1、 敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022 年 6 月 20 日 行业行业研究研究 积塔积塔/ /华虹招标华虹招标 53/4953/49 台，芯源微台，芯源微/ /北方华创北方华创/ /拓荆科技中标拓荆科技中标 15/14/1115/14/11 台台 国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 12 期（2022 年 06 月） 电子行业电子行业 国内国内半导体设备半导体设备 5 5 月月招投标招投标数据数据（仅限于已公布的数据）（仅限于已公布的数据） 国内国内晶圆厂晶圆厂商商招标数据招标数据： 华虹半导体华虹半导体：CVD+1 台，ALD+1 台，干法刻蚀+3 台，湿法刻蚀+2 台，
2、前道检测+2 台，前道计量+2 台，后道测试机+16 台，探针台+19 台，后道封装+3 台； 上海积塔半导体：上海积塔半导体：PVD+7 台，CVD+15 台，ECP+1 台，光刻机+4 台，干法刻蚀+5 台，湿法刻蚀+1 台，前道检测+4 台，湿法清洗+3 台，去胶+2 台，涂胶显影+3 台，化学机械研磨+5 台，退火+1 台，氧化扩散+2 台； 福建晋华：福建晋华：CVD+1 台，前道检测+2 台，前道计量+3 台，退火+2 台，离子注入+1 台； 燕东微电子科技：燕东微电子科技：前道计量+1 台，湿法清洗+1 台，离子注入+5 台，后道测试机+3 台； 华力微电子：华力微电子：干法刻蚀
3、+1 台，离子注入+1 台； 上海新微：上海新微：PVD+1 台，干法刻蚀+1 台，前道检测+1 台，抛光研磨机+1 台，氧化扩散+1 台，后道封装+5 台； 国内国内设备厂商中标数据：设备厂商中标数据： 北方华创：北方华创：PVD+8 台，干法刻蚀+2 台，湿法清洗+2 台，氧化扩散+2 台； 中微公司：中微公司：干法刻蚀+2 台；芯源微：芯源微：涂胶显影+15 台；沈阳拓荆沈阳拓荆：CVD+11 台； 上海微电子：上海微电子：光刻机+1 台，缺陷检测显微镜+4 台； 屹唐半导体屹唐半导体：退火+1 台； 华海清科：华海清科：化学机械研磨+7 台； 上海上海精测半导体精测半导体：前道检测+1
4、 台； 中科飞测中科飞测：前道检测+1 台，前道计量+4 台； 新益昌新益昌：粘片机+3 台； 半导体设备半导体设备行业景气度数据：行业景气度数据： 半导体设备销售额半导体设备销售额 20212021- -20202 23 3 年年：全球分别为 1026/1143/1134 亿美元，同比+44.2%/+11.4%/-0.8% （SEMI 21 年 12 月预测） ； 中国大陆分别为 296/355/369亿美元，同比+58.2%/+19.7%/+4.0%（光大证券研究所 22 年 6 月预测） 。 20222022 年年 5 5 月月：中国台湾半导体设备进口额为 27.14 亿美元，同比增长
5、32.9%；台积电营业收入为 1857.05 亿新台币，同比增长 65.3%。 20222022 年年 4 4 月：月：中国半导体销售额为 167.3 亿美元，同比增长 13.3%；中国半导体器件用机器及装置进口额累计值为 439.78 亿元，同比减少 1.5%。 20222022 年第一季度：年第一季度：全球半导体设备销售额为 246.9 亿美元，同比增长 4.8%；中国大陆半导体设备销售额为 75.7 亿美元，同比增长 27.0%。 半导体设备行业半导体设备行业投资建议：投资建议： 建议关注北方华创、 中微公司、 拓荆科技、 盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业、华海清
6、科、光力科技、华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H） 。 半导体材料行业半导体材料行业投资建议：投资建议： 建议关注神工股份、 沪硅产业-U、 立昂微、 雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。 风险分析：风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 买入（维持）买入（维持） 作者作者 分析师：刘凯分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 联系人：杨德珩联系人：杨德珩 行业与沪深行业与沪深 300300 指数对比图指数对比图 资料来
7、源：Wind 相关研报相关研报 华虹半导体招标 88 台， 上海积塔半导体招标 77台，北方华创中标 39 台国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 11 期（2022 年 05 月）（2022-5-16） 北方华创中标 25 台，盛美上海中标 11 台，华虹半导体招标 141 台国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 10 期（2022 年 04 月）（2022-4-17） 上海积塔半导体招标 5 台，燕东微电子招标 11台国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 9期（2022 年 03 月）（2022-3-15） 华虹半导体招标 50 台，至纯科技中标 8 台清洗设备国内半导体设备招投标月度数据跟踪第
