20%0%20%40%60%80%100%050100150200250销售量:平板电脑/MID（万件）同比（%)-40%-20%0%20%40%60%80%100%050100150200250300销售量:笔记本电脑（万件）同比（%）-30%-20%-10%0%10%20%30%0100200300400500600
28、7008009001000产量:智能手表:当月值（万个）同比（%）更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 7 / 21 图图11：2022 年年 5 月我国新能源汽车销量同比月我国新能源汽车销量同比+106% 图图12：2022 年年 5 月我国新能源汽车产量同比月我国新能源汽车产量同比+115% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 2）随着上海疫情封控解除（）随着上海疫情封控解除（2020 年上海集成电路产业收入规模约占全国年上海集成电路产业收入规模约占全
29、国 1/4） ，物） ，物流运输逐步缓解， 行业短期压制因素快速解除， 本土半导体行业有望重回快速增长通道。流运输逐步缓解， 行业短期压制因素快速解除， 本土半导体行业有望重回快速增长通道。 图图13：长三角公路物流运价指数已经回落至正常区间长三角公路物流运价指数已经回落至正常区间 数据来源：Wind，东吴证券研究所 1.2. 晶圆厂资本开支仍处于高位，半导体设备需求维持在较高水平晶圆厂资本开支仍处于高位，半导体设备需求维持在较高水平 受益汽车电子受益汽车电子&IoT 等等行业行业高景气，高景气，2021 年全球半导体设备销售额达历史最高点，年全球半导体设备销售额达历史最高点，中国大陆半导体产
30、业重心趋势愈发凸显。中国大陆半导体产业重心趋势愈发凸显。从行业增速来看从行业增速来看，2021 年全球&中国大陆半导体设备销售额分别为 1026 和 296 亿美元，2012-2021 年 CAGR 分别为 12%和 32%；2022Q1 中国大陆半导体设备销售额达到 75.7 亿美元，同比+27%，延续高速增长，明显高于全球增速（+5%） ；从全球占比来看从全球占比来看，2012 年中国大陆半导体设备销售额全球占比仅为 7%，2022Q1 年快速上升至 30.6%，产业重心趋势越发明显。 -200%-100%0%100%200%300%400%500%600%700%800%01020304
31、05060销量:新能源汽车:当月值（万辆）同比(%)-200%0%200%400%600%800%1000%1200%1400%0102030405060产量:新能源汽车:当月值（万辆）同比（%）0100020003000400050006000中国公路物流运价指数:长三角更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 8 / 21 图图14：2022Q1 全球半导体设备销售额同比全球半导体设备销售额同比+5% 图图15：2022Q1 中国大陆半导体设备销售额同比中国大陆半导体设备销售额同比+27%
32、数据来源：SEMI，东吴证券研究所 数据来源：SEMI，东吴证券研究所 高基数背景下， 市场普遍担心半导体行业景气度拐点向下， 下游客户资本开支下降，高基数背景下， 市场普遍担心半导体行业景气度拐点向下， 下游客户资本开支下降，对半导体设备需求增长乏力。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工对半导体设备需求增长乏力。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高，封测厂稼动率存在分化趋势，先进封装、汽车电子等领域依旧供不应求，率依旧较高，封测厂稼动率存在分化趋势，先进封装、汽车电子等领域依旧供不应求，2022 年下游客户资本开支仍有保障，半导体设备的需求有望维持在较高
33、水平。年下游客户资本开支仍有保障，半导体设备的需求有望维持在较高水平。 中国大陆晶圆厂开工率依旧较高，产能利用率超中国大陆晶圆厂开工率依旧较高，产能利用率超 100%。1 1）中芯国际：中芯国际：2022Q1 产能利用率达到 100.4%，同比+1.7pct，环比+1.0pct；2 2）华虹半导体：华虹半导体：2022Q1 产能利用率达到 106%， 同比+1.8pct， 环比+0.6pct； 其中 12 英寸和 8 英寸产能利用率分别为 103.9%和 107.7%，分别同比+0.1pct、+3.4pct，分别环比+1.4pct、+0.2pct。由此可见，晶圆产能晶圆产能东移背景下，中国大陆
34、晶圆厂产能普遍吃紧，扩产动力依旧较为充足。东移背景下，中国大陆晶圆厂产能普遍吃紧，扩产动力依旧较为充足。 图图16：2022Q1 中芯国际产能利用率达到中芯国际产能利用率达到 100.4% 图图17：2022Q1 华虹半导体产能利用率达到华虹半导体产能利用率达到 106.0% 数据来源：中芯国际公告，东吴证券研究所 数据来源：华虹半导体公告，东吴证券研究所 在半导体行业需求景气度较高， 晶圆产能吃紧的背景下， 下游资本开支仍处于高位。在半导体行业需求景气度较高， 晶圆产能吃紧的背景下， 下游资本开支仍处于高位。-20%-10%0%10%20%30%40%50%02004006008001000