8、 8 期（2022 年 02 月）（2022-02-20） 长川科技中标 14 台测试机和 30 台分选机，光力科技中标 10 台划片机国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 7 期（2022 年 01 月）（2022-01-13） 要点要点 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 电子行业电子行业 1 1、 半导体设备及材料最新观点半导体设备及材料最新观点 半导体设备及材料行业景气度与国产替代进度、 晶圆厂扩张以及技术迭代息息相关， 国产替代进度和晶圆厂扩张决定着当前景气周期内对国产半导体设备及材料的需求， 而技术创新带来的技术迭代则不断驱动着半导体设
9、备及材料的需求长周期持续向上，国产替代是本轮半导体设备及材料景气度高企的核心驱动力国产替代是本轮半导体设备及材料景气度高企的核心驱动力。 半导体设备与新建产线关联度较高，具备周期性强、空间大等特点，半导体材料有耗材属性，具备周期性弱、持续性好等特点。 目前大力提高中国大陆半导体设备及材料供应商的竞争力， 对保障中国半导体产业链安全具有显著的溢出效益，有助于大大降低美国等出口管制所带来的风险。因此， 尽管存在巨大的进入壁垒， 中国政府将继续重点支持本的半导体设备及材料行业，即使在中美关系缓和以及设备松绑的情况下，国产化大趋势不变。 2021 年很多国产半导体设备及材料实现了 0-1 的跨越，20
10、22 年将逐步进入到1-N 的放量过程，预计国产替代的速度将不断加快，我们持续看好半导体设备及我们持续看好半导体设备及材料国产替代的逻辑，材料国产替代的逻辑，是是未来的未来的长周期优质赛道。长周期优质赛道。 图表图表 1 1：半导体设备行业指数（申万）及沪深半导体设备行业指数（申万）及沪深 300300 指数指数 图表图表 2 2：半半导体设备行业市盈率（申万）导体设备行业市盈率（申万） 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 图表图表 3 3
11、：中国台湾半导体行业指数及加权指数中国台湾半导体行业指数及加权指数 图表图表 4 4：费城半导体指数及纳斯费城半导体指数及纳斯达克综合指数达克综合指数 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 电子行业电子行业 1.11.1、 全球半导体设备行业展望全球半导体设备行业展望 根据国际半导体产业协会（SEMI）2021 年 12 月 14 日公布的年终总半导体设备预测
12、报告和 2022 年 4 月 13 日公布的全球半导体设备市场统计报告，2021 年全球半导体制造设备销售总额达到 1026 亿美元的新高，比 2020 年的712 亿美元的销售历史记录增长 44%， 预计 2022 年全球半导体制造设备市场销售总额将扩大到 1143 亿美元，同比增长 11.4%，到 2023 年全球半导体制造设备市场销售总额预计将略微下滑 0.8%至 1134 亿美元。 图表图表 5 5：全球半导体设备销售全球半导体设备销售额额及同比及同比增速增速 资料来源：SEMI 预测、Wind、光大证券研究所整理 20222022 年年 5 5 月月：中国台湾半导体设备进口额为 27
13、.14 亿美元，同比增长 32.9%；台积电营业收入为 1857.05 亿新台币，同比增长 65.3%。 2022022 2 年年 4 4 月月：中国半导体销售额为 167.3 亿美元，同比增长 13.3%；中国半导体器件用机器及装置进口额累计值为 439.78 亿元，同比减少 1.5%。 2022022 2 年第年第一一季度季度：全球半导体设备销售额为 246.9 亿美元，同比增长 4.8%；中国大陆半导体设备销售额为 75.7 亿美元，同比增长 27.0%。 图表图表 6 6： 中国台湾半导体设备中国台湾半导体设备月度月度进口额及同比进口额及同比 图表图表 7 7：台积电营业收入月度值及同
14、比台积电营业收入月度值及同比 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 电子行业电子行业 图表图表 8 8：中国半导体月度销售额及同比中国半导体月度销售额及同比 图表图表 9 9：中国半导体器件用机器及装置进口额月度累计值中国半导体器件用机器及装置进口额月度累计值及同比及同比 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 图表图表 1010：全球全球半导体设备季度销售额及同比半导体设备季度销售额及同比 图表图表 1111：中国大陆半导体设备
15、季度销售额及同比中国大陆半导体设备季度销售额及同比 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 2022022 2 第第一一季度，季度，五五家全球重点半导体设备公司家全球重点半导体设备公司营收同比增速变缓营收同比增速变缓：ASML 营业收入为 39.64 亿美元， 同比减少 24.5%， 净利润为 7.90 亿美元， 同比减少 50.7%，下同；LAM 营业收入（40.60，+5.5%），净利润（10.23，-4.5%）；KLA 营业收入 （22.89， +26.9%） ，净利润 （7.76， +30.5%）； Teradyne 营业收入（7.55，-3.5
16、%），净利润（1.66，-10.5%）。 FY2022Q2，AMAT 营业收入（62.45，+11.9%），净利润（15.36，+15.5%）。 图表图表 1212：ASMLASML 季度收入季度收入及同比增速及同比增速 图表图表 1313：ASMLASML 季度季度净利润及同比增速净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1 时间为 2022010120220401； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1 时间为 2022010120220401； 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -5- 证券研究报告
17、 电子行业电子行业 图表图表 1414：AMATAMAT 季度收入季度收入及同比增速及同比增速 图表图表 1515：AMATAMAT 季度季度净利润及同比增速净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2 时间为 2022020320220501； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2 时间为 2022020320220501； 图表图表 1616：LAMLAM 季度收入季度收入及同比增速及同比增速 图表图表 1717：LAMLAM 季度季度净利润及同比净利润及同比增速增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q
18、3 时间为 2021122920220327； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q3 时间为 2021122920220327，FY19Q2 增速为+5814.3%； 图表图表 1818：KLAKLA 季度收入季度收入及同比增速及同比增速 图表图表 1919：KLAKLA 季度季度净利润及同比增速净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q3 时间为 2022010120220401； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q3 时间为 2022010120220401； 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参
19、阅最后一页特别声明 -6- 证券研究报告 电子行业电子行业 图表图表 2020：TeradyneTeradyne 季度收入季度收入及同比增速及同比增速 图表图表 2121：TeradyneTeradyne 季度季度净利润及同比增速净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1 时间为 2022010320220331； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1 时间为 2022010320220331，FY18Q4 增速为-235.8%； 1.21.2、 中国大陆中国大陆半导体设备行业展望半导体设备行业展望 2021 年中国大陆半导体设备
20、销售额为 296.2 亿美元，同比增长58.2%，占全球半导体设备市场的 28.9%，第二次成为全球最大的半导体设备市场。我们预计中国大陆半导体设备销售额全球占比有望从 2021 年的 28.9%提升到 2023 年的32.5%，呈逐年上升的趋势。由此测算，2022 年中国大陆半导体设备销售额预计将达到 354.5 亿美元，同比增长 19.7%，到 2023 年中国大陆半导体设备销售额有望增长 4.0%至 368.6 亿美元。 图表图表 2222：中国大陆半导体设备销售额及同比增速中国大陆半导体设备销售额及同比增速 图表图表 2323：中国大陆半导体设备中国大陆半导体设备销售额销售额全球占比变
21、化趋势全球占比变化趋势 资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测 资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测 图表图表 2424：中国大陆半导体设备销售额全球占比测算中国大陆半导体设备销售额全球占比测算 中国大陆销售占比中国大陆销售占比 20182018 20192019 20202020 2021.2021.6 6 2021.2021.9 9 20212021 2022E2022E 2023E2023E 占比（%） 20.3% 22.5% 26.3% 33.05% 27.14% 28.9% 31% 32.5% 增量（Y2-Y1） - 2.2% 3.8% - - 2.6% 2.1% 1.