35、1200全球半导体设备销售额（亿美元）yoy0%10%20%30%40%50%60%70%050100150200250300350中国大陆半导体设备销售额（亿美元）yoy98.8%98.5%98.6%97.8%95.5%98.7%100.4%100.3%99.4%100.4%90%92%94%96%98%100%102%产能利用率（%）82.4%93.4%95.8%99.0%104.2%109.5%110.9%105.4% 106.0%0%20%40%60%80%100%120%0%20%40%60%80%100%120%200nm300nm总体更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读
36、正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 9 / 21 具体来看：1）台积电：）台积电：2022Q1 资本性支出达到 93.8 亿美元，同比+6%，环比+11%；2022 年全年资本开支预计为 400-440 亿美元，同比+33%-+46%；2）中芯国际：）中芯国际：2022Q1资本性支出达到 8.69 亿美元，同比+63%。下游半导体企业持续性高资本开支，对半导下游半导体企业持续性高资本开支，对半导体设备的需求度依旧较高，行业景气度有望延续。体设备的需求度依旧较高，行业景气度有望延续。 图图18：2022Q1 台积电资本性支出同比台积电资
37、本性支出同比+6% 图图19：2022Q1 中芯国际资本性支出同比中芯国际资本性支出同比+63% 数据来源：台积电公告，东吴证券研究所 数据来源：中芯国际公告，东吴证券研究所 2. 晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，1-5 月国产化率约月国产化率约 30% 2.1. 招标量：招标量：1-5 月份合计完成招标月份合计完成招标 520 台，华虹无锡贡献主要份额台，华虹无锡贡献主要份额 我们以 2022 年以来规模化公开招标的 5 家晶圆厂为统计标本， 包括华虹半导体 （无锡） 、 积塔半导体、 福建晋华、 华力集成和华虹宏力， 统计口径为 “最终中标公告时间” 。
38、 据我们不完全统计：1）整体来看，）整体来看，2022 年年 1-5 月份月份 5 家晶圆厂合计完成半导体设家晶圆厂合计完成半导体设备招标备招标 520 台台，其中 1-5 月份分别完成招标 57、8、171、178 和 106 台，3 月份以来招标完成量明显提升。2）细分设备来看，）细分设备来看，2022 年 1-5 月份薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备、炉管设备招标完成量较大，5 家晶圆厂分别合计完成招标 90、72、68 和91 台，占比分别为 17%、14%、13%和 18%。3）细分晶圆厂来看，）细分晶圆厂来看，2022 年 1-5 月份华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成招
39、标 325、170 和 20 台，扩产力度较大。 -100%-50%0%50%100%150%200%0102030405060708090100资本性支出（亿美元）同比-200%0%200%400%600%800%1000%1200%0510152025资本性支出（亿美元）同比更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 10 / 21 图图20：2022 年年 1-5 月份月份 5 家晶圆厂合计完成招标家晶圆厂合计完成招标 520 台设备台设备 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（注：公开
40、信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台） 1）华虹无锡：）华虹无锡：2022 年 1-5 月份合计完成招标 325 台，其中 1-5 月份分别完成招标52、0、143、88 和 42 台，扩产有序进行。细分设备来看，薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备和炉管设备占比较高，1-5 月份合计分别完成招标 57、50、47 和 43 台。 图图21：2021 年年 1-5 月份华虹半导体（无锡）共完成招标月份华虹半导体（无锡）共完成招标 325 台设备台设备 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台） 2）积塔半导体：）积塔半导体：2022 年
41、1-5 月份合计完成招标 170 台，其中 1-5 月份分别完成招标 1、6、25、81 和 57 台，4 月份以来招标力度明显加大。细分来看，薄膜沉积设备、1月1月2月2月3月3月4月4月5月5月1-5月合计1-5月合计占比占比光刻设备光刻设备6111413133%涂胶显影设备涂胶显影设备20113319194%薄膜沉积设备薄膜沉积设备24133725909017%刻蚀设备刻蚀设备0030339727214%CMPCMP9041519194%清洗设备清洗设备22134223234%离子注入设备离子注入设备7095223234%检测/量测设备检测/量测设备01213610686813%测试设备
42、测试设备01722636367%炉管设备炉管设备5025574919118%去胶机去胶机0127212122%剥离设备剥离设备00100010102%刷片机刷片机000909 92%其他设备其他设备211531435357%合计合计57578 8171171178178106106520520100%1月1月2月2月3月3月4月4月5月5月1-5月合计1-5月合计占比占比光刻设备光刻设备617 72%涂胶显影设备涂胶显影设备99 93%薄膜沉积设备薄膜沉积设备23322575718%刻蚀设备刻蚀设备29174505015%CMPCMP9413134%清洗设备清洗设备1212124%离子注入设备