22、5% 资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测 中国大陆主要晶圆厂产能持续扩张。中国大陆主要晶圆厂产能持续扩张。 半导体设备收入的增长与晶圆厂扩张息息相关， 晶圆厂扩产的资本支出中的 70-80%左右将用于购买半导体设备， 截止 2021年底，国内主要晶圆厂扩产计划：中芯国际总扩产计划 24 万片/月，其中中芯京城 10 万片/月，中芯深圳 4 万片/月，中芯临港 10 万片/月；华虹半导体计划扩产 4 万片/月；长江存储总产能规划，一期 10 万片/月，二期 20 万片/月，总产更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -7- 证券研究报告 电子行业电子行业 能目标
23、30 万片/月；合肥长鑫 2021 年扩产 6 万片/月，2022 年有望达到 12 万片/月，总产能目标 30 万片/月；粤芯半导体一期二期产能 4 万年/月，总产能目标 12 万年/月；上海积塔半导体一期 8 英寸产能规划 4.5 万片/月，最终 8 万片/月，二期 12 英寸产能规划 5 万片/月。 图表图表 2525：中国大陆主要晶圆厂扩产计划 序号序号 晶圆厂晶圆厂 地点地点 产能规划产能规划 简介简介 预计产能预计产能释放时间释放时间 1 中芯京城 北京 2024 年达 10 万片/月（一期） ，二期将根据实际需求适时启动 12 英寸 28nm 及以上 2022-2025 中芯深圳
24、 深圳 2022 年扩产至 4 万片/月，预计 2022 年开始生产 12 英寸 28nm 及以上 2022-2023 中芯临港 上海 计划扩产 10 万片/月，2022 年 1 月 4 日正式启动建设 12 英寸 28nm 及以上 2023-2025 中芯绍兴 绍兴 由 6 万片/月扩产至 9 万片/月 8 英寸 90nm 及以上 2021-2022 中芯宁波 宁波 扩产 3 万片/月 8 英寸 90nm 及以上 2022-2023 2 华虹半导体 华虹无锡 2021 年从 4 万片/月扩产至 6 万片/月，最终 8 万片/月 12 英寸 90-65/55nm 2021-2022 3 长江存
25、储 武汉 2021 年产能约 10 万年/月， 一期二期总目标 30 万片/月 12 英寸 NAND Flash 2021-2025 4 合肥长鑫 合肥 2021 年扩产 6 万片/月，2022 年有望至 12 万片/月，总产能 30 万年/月 12 英寸 DRAM 2021-2025 5 粤芯半导体 广州 一期二期总产能 4 万片/月，预计到 2025 年达 12 万片/月 12 英寸 90-65nm 模拟工艺 2021-2025 6 上海积塔半导体 上海 一期 2020 年 6 月投产，规划 4.5 万片/月，最终 8 万片/月 8 英寸 90nm 及以上 2021-2023 二期将于 2
26、022 年开始建设，规划 5 万片/月 12 英寸 65nm BCD 工艺 2022-2023 资料来源：各公司公告、光大证券研究所整理 20222022 年中国头部晶圆厂资本开支持续上行年中国头部晶圆厂资本开支持续上行。2021-2022 年：TSMC（300/420亿美金，同比+40%，下同），SMIC（45/50，+11.11%），XMC/YTMC（33/34，+3.03%），Huahong Group（20/25，+25%）、UMC（18/30，+66.67%），五家合计（416/559，+34.38%）。 图表图表 2626：全球全球 IDMIDM & & FOUNDRYFOUNDR
27、Y 资本开资及预测（单位：十亿美元，资本开资及预测（单位：十亿美元，%） 资料来源：TechInsights、光大证券研究所整理 图表图表 2727：中国头部晶圆厂资本开支中国头部晶圆厂资本开支及预测（单位：十亿美元）及预测（单位：十亿美元） 晶圆厂晶圆厂 20192019 20202020 20212021 2022E2022E TSMC 14.9 17.2 30.0 42.0 SMIC 2.0 5.7 4.5 5.0 XMC/YMTC 2.1 2.9 3.3 3.4 Huahong Group 2.0 2.2 2.0 2.5 UMC 0.6 1.0 1.8 3.0 TotTotalal 2
28、1.621.6 2929 41.641.6 55.955.9 YoY(%)YoY(%) - - 34.26%34.26% 43.45%43.45% 34.38%34.38% 资料来源：TechInsights、光大证券研究所整理 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -8- 证券研究报告 电子行业电子行业 2 2、 国内国内半导体设备招投标半导体设备招投标情况情况总览总览 图表图表 2828：20222022 年年国内国内半导体设备招投标数据半导体设备招投标数据总览总览（单位：台）（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4
29、月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 薄膜沉积设备薄膜沉积设备 PVD 12 0 5 3 9 29 6666 CVD 12 0 25 6 17 60 246246 ALD 0 0 0 0 1 1 3434 EPI 0 0 2 0 0 2 1414 ECP 0 1 4 0 1 6 6 6 MOCVD 0 0 0 1 0 1 1 1 光刻机光刻机 光刻机 6 5 1 1 5 18 2323 其他光刻设备 0 0 0 0 0 0 5 5 刻蚀设备刻蚀设备 干法刻蚀 1 1 27 3
30、7 11 77 214214 湿法刻蚀 1 0 8 1 3 13 2222 前道检测与计量前道检测与计量 检测 2 0 15 22 9 48 135135 计量 3 0 16 12 7 38 5050 成分分析 0 0 0 0 0 0 3 3 FIB 0 0 0 0 0 0 3 3 清洗设备清洗设备 干法清洗 0 0 2 7 2 11 1111 湿法清洗 7 3 23 4 4 41 115115 去胶 0 1 9 0 0 10 6161 刷片机 2 0 3 9 0 14 1111 晶圆盒清洗 0 0 0 0 0 0 6 6 涂胶显影设备涂胶显影设备 涂胶显影 3 0 1 12 2 18 313
31、1 涂胶 0 1 0 2 9 12 1212 显影 0 0 0 0 6 6 5 5 固化 0 0 0 0 0 0 2 2 化学机械研磨化学机械研磨& &抛光机抛光机 化学机械研磨 9 0 5 1 8 23 4949 抛光机 0 0 0 0 0 0 9 9 退火及热处理设备退火及热处理设备 退火 4 2 9 3 4 22 7070 热处理 1 0 0 0 0 1 1212 离子注入及氧化扩散离子注入及氧化扩散 离子注入 7 0 11 4 7 29 4949 氧化扩散 14 0 18 54 3 89 120120 后道检测设备后道检测设备 测试机 5 1 0 51 19 76 400400 分选机
32、 0 0 0 8 0 8 7878 探针台 2 0 7 3 19 31 173173 后道封装设备后道封装设备 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -9- 证券研究报告 电子行业电子行业 背金 0 0 0 0 0 0 4 4 焊接 0 0 0 0 0 0 491491 键合 1 2 121 8 348 480 162162 切割 7 3 6 0 14 30 143143 塑封 0 2 0 21 0 23 1313 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3 3、 国内晶圆厂商招标情况国内晶圆厂商招标情况 3.13.1、 中芯国际（绍兴）中芯国际（绍兴）
33、 图表图表 2929：20222022 年中芯国际（绍兴）招标数据（单位：台）年中芯国际（绍兴）招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 PVDPVD 0 0 0 0 0 0 9 9 CVDCVD 0 0 0 0 0 0 1717 EPIEPI 0 0 0 0 0 0 1 1 i i- -lineline 光刻机光刻机 0 0 0 0 0 0 1 1 干法刻蚀机干法刻蚀机 0 0 0
34、 0 0 0 1010 前道检测前道检测 0 0 0 0 0 0 1515 前道计量前道计量 0 0 0 0 0 0 1 1 湿法清洗湿法清洗 0 0 0 0 0 0 1111 去胶去胶 0 0 0 0 0 0 2 2 晶圆盒清洗晶圆盒清洗 0 0 0 0 0 0 2 2 涂胶显影涂胶显影 0 0 0 0 0 0 6 6 化学机械研磨化学机械研磨 0 0 0 0 0 0 2 2 退火退火 0 0 0 0 0 0 6 6 氧化扩散氧化扩散 0 0 0 0 0 0 2 2 后道测试机后道测试机 0 0 0 0 0 0 3737 分选机分选机 0 0 0 0 0 0 6 6 探针台探针台 0 0 0
35、 0 0 0 2525 后道封装后道封装 0 0 0 0 0 0 7878 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3.23.2、 华虹半导体华虹半导体 图表图表 3030：20222022 年华虹半导体招标数据（单位：台）年华虹半导体招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 PVDPVD 11 0 3 0 0 14 8 8 CVDCVD 12 0 24 0 1 37