43、离子注入设备7916165%检测/量测设备检测/量测设备20234474714%测试设备测试设备2626268%炉管设备炉管设备51028434313%去胶机去胶机279 93%剥离设备剥离设备1010103%刷片机刷片机44 41%其他设备其他设备214622227%合计合计52520 014314388884242325325100%更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 11 / 21 刻蚀设备和炉管设备招标占比较高，1-5 月份合计分别完成招标 30、20 和 46 台。 图图22：2
44、022 年年 1-5 月份积塔半导体共完成招标月份积塔半导体共完成招标 170 台设备台设备 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台） 3） 福建晋华：） 福建晋华： 2022 年 1-5 月份合计完成招标 20 台， 其中 1-5 月份分别完成招标 2、1、 3、 8 和 6 台， 小批量招标持续。 细分设备类型来看， 检测/量测设备、 涂胶显影设备、薄膜沉积设备招标完成量较大，1-5 月份合计分别完成招标 8、3 和 3 台。 图图23：2022 年年 1-5 月份福建晋华共完成招标月份福建晋华共完成招标 20 台设备台设备 数据来源：中
45、国国际招标网，东吴证券研究所（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台） 1月1月2月2月3月3月4月4月5月5月1-5月合计1-5月合计占比占比光刻设备光刻设备1146 64%涂胶显影设备涂胶显影设备1337 74%薄膜沉积设备薄膜沉积设备1722303018%刻蚀设备刻蚀设备1145202012%CMPCMP156 64%清洗设备清洗设备11428 85%离子注入设备离子注入设备44 42%检测/量测设备检测/量测设备18413138%测试设备测试设备17210106%炉管设备炉管设备15292464627%去胶机去胶机123 32%剥离设备剥离设备0 00%刷片机刷片机55 53
46、%其他设备其他设备13812127%合计合计1 16 6252581815757170170100%1月1月2月2月3月3月4月4月5月5月1-5月合计1-5月合计占比占比光刻设备光刻设备0 00%涂胶显影设备涂胶显影设备213 315%薄膜沉积设备薄膜沉积设备1113 315%刻蚀设备刻蚀设备11 15%CMPCMP0 00%清洗设备清洗设备0 00%离子注入设备离子注入设备112 210%检测/量测设备检测/量测设备1528 840%测试设备测试设备0 00%炉管设备炉管设备22 210%去胶机去胶机0 00%剥离设备剥离设备0 00%刷片机刷片机0 00%其他设备其他设备11 15%合计
47、合计2 21 13 38 86 62020100%更多投研资料 公众号：mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 行业月报 12 / 21 2.2. 国产化率：国产化率：1-5 月份达到月份达到 31%，涂胶显影，涂胶显影&刻蚀等环节表现优异刻蚀等环节表现优异 国产化率方面，国产化率方面， 2022 年年 1-5 月份月份 5 家晶圆厂合计完成国产设备招标家晶圆厂合计完成国产设备招标 160 台， 国产化台， 国产化率约率约 31%；其中 1-5 月份分别合计完成国产设备招标 4、5、36、66 和 52 台，国产化率分别为
48、7%、63%、21%、37%和 49%。细分设备来看，涂胶显影设备、刻蚀设备、CMP设备、炉管设备、去胶机、剥离设备、刷片机国产化率较高，1-5 月份合计国产化率分别为 37%、44%、47%、35%、83%、60%和 56%。 （注：在详细统计中，我们将二手、翻新&外贸业务厂商的中标结果也记入“国产设备” ，故理论上本文的国产化率统计值偏高） 图图24：2022 年年 1-5 月份月份 5 家晶圆厂完成招标设备国产化率为家晶圆厂完成招标设备国产化率为 31% 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台） 1）华虹无锡：）华虹无锡：2022 年
49、1-5 月份合计完成国产设备招标 59 台，国产化率为 18%；其中 3-5 月份分别完成国产设备招标 35、20、4 台，国产化率分别为 24%、23%和 10%。细分设备来看，刻蚀设备、CMP 设备、清洗设备、炉管设备、去胶机、剥离设备国产化率较高，1-5 月份合计国产化率分别为 32%、31%、17%、21%、78%和 60%。 1月1月2月2月3月3月4月4月5月5月1-5月合计1-5月合计国产中标数量国产中标数量000011 1国产化率国产化率0%0%0%0%25%8%8%国产中标数量国产中标数量20237 7国产化率国产化率100%0%15%100%37%37%国产中标数量国产中标数量0161192727国产化率国产化率0%100%18%14%76%30%30%国产中标数量国产中标数量42533232国产化率国产化率13%76%33%44%44%国产中标数量国产中标数量04059 9国产化率国产化率0%100%0%100%47%47%国产中标数量国产中标数量223015 5国产化率国产化率100%100%23%0%50%22%22%国产中标数量国产中标数量01113 3国产化率国产化率0%11%20%50%13%13%国产中标数量国产中标数量02147 7国产化率国产化率0%10%3%40%10%10%国产中标数量国产中标数量00000 0国产化率国产化率0%0%0