36、 2121 A ALDLD 0 0 0 0 1 1 0 0 EPIEPI 0 0 2 0 0 2 3 3 ECPECP 0 0 3 0 0 3 1 1 365nm365nm 光刻机光刻机 3 0 0 0 0 3 1 1 248nm248nm 光刻机光刻机 2 0 0 0 0 2 3 3 深紫外线光刻机深紫外线光刻机 1 0 1 0 0 2 1 1 干法刻蚀干法刻蚀 0 0 24 17 3 44 3 34 4 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -10- 证券研究报告 电子行业电子行业 湿法刻蚀湿法刻蚀 0 0 5 0 2 7 2 2 前道检测前道检测 0 0 5 16
37、 2 23 3434 前道计量前道计量 0 0 14 7 2 23 1414 干法干法清洗清洗 0 0 2 7 0 9 0 0 湿法清洗湿法清洗 0 1 15 0 0 16 1212 去胶去胶 0 0 9 0 0 9 1212 刷片刷片机机 0 0 3 4 0 7 5 5 倒片机倒片机 0 0 0 0 0 0 7 7 涂胶显影涂胶显影 0 0 0 9 0 9 6 6 化学机械化学机械研磨研磨 9 0 4 0 0 13 6 6 退火退火 4 0 8 1 0 13 1212 热处理热处理 1 0 0 0 0 1 4 4 离子注入离子注入 7 0 11 0 0 18 2222 氧化扩散氧化扩散 0
38、0 2 27 0 29 3131 后道测试机后道测试机 0 0 0 0 16 16 8 8 探针台探针台 0 0 0 0 19 19 1616 后道封装后道封装 0 0 6 0 3 9 1919 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3.33.3、 华华力微电子力微电子 图表图表 3131：20222022 年华力微电子招标数据（单位：台）年华力微电子招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇
39、总 20212021 年年 PVDPVD 0 0 0 0 0 0 2 2 CVDCVD 0 0 0 0 0 0 7 7 ALDALD 0 0 0 0 0 0 1 1 248nm248nm 光刻机光刻机 0 0 0 0 0 0 1 1 干法刻蚀干法刻蚀 0 0 0 1 1 2 5 5 前道计量前道计量 0 0 0 0 0 0 3 3 湿法清洗湿法清洗 0 0 0 0 0 0 1 1 刷片机刷片机 2 0 0 0 0 2 2 2 涂胶显影涂胶显影 0 0 0 0 0 0 1 1 化学机械研磨化学机械研磨 0 0 0 0 0 0 4 4 离子注入离子注入 0 0 0 0 1 1 1 1 氧化扩散氧化
40、扩散 0 0 0 0 0 0 1 1 后道测试机后道测试机 0 0 0 0 0 0 2 2 探针台探针台 0 0 0 0 0 0 2 2 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3.43.4、 上海集成电路研发中心上海集成电路研发中心 图表图表 3232：20222022 年上海集成电路研发中心招标数据（单位：台）年上海集成电路研发中心招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 2021202
41、1 年年 前道检测前道检测 0 0 0 0 0 0 4 4 FIBFIB 0 0 0 0 0 0 1 1 后道封装后道封装 0 0 0 0 0 0 1 1 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -11- 证券研究报告 电子行业电子行业 3.53.5、 长江存储长江存储 图表图表 3333：20222022 年长江存储招标数据（单位：台）年长江存储招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月
42、 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 PVDPVD 0 0 0 0 0 0 1919 CVDCVD 0 0 0 0 0 0 153153 ALDALD 0 0 0 0 0 0 3131 EPIEPI 0 0 0 0 0 0 2 2 ECPECP 0 0 0 0 0 0 4 4 光刻机光刻机 0 0 0 0 0 0 9 9 干法刻蚀干法刻蚀 0 0 0 0 0 0 9999 湿法刻蚀湿法刻蚀 0 0 0 0 0 0 4 4 前道检测前道检测 0 0 0 0 0 0 3 3 前道计量前道计量 0 0 0 0 0 0 2222 湿法清洗湿法清洗 0 0
43、0 0 0 0 3535 去胶去胶 0 0 0 0 0 0 2727 涂胶显影涂胶显影 0 0 0 0 0 0 1010 化学机械研磨化学机械研磨 0 0 0 0 0 0 2626 退火退火 0 0 0 0 0 0 4141 离子注入离子注入 0 0 0 0 0 0 1212 氧化扩散氧化扩散 0 0 0 0 0 0 3737 后道测试机后道测试机 0 0 0 0 0 0 239239 分选机分选机 0 0 0 0 0 0 1818 探针台探针台 0 0 0 0 0 0 113113 后道封装后道封装 0 0 0 0 0 0 1010 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3
44、.63.6、 上海积塔半导体上海积塔半导体 图表图表 3434：20222022 年上海积塔半导体招标数据（单位：台）年上海积塔半导体招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 PVDPVD 1 0 0 2 7 10 1010 CVDCVD 0 0 0 7 15 22 1818 EPIEPI 0 0 0 0 0 0 1 1 E ECPCP 0 0 0 0 1 1 0 0 光刻机光刻机
45、0 1 0 1 4 6 2 2 干法刻蚀干法刻蚀 0 0 1 14 5 20 1717 湿法刻蚀湿法刻蚀 0 0 1 0 1 2 6 6 前道检测前道检测 0 0 0 3 4 7 8 8 前道计量前道计量 0 0 0 3 0 3 3 3 湿法清洗湿法清洗 0 0 0 4 3 7 7 7 去胶去胶 0 1 0 0 2 3 9 9 刷片机刷片机 0 0 0 5 0 5 4 4 晶圆盒清洗晶圆盒清洗 0 0 0 0 0 0 2 2 涂胶显影涂胶显影 0 0 1 3 3 7 6 6 化学机械研磨化学机械研磨 0 0 0 1 5 6 2 2 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明
46、-12- 证券研究报告 电子行业电子行业 抛光机抛光机 0 0 0 0 0 0 1 1 退火退火 0 0 0 2 1 3 1 1 离子离子注入注入 0 0 0 3 0 3 1010 氧化扩散氧化扩散 0 0 15 27 2 44 3232 后道测试机后道测试机 0 1 0 0 0 1 2424 分选机分选机 0 0 0 0 0 0 2 2 探针台探针台 0 0 7 2 0 9 0 0 后道封装后道封装 0 2 0 0 0 2 6 6 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3.73.7、 华润微华润微 图表图表 3535：20222022 年华润微招标数据（单位：台）年华润微招
47、标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 CVDCVD 0 0 0 0 0 0 1 1 PVDPVD 0 0 0 0 0 0 3 3 干法刻蚀干法刻蚀 0 0 0 0 0 0 2 2 湿法刻蚀湿法刻蚀 0 0 2 0 0 2 2 2 前道检测前道检测 0 0 0 0 0 0 1 1 湿法清洗湿法清洗 0 0 1 0 0 1 1 1 去胶去胶 0 0 0 0 0 0 4 4 后道分选机后
48、道分选机 0 0 0 0 0 0 3 3 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 3.83.8、 浙江创芯集成浙江创芯集成 图表图表 3636：20222022 年浙江创芯集成招标数据（单位：台）年浙江创芯集成招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 PVDPVD 0 0 0 0 0 0 4 4 CVDCVD 0 0 0 0 0 0 1414 干法刻蚀干法刻蚀 0 0
49、 0 0 0 0 5 5 湿法刻蚀湿法刻蚀 0 0 0 0 0 0 4 4 前前道检测道检测 0 0 0 0 0 0 9 9 湿法清洗湿法清洗 0 0 0 0 0 0 1717 涂胶显影涂胶显影 0 0 0 0 0 0 3 3 化学机械研磨化学机械研磨 0 0 0 0 0 0 5 5 退火退火 0 0 0 0 0 0 2 2 离子注入离子注入 0 0 0 0 0 0 2 2 氧化扩散氧化扩散 0 0 0 0 0 0 1515 后道分选机后道分选机 0 0 0 0 0 0 4 4 后道封装后道封装 0 0 0 0 0 0 5 5 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 更多投研资料 公众号：mtachn 敬请参阅最后一页特别声明 -13- 证券研究报告 电子行业电子行业 3.93.9、 上海新微上海新微 图表图表 3737：20222022 年年上海新微上海新微招标数据（单位：台）招标数据（单位：台） 2022022 2 年年 1 1 月月 2 2 月月 3 3 月月 4 4 月月 5 5 月月 6 6 月月 7 7 月月 8 8 月月 9 9 月月 1010 月月 1111 月月 1212 月月 汇总汇总 20212021 年年 PVDPVD 0 0 1 0 1 2 3 3 CVDCVD 0 0 0 0 0 0 6 6 ALDALD 0 0 0 0 0 0 1
